衍射光栅PDF电子书下载

绪论 1

第一章 光栅的基本方程式 10

1-1 透射光栅方程式 10

1-2 反射光栅方程式 20

1-3 光栅方程式的电磁场理论推导 28

第二章 光栅的几何光学理论 35

2-1 光栅的工作原理 35

2-2 色散 39

2-3 分辨率 41

2-4 级次重叠 44

2-5 闪耀 47

2-6 光栅效率 52

2-7 谱线弯曲 59

2-8 阶梯光栅 69

2-9 凹面光栅 79

第三章 光栅的物理光学理论 92

3-1 电磁波的惠更斯原理 93

3-2 成象问题的傅里叶变换公式 98

3-3 光栅衍射的傅里叶变换 101

3-4 光栅衍射图样光强度分布的数字解 105

3-5 刻划误差和波面象差的关系 108

3-6 基坯缺陷对衍射波面象差的影响 110

3-7 周期刻划误差的影响 112

3-8 多重周期误差的影响 116

3-9 杂散光 119

3-10 光栅各衍射级次的光能量分布 122

3-11 正弦槽形光栅平面波衍射光能分布 125

3-12 三角槽形光栅平面波衍射的光能分布 136

3-13 光栅高集光效率的实际考虑 144

3-14 软X射线光栅(掠入射式光栅)效率 146

3-15 红外光栅的集光效率 149

3-16 光栅的衍射反常 154

第四章 刻划光栅和刻划机 158

4-1 光栅的刻划过程 158

4-2 光栅基坯的制备 159

4-3 金刚石刻刀 164

4-4 刻划机的环境要求 172

4-5 光栅刻划机的主要部件 179

4-6 机械式光栅刻划机 193

4-7 莫尔条纹控制光栅刻划机 205

4-8 干涉伺服控制光栅刻划机 213

4-9 不等槽距凹面光棚的刻划 241

第五章 全息光栅 243

5-1 全息光栅的制造原理 244

5-2 干涉条纹系统的精度 245

5-3 光学系统 250

5-4 激光器 254

5-5 光致抗蚀剂 257

5-6 平面全息光栅的制造 261

5-7 平面全息光栅的性能 284

5-8 凹面全息光栅 296

5-9 X射线全息光栅 308

5-10 全息光栅的展望 310

6-1 激光光栅的效率、选择性和耐功率 312

第六章 激光光栅 312

6-2 调谐激光光栅 318

6-3 光栅扩束器和光栅耦合器 322

第七章 复制光栅 326

7-1 反射式平面光栅的一次法复制 326

7-2 复制光栅的常见疵病 337

7-3 反射式凹面光栅的复制 340

7-4 红外光栅的复制 341

7-5 透射光栅的复制 342

8-2 光栅波面象差的测量 343

第八章 光栅测试技术 343

8-1 概述 343

8-3 光栅槽形的测量 351

8-4 光栅分辨本领的测量 355

8-5 光栅罗兰鬼线的测量 361

8-6 光栅衍射效率的测量 364

8-7 光栅杂散光和散射光的测量 370

参考文献 372