目录 1
1．洁净工艺及其在国外的发展概况 1
2．洁净室和局部净化设备的设计及其措施 7
3．三菱空气净化装置 32
4．富士通洁净工作台及其应用 48
5．日立无尘无菌装置 56
6．空气净化装置自动运转的控制 64
7．微小尘埃自动计数装置 72
8．微电子器件厂的净化问题 76
9．超洁室的颗粒浓度 81
10．半导体工业里的环境管理 87
11．净化室过滤器的特性——法国国家应用化学 91
研究所的测试设备 91
12．英联邦的净化室技术 100
13．南伦敦电子设备公司净化设备及清洁室 105