电子器件零件和材料清洁处理论文集PDF电子书下载

目录 5

前言 5

尘埃的测量和控制 7

清洁车间的设计和管理 20

清除电子器件中物理沾污体用的超声波清洗装置 31

“雪白方案”——收讯管达到更高可靠性的一条途径 43

在电子器件生产中有机沾污体的检验、清除和控制 52

半导体机械加工和腐蚀的清洁度因素 83

电子器件研制中研究气体问题用的质谱仪的设计和应用 92

质谱仪对鉴定电子管材料处理效果的应用 102

电子管金属零件含气量的指示剂——碳 114

电子器件及零件处理用气体的分析及控制方法 123

导电石墨涂层的吸附和解吸特性 137

电子管零件用不同方法处理时的吸氢 146

钼丝镀金前的阴极电清洗 156

用化学浸蚀进行电子管零件的高度净化处理 164

放射性示踪剂在鉴定零件清洁度中的应用 175

零件清洁处理对电子管性能的影响 189

氧化物阴极热电子发射与玻壳成分的关系 199

用超清洁二极管作为微波应用方面的放射检验器 211

电子器件制造过程中高纯本征水的制备和应用 219

供半导体器件用的高纯度甲醇的配制 232

纯水在电子器件制造工业中的应用 243