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第一章 绪论 1
1-1 概述 1
1-2 真空度及其单位 4
1-3 真空区域的划分 6
1-4 真空测量的特点与真空测量仪表的分类 7
一、真空测量的特点 7
二、真空测量仪表的分类 9
2-1 理想气体状态方程及气体定律 12
第二章 真空测量的物理知识 12
2-2 气体与蒸汽 14
2-3 气体分子运动论的基本概念 16
一、理想气体模型 16
二、气体分子的热运动速度 16
三、气体分子碰壁数与压强 17
2-4 碰撞频率、平均自由程 19
一、气体分子间的碰撞 19
二、气体分子与电子、离子间的碰撞 21
三、平均自由程与真空状态的关系 22
2-5 气体的迁移现象 23
一、气体的热传导 24
二、气体的粘滞性 26
三、气体的扩散 28
2-6 气体的放电和电离现象 28
一、气体放电和电离过程 29
二、气体放电的种类 29
2-7 固体的吸气和放气现象 30
一、气体的吸附和吸收 31
二、加速固体吸气的其他因素 33
三、气体的解吸 34
3-2 热导式真空计 35
一、工作原理 35
3-1 概述 35
第三章 粗真空和低真空测量仪表 35
二、热偶真空计 38
三、电阻真空计 50
四、已知混合气体成分的真空度的测量 61
3-3 放电管真空指示器 61
一、工作原理 61
二、根据放电辉光的颜色来鉴别气体种类 64
3-4 放射能电离真空计 65
一、工作原理 65
二、β线放射能电离真空计 67
三、气体种类对测量结果的影响 70
一、弹性式真空表 71
3-5 静态变形式真空计 71
二、电容式薄膜真空计 74
三、电容式薄膜真空计的进展 77
3-6 振膜式真空计 79
一、特点 79
二、工作原理 79
三、振膜式真空规管 81
四、振膜式真空计的电路结构 83
4-2 热阴极电离真空计 86
一、结构原理 86
4-1 概述 86
第四章 电离式高真空测量仪表 86
二、电离规管的灵敏度 90
三、测量仪器结构 96
四、加速极电源和收集极电源 97
五、除气方法及除气电源 98
六、发射电流稳定装置 99
七、离子流测量放大器 103
八、规管自动保护装置 110
九、电离真空计电路 111
十、测量方法 113
十一、测量范围 114
十二、气体成分的影响 115
十三、电离真空计的特点 116
4-3 复合式电离真空计 116
一、实用价值 116
二、电路结构 117
4-4 高压强热阴极电离真空计 122
一、概述 122
二、扩展测量上限的条件 122
三、抗氧化、抗中毒阴极的采用 124
四、规管结构 125
五、高压强电离真空计电路 127
六、高压强电离真空计的发展 131
4-5 冷阴极电离真空计 133
一、概述 133
二、结构原理 134
三、冷阴极电离规管 136
四、测量电路 137
五、测量方法 139
六、主要性能和存在问题 140
第五章 超高真空测量仪表 143
5-1 概述 143
5-2 B-A式真空计的结构原理 144
5-3 B-A式规管 148
一、规管结构尺寸 150
二、工作性能 154
三、B-A式金属规管 158
5-4 B-A式规管工作电源 159
5-5 发射电流稳定装置 161
一、电子管对称输出变压器法 161
二、连续式晶体管稳流法 162
三、开关式晶体管稳流法 163
四、可控硅元件稳流法 164
一、对微弱离子流测量的要求 167
5-6 微弱离子流测量放大器 167
二、离子流测量放大器 168
三、对数式离子流测量放大器 177
5-7 B-A式电离真空计电路 180
5-8 测量方法要点 182
5-9 数字式超高真空电离计 184
一、数字式超高真空计的结构 185
二、电流-电压转换电路 186
三、低量程数字电压表的结构特点 187
四、参量单位及量限倍率显示 187
5-10 宽量程B-A式真空计 188
一、宽量程B-A式规管的结构原理 188
二、宽量程B-A式规管的主要性能 190
三、对宽量程B-A式真空计测量电路要求 192
第六章 极高真空测量及仪表 193
6-1 影响极高真空测量的主要因素 193
6-2 测量方法介绍 194
6-3 对B-A式真空计的改进 195
一、细丝式规管 195
二、调制式规管 196
三、抑制式规管 197
四、弯注抑制式规管 199
五、提取式规管 202
一、主要类型 203
6-4 冷阴极磁控式极高真空计 203
二、冷阴极磁控式规管结构原理和工作特性 204
三、冷阴极正磁控式极高真空计 208
6-5 热阴极磁控式极高真空计 217
一、结构原理 217
二、抑制式热磁控极高真空计 221
三、抑制式热磁控规管 223
四、发射电流的稳定方法 226
五、振动电容式微电流放大器 228
六、规管除气电源 234
6-6 极高真空测量技术的展望 235
7-1 测量方法 238
第七章 封闭电真空器件的真空度测量及仪表 238
一、测量原理和方法 240
7-2 封闭电视显象管的残余气体压强测量仪表 240
二、电极接法和发射电流的选用 243
三、仪器结构 243
7-3 电子管的残余气体压强的测量 246
第八章 真空规管的制造 250
8-1 概述 250
8-2 真空规管材料 250
一、金属电极材料 250
二、绝缘材料 254
一、化学处理 256
8-3 材料的清洁处理 256
二、化学电抛光处理 258
三、金属零件的热处理 258
8-4 电离规管电极结构特点与特殊工艺 259
一、阴极 259
二、电子加速极 261
三、芯柱和单引线 262
四、金属裸规 263
8-5 真空规管玻壳制造及其涂覆 265
一、金属导电膏的制造 265
三、氧化锡导电膜的制造 266
二、金、铂导电膜的涂覆 266
四、可伐管的封接 267
8-6 真空规管装配的特殊要求 267
一、装架 267
二、封口 268
三、排气 268
四、灵敏度检验 269
第九章 真空测量仪表的校准、使用的维修 270
9-1 真空测量仪表的校准 270
一、概述 270
二、绝对真空计校准法 271
三、产生已知压强的校准法 284
四、副标准真空计校准法 292
9-2 真空测量仪表的使用 293
一、真空测量仪表的选用方法 293
二、规管与真空系统的安装方法 294
三、规管的吸气和放气以及温度对测量的影响 302
9-3 真空测量仪表的维修 305
一、真空测量仪表的维护和保管 305
二、几种真空仪表的常见故障及检修方法 308
附录 319
参考文献 324