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前言 1

第一章 绪论 1

1-1 概述 1

1-2 真空度及其单位 4

1-3 真空区域的划分 6

1-4 真空测量的特点与真空测量仪表的分类 7

一、真空测量的特点 7

二、真空测量仪表的分类 9

2-1 理想气体状态方程及气体定律 12

第二章 真空测量的物理知识 12

2-2 气体与蒸汽 14

2-3 气体分子运动论的基本概念 16

一、理想气体模型 16

二、气体分子的热运动速度 16

三、气体分子碰壁数与压强 17

2-4 碰撞频率、平均自由程 19

一、气体分子间的碰撞 19

二、气体分子与电子、离子间的碰撞 21

三、平均自由程与真空状态的关系 22

2-5 气体的迁移现象 23

一、气体的热传导 24

二、气体的粘滞性 26

三、气体的扩散 28

2-6 气体的放电和电离现象 28

一、气体放电和电离过程 29

二、气体放电的种类 29

2-7 固体的吸气和放气现象 30

一、气体的吸附和吸收 31

二、加速固体吸气的其他因素 33

三、气体的解吸 34

3-2 热导式真空计 35

一、工作原理 35

3-1 概述 35

第三章 粗真空和低真空测量仪表 35

二、热偶真空计 38

三、电阻真空计 50

四、已知混合气体成分的真空度的测量 61

3-3 放电管真空指示器 61

一、工作原理 61

二、根据放电辉光的颜色来鉴别气体种类 64

3-4 放射能电离真空计 65

一、工作原理 65

二、β线放射能电离真空计 67

三、气体种类对测量结果的影响 70

一、弹性式真空表 71

3-5 静态变形式真空计 71

二、电容式薄膜真空计 74

三、电容式薄膜真空计的进展 77

3-6 振膜式真空计 79

一、特点 79

二、工作原理 79

三、振膜式真空规管 81

四、振膜式真空计的电路结构 83

4-2 热阴极电离真空计 86

一、结构原理 86

4-1 概述 86

第四章 电离式高真空测量仪表 86

二、电离规管的灵敏度 90

三、测量仪器结构 96

四、加速极电源和收集极电源 97

五、除气方法及除气电源 98

六、发射电流稳定装置 99

七、离子流测量放大器 103

八、规管自动保护装置 110

九、电离真空计电路 111

十、测量方法 113

十一、测量范围 114

十二、气体成分的影响 115

十三、电离真空计的特点 116

4-3 复合式电离真空计 116

一、实用价值 116

二、电路结构 117

4-4 高压强热阴极电离真空计 122

一、概述 122

二、扩展测量上限的条件 122

三、抗氧化、抗中毒阴极的采用 124

四、规管结构 125

五、高压强电离真空计电路 127

六、高压强电离真空计的发展 131

4-5 冷阴极电离真空计 133

一、概述 133

二、结构原理 134

三、冷阴极电离规管 136

四、测量电路 137

五、测量方法 139

六、主要性能和存在问题 140

第五章 超高真空测量仪表 143

5-1 概述 143

5-2 B-A式真空计的结构原理 144

5-3 B-A式规管 148

一、规管结构尺寸 150

二、工作性能 154

三、B-A式金属规管 158

5-4 B-A式规管工作电源 159

5-5 发射电流稳定装置 161

一、电子管对称输出变压器法 161

二、连续式晶体管稳流法 162

三、开关式晶体管稳流法 163

四、可控硅元件稳流法 164

一、对微弱离子流测量的要求 167

5-6 微弱离子流测量放大器 167

二、离子流测量放大器 168

三、对数式离子流测量放大器 177

5-7 B-A式电离真空计电路 180

5-8 测量方法要点 182

5-9 数字式超高真空电离计 184

一、数字式超高真空计的结构 185

二、电流-电压转换电路 186

三、低量程数字电压表的结构特点 187

四、参量单位及量限倍率显示 187

5-10 宽量程B-A式真空计 188

一、宽量程B-A式规管的结构原理 188

二、宽量程B-A式规管的主要性能 190

三、对宽量程B-A式真空计测量电路要求 192

第六章 极高真空测量及仪表 193

6-1 影响极高真空测量的主要因素 193

6-2 测量方法介绍 194

6-3 对B-A式真空计的改进 195

一、细丝式规管 195

二、调制式规管 196

三、抑制式规管 197

四、弯注抑制式规管 199

五、提取式规管 202

一、主要类型 203

6-4 冷阴极磁控式极高真空计 203

二、冷阴极磁控式规管结构原理和工作特性 204

三、冷阴极正磁控式极高真空计 208

6-5 热阴极磁控式极高真空计 217

一、结构原理 217

二、抑制式热磁控极高真空计 221

三、抑制式热磁控规管 223

四、发射电流的稳定方法 226

五、振动电容式微电流放大器 228

六、规管除气电源 234

6-6 极高真空测量技术的展望 235

7-1 测量方法 238

第七章 封闭电真空器件的真空度测量及仪表 238

一、测量原理和方法 240

7-2 封闭电视显象管的残余气体压强测量仪表 240

二、电极接法和发射电流的选用 243

三、仪器结构 243

7-3 电子管的残余气体压强的测量 246

第八章 真空规管的制造 250

8-1 概述 250

8-2 真空规管材料 250

一、金属电极材料 250

二、绝缘材料 254

一、化学处理 256

8-3 材料的清洁处理 256

二、化学电抛光处理 258

三、金属零件的热处理 258

8-4 电离规管电极结构特点与特殊工艺 259

一、阴极 259

二、电子加速极 261

三、芯柱和单引线 262

四、金属裸规 263

8-5 真空规管玻壳制造及其涂覆 265

一、金属导电膏的制造 265

三、氧化锡导电膜的制造 266

二、金、铂导电膜的涂覆 266

四、可伐管的封接 267

8-6 真空规管装配的特殊要求 267

一、装架 267

二、封口 268

三、排气 268

四、灵敏度检验 269

第九章 真空测量仪表的校准、使用的维修 270

9-1 真空测量仪表的校准 270

一、概述 270

二、绝对真空计校准法 271

三、产生已知压强的校准法 284

四、副标准真空计校准法 292

9-2 真空测量仪表的使用 293

一、真空测量仪表的选用方法 293

二、规管与真空系统的安装方法 294

三、规管的吸气和放气以及温度对测量的影响 302

9-3 真空测量仪表的维修 305

一、真空测量仪表的维护和保管 305

二、几种真空仪表的常见故障及检修方法 308

附录 319

参考文献 324