绪论 1
第一章 光栅的基本方程式 10
1-1 透射光栅方程式 10
1-2 反射光栅方程式 20
1-3 光栅方程式的电磁场理论推导 28
第二章 光栅的几何光学理论 35
2-1 光栅的工作原理 35
2-2 色散 39
2-3 分辨率 41
2-4 级次重叠 44
2-5 闪耀 47
2-6 光栅效率 52
2-7 谱线弯曲 59
2-8 阶梯光栅 69
2-9 凹面光栅 79
第三章 光栅的物理光学理论 92
3-1 电磁波的惠更斯原理 93
3-2 成象问题的傅里叶变换公式 98
3-3 光栅衍射的傅里叶变换 101
3-4 光栅衍射图样光强度分布的数字解 105
3-5 刻划误差和波面象差的关系 108
3-6 基坯缺陷对衍射波面象差的影响 110
3-7 周期刻划误差的影响 112
3-8 多重周期误差的影响 116
3-9 杂散光 119
3-10 光栅各衍射级次的光能量分布 122
3-11 正弦槽形光栅平面波衍射光能分布 125
3-12 三角槽形光栅平面波衍射的光能分布 136
3-13 光栅高集光效率的实际考虑 144
3-14 软X射线光栅(掠入射式光栅)效率 146
3-15 红外光栅的集光效率 149
3-16 光栅的衍射反常 154
第四章 刻划光栅和刻划机 158
4-1 光栅的刻划过程 158
4-2 光栅基坯的制备 159
4-3 金刚石刻刀 164
4-4 刻划机的环境要求 172
4-5 光栅刻划机的主要部件 179
4-6 机械式光栅刻划机 193
4-7 莫尔条纹控制光栅刻划机 205
4-8 干涉伺服控制光栅刻划机 213
4-9 不等槽距凹面光棚的刻划 241
第五章 全息光栅 243
5-1 全息光栅的制造原理 244
5-2 干涉条纹系统的精度 245
5-3 光学系统 250
5-4 激光器 254
5-5 光致抗蚀剂 257
5-6 平面全息光栅的制造 261
5-7 平面全息光栅的性能 284
5-8 凹面全息光栅 296
5-9 X射线全息光栅 308
5-10 全息光栅的展望 310
6-1 激光光栅的效率、选择性和耐功率 312
第六章 激光光栅 312
6-2 调谐激光光栅 318
6-3 光栅扩束器和光栅耦合器 322
第七章 复制光栅 326
7-1 反射式平面光栅的一次法复制 326
7-2 复制光栅的常见疵病 337
7-3 反射式凹面光栅的复制 340
7-4 红外光栅的复制 341
7-5 透射光栅的复制 342
8-2 光栅波面象差的测量 343
第八章 光栅测试技术 343
8-1 概述 343
8-3 光栅槽形的测量 351
8-4 光栅分辨本领的测量 355
8-5 光栅罗兰鬼线的测量 361
8-6 光栅衍射效率的测量 364
8-7 光栅杂散光和散射光的测量 370
参考文献 372