电真空工艺PDF电子书下载

第一章 材料的特性与电真空性能的关系 1

1-1 金属的内部结构 1

1-2 合金 5

1-3 金属材料在受热情况下的性能变化 13

1-4 材料的磁性 21

1-5 电介质材料 27

第二章 钎焊 31

2-1 钎焊时的物理化学过程 32

2-2 钎焊接头的结构 38

2-3 钎焊工艺 42

2-4 钎焊方法 46

第三章 玻璃-金属封接 54

3-1 玻璃的通性 54

3-2 玻璃中热致应力的产生和退火 58

3-3 玻璃与金属封接 61

3-4 玻璃与金属封接工艺 70

3-5 玻璃中应力的检测 75

第四章 陶瓷-金属封接 81

4-1 电真空陶瓷 81

4-2 钼锰法陶瓷-金属封接 89

4-3 活性金属法陶瓷-金属封接 99

4-4 真空蒸涂金属化与离子溅射金属化 107

4-5 陶瓷-金属封接结构 109

第五章 阴极 125

5-1 概述 125

5-2 氧化物阴极 126

5-3 钡钨阴极 154

5-4 钍钨阴极 171

5-5 硼化物阴极 176

5-6 热子（热丝） 180

5-7 二次电子发射体 185

5-8 负电子亲和势发射体 193

第六章 荧光屏 208

6-1 概述 208

6-2 沉淀法涂敷荧光屏 217

6-3 粉浆法涂敷彩色荧光屏 227

第七章 特殊工艺 234

7-1 电解加工与电铸工艺 234

7-2 氩弧焊 241

7-3 电弧等离子技术 250

7-4 电子束焊接 263

7-5 超声及其应用 274

第八章 薄膜工艺 284

8-1 概述 284

8-2 真空蒸发镀膜 290

8-3 溅射镀膜 292

8-4 离子镀膜 297

8-5 光学膜 299

8-6 化学汽相沉积 302

8-7 光刻 311

第九章 吸气剂 322

9-1 概述 322

9-2 吸气剂的吸气三因素 322

9-3 吸气剂的吸气模型 326

9-4 蒸散型吸气剂 330

9-5 非蒸散型吸气剂 339

第十章 电子管内的残余气体 362

10-1 概述 362

10-2 残余气体对电真空器件性能的影响 365

10-3 残余气体分析技术 375

10-4 器件内的气源 389

10-5 电真空器件内气体的反应与变化 400

10-6 电真空器件内总压力的测定 413

第十一章 可靠性技术 426

11-1 电真空器件的高压击穿 426

11-2 工艺卫生 436

第十二章 检测技术 445

12-1 电子与材料表面的相互作用 445

12-2 扫描电子显微镜 448

12-3 俄歇电子谱仪 452

12-4 固体火花质谱仪 458

12-5 离子探针分析仪 460

12-6 表面单原子层分析用的次级离子质谱仪 462

12-7 原子吸收光度计 463

12-8 X射线衍射仪 465