第一章 高纯水与半导体工艺 1
1-1 水中的杂质 2
1-2 高纯水中的杂质对半导体工艺的影响 4
1-3 高纯水中的杂质对半导体材料和器件性能的影响 7
第二章 高纯水制备中的预处理 20
2-1 微粒沉降理论 22
2-2 凝聚、助凝与澄清 24
2-3 过滤及深层过滤 28
2-4 吸附 30
2-5 反渗透前的预处理 36
2-6 脱气 40
第三章 反渗透和电渗析脱盐 43
3-1 反渗透 43
3-2 电渗析 69
4-1 离子交换树脂的结构 81
第四章 离子交换树脂的脱盐 81
4-2 离子交换树脂的分类 87
4-3 离子交换树脂的基本交换特性 88
4-4 离子交换树脂的反应速率 100
4-5 离子交换法纯化水 102
第五章 离子交换树脂的再生 108
5-1 离子交换树脂和再生剂的选择 109
5-2 离子交换树脂的失效与再生 114
5-3 混床离子交换树脂的再生 157
5-4 离子交换树脂的中毒污染及其复苏 162
5-5 离子交换树脂的再生装置和工艺流程 166
第六章 精处理 175
6-1 紫外灯杀菌 175
6-2 超过滤 186
6-3 微孔精过滤 196
6-4 纯水制备工艺中材质的污染及选择 198
6-5 纯水制造的工艺流程 208
第七章 高纯水的分析 221
7-1 水质分析的意义 221
7-2 分析方法的选择和评价 224
7-3 分析数据的处理和评价 230
7-4 硅的测定 236
7-5 氯离子的测定 245
7-6 Cl-,F-,NO?,SO?及HPO？等阴离子的测定 247
7-7 金属元素的测定 251
7-8 有机物的测定 265
7-9 颗粒的测定 274
7-10 细菌的测定 284
7-11 高纯水电阻率的测定 288
7-12 水样的采集和储存 294
8-1 原水分析 303
第八章 原水、离子交换树脂和脱盐率的分析 303
8-2 离子交换树脂的分析 332
8-3 除盐工序(或设备)脱盐率的分析 350
第九章 水站的质量管理 356
9-1 水站质量管理基础 356
9-2 纯水制造的水质监控 360
9-3 水站的数据及其处理 372
第十章 质量管理工具在水站的应用 383
10-1 直方图 383
10-2 控制力 392
10-3 排列图 411
10-4 因果图 412
10-5 关联图 414
10-6 系统图 415
附录 418
参考文献 448