第一章 测量误差和数据处理 1
1--1 测量误差的概念和分类 1
一、测量误差的基本概念 1
二、测量误差的类型及其规律性 1
1--2 测量误差的来源及其处理 3
一、偶然误差 8
二、系统误差 11
三、过失误差的剔除 16
1--3 测量结果的数据处理 17
一、等精度测量的结果处理 17
二、不等精度测量的结果处理 25
三、测量结果的有效数字处理 29
第二章 电动测量 30
2--1 传感器的基本类型及其基本测量电路 30
一、电感式传感器及其基本测量电路 31
二、电容式传感器及其基本测量电路 36
三、差动变压器式传感器及其基本测量电路 41
2--2 电动测微仪 46
一、概述 46
二、基本结构及各部分的作用 46
三、电气原理图 48
四、外现与主要技术规格 50
2--3 感应同步器 52
一、感应同步器的结构和特点 52
二、感应同步器的工作原理和位移测量系统简介 53
第三章 气动测量 60
3--1 气动测量原理和气动量仪 60
一、气动测量原理和气动量仪种类 60
二、指示压力的气动量仪 61
三、指示流量的气动量仪--浮标式气动量仪 64
3--2 气动测量的静特性 67
一、喷嘴挡板机构的形成 68
二、平行喷嘴挡板机构的静特性 68
三、不平行喷嘴挡板的静特性 69
四、喷嘴挡板的压力分布 73
3--3 气动测量头的应用及设计 74
一、气动测量头的应用 75
二、气动测量头设计中的名词及术语 77
三、气动测量头设计原则 77
四、校对规的设计 81
五、测量头的设计步骤 81
3--4 气动测量在自动测量中的应用 83
一、磨削过程中的自动测量 83
二、珩磨时的自动测量 85
三、自动线上的气动测量装置 86
第四章 光学测量 90
4--1 计量光栅的原理和特点 90
一、莫尔条纹形成原理 90
二、莫尔条纹测量位移的原理及特点 95
一、光栅读数头 101
4--2 光栅读数头及其在计量中的应用 101
二、莫尔条纹讯号的计数和细分 108
三、在精密计量中的应用 111
4--3 激光的产生及其特点 116
一、激光的产生 116
二、激光的模及其频率特性 126
三、激光的特点 133
一、干涉测长原理 137
4--4 激光在精密计量中的应用 137
二、激光比长仪 142
三、激光丝杠动态测量仪 148
附录一 光栅衍射 156
附录二 细分方案表 161
附录三 双频激光干涉仪与机床平直度检验 161
一、双频激光干涉原理和特点 161
二、激光导轨平直度干涉仪 166
附表一 概率函数积分值(正态分布曲线) 169
附表二 各种测量工具的极限误差 170