目录 1
第六章 电真空器件中的气源和物质迁移 1
§6.1 气体来源 2
6.1.1 溶解 2
6.1.2 渗透 7
6.1.3 出气 12
6.1.4 蒸发 29
6.1.5 分解 39
§6.2 残余气体的化学反应 45
6.2.1 气体在热表面上的反应 46
6.2.2 残气之间的热化学平衡 51
§6.3 阴极与气氛的作用 62
6.3.1 热阴极 64
6.3.2 光电阴极 107
6.3.3 冷阴极 113
6.3.4 阴极与气氛作用的复杂性 116
§6.4 物质迁移 117
6.4.1 迁移的机理 117
6.4.2 污染的来源和影响 121
6.4.3 物质迁移的危害及复杂迁移过程 123
第七章 电真空器件的排气 129
§7.1 电真空材料的出气特性 130
7.1.1 玻璃 130
7.1.2 陶瓷 139
7.1.3 金属 144
§7.2 器件外壳与内部电极的除气 149
7.2.1 器件外壳的加热除气 149
7.2.2 器件内部电极的加热除气 156
§7.3 阴极的处理 176
7.3.1 阴极在排气时的处理过程 177
7.3.2 阴极处理规范的选择 181
§7.4 消气剂处理与器件的封离 185
7.4.1 消气剂的处理 185
7.4.2 器件的封离 190
§7.5 器件零件的净化热处理与存放 191
7.5.1 零件的净化热处理 191
7.5.2 清洁零件的存放 200
§7.6 排气系统的考虑 204
7.6.1 电真空器件排气的特点 204
7.6.2 器件的抽气过程与排气系统的选择 206
第八章 消气剂及其应用 215
§8.1 电子管对消气剂的基本要求 215
§8.2 蒸散型消气剂 220
8.2.1 钡膜的吸气特性与机理 221
8.2.2 蒸散型消气剂的发展与分类 246
8.2.3 钡消气剂的基本参量 256
8.2.4 钡消气剂的蒸散工艺 257
8.2.5 钡消气剂污染和活性检验方法 259
§8.3 非蒸散型消气剂 260
8.3.1 单质型（ⅣB族金属锆、钛等）消气剂的体吸气 261
特性及吸气机理——金属高温氧化理论 261
8.3.2 非单质型消气剂的吸气性能 272
§8.4 采用消气剂的一般原则 302
§8.5 锆铝消气剂泵 303
第九章 电真空器件内真空度的测量 316
§9.1 放电电流法 316
9.1.1 辉光放电法 316
9.1.2 磁控放电法 318
§9.2 热阴极电离计法 319
9.2.1 三极管的测量 320
9.2.2 多极管的测量 337
第十章 真空击穿 352
§10.1 强电场作用下表面的电子发射 355
§10.2 击穿之前的预击穿过程 362
10.2.1 场致发射及有关的脉冲现象 362
10.2.2 微放电现象 372
10.2.3 微粒预击穿现象 377
§10.3 击穿过程及其机理 384
10.3.1 场致发射引发的击穿机理 385
10.3.2 粒子交换理论 391
10.3.3 微粒引发的击穿过程——小块理论 392
10.4.1 影响金属电极间真空绝缘的因素 406
§10.4 影响金属电极间真空绝缘的因素及实验实例 406
10.4.2 排气技术对真空击穿的影响 415
10.4.3 电子管内真空击穿的特征 419
第十一章 表面分析 423
§11.1 绪言 423
11.1.1 表面和表面的性质 423
11.1.2 表面信息及表面分析技术的特征 428
11.1.3 表面分析技术和电真空技术 430
§11.2 表面分析技术概述 432
11.2.1 探束和被检测粒子以及分析方法的类型和命名 432
11.2.2 表面分析技术和超高真空 436
§11.3 以电子为探束的表面分析技术 438
11.3.1 射电子与固体的相互作用 438
11.3.2 俄歇电子能谱 444
11.3.3 低能电子衍射 482
§11.4 光电子能谱 503
11.4.1 光电子能谱的物理基础 504
11.4.2 光电子能谱仪的结构和测量 515
11.4.3 X射线光电子能谱及其应用 519
11.4.4 紫外光光电子能谱的应用 533
§11.5 以离子为探束的表面分析技术 537
11.5.1 概论 537
11.5.2 离子溅射剥蚀及其效应 541
11.5.3 离子激发俄歇电子能谱 548
11.5.4 离子散射能谱 551
11.5.5 二次离子质谱仪 563
§11.6 表面分析技术的组合应用 574
第十二章 蒙特卡洛法的应用 584
12.1.1 蒙特卡洛法 585
§12.1 蒙特卡洛法简介 585
12.1.2 计算圆筒传输几率 586
12.1.3 计算定积分Pr＝∫？f（x）dx 593
12.1.4 基本思想和解题步骤 595
12.1.5 蒙特卡洛法的特点 597
12.1.6 伪随机数 598
§12.2 三类物理过程的蒙特卡洛模拟 599
12.2.1 模拟自由分子流 600
12.2.2 模拟电子发射 606
12.2.3 模拟气体放电 611
§12.3 模拟人字形障板中的分子流 619
12.3.1 模拟目的 619
12.3.2 计算传输几率 619
12.3.3 计算返油几率 626
12.3.4 计算结果和实验验证 628