高纯水技术PDF电子书下载

第一章 高纯水与半导体工艺 1

1-1 水中的杂质 2

1-2 高纯水中的杂质对半导体工艺的影响 4

1-3 高纯水中的杂质对半导体材料和器件性能的影响 7

第二章 高纯水制备中的预处理 20

2-1 微粒沉降理论 22

2-2 凝聚、助凝与澄清 24

2-3 过滤及深层过滤 28

2-4 吸附 30

2-5 反渗透前的预处理 36

2-6 脱气 40

第三章 反渗透和电渗析脱盐 43

3-1 反渗透 43

3-2 电渗析 69

4-1 离子交换树脂的结构 81

第四章 离子交换树脂的脱盐 81

4-2 离子交换树脂的分类 87

4-3 离子交换树脂的基本交换特性 88

4-4 离子交换树脂的反应速率 100

4-5 离子交换法纯化水 102

第五章 离子交换树脂的再生 108

5-1 离子交换树脂和再生剂的选择 109

5-2 离子交换树脂的失效与再生 114

5-3 混床离子交换树脂的再生 157

5-4 离子交换树脂的中毒污染及其复苏 162

5-5 离子交换树脂的再生装置和工艺流程 166

第六章 精处理 175

6-1 紫外灯杀菌 175

6-2 超过滤 186

6-3 微孔精过滤 196

6-4 纯水制备工艺中材质的污染及选择 198

6-5 纯水制造的工艺流程 208

第七章 高纯水的分析 221

7-1 水质分析的意义 221

7-2 分析方法的选择和评价 224

7-3 分析数据的处理和评价 230

7-4 硅的测定 236

7-5 氯离子的测定 245

7-6 Cl-,F-,NO?,SO?及HPO？等阴离子的测定 247

7-7 金属元素的测定 251

7-8 有机物的测定 265

7-9 颗粒的测定 274

7-10 细菌的测定 284

7-11 高纯水电阻率的测定 288

7-12 水样的采集和储存 294

8-1 原水分析 303

第八章 原水、离子交换树脂和脱盐率的分析 303

8-2 离子交换树脂的分析 332

8-3 除盐工序(或设备)脱盐率的分析 350

第九章 水站的质量管理 356

9-1 水站质量管理基础 356

9-2 纯水制造的水质监控 360

9-3 水站的数据及其处理 372

第十章 质量管理工具在水站的应用 383

10-1 直方图 383

10-2 控制力 392

10-3 排列图 411

10-4 因果图 412

10-5 关联图 414

10-6 系统图 415

附录 418

参考文献 448