原序 1
第一章 光干涉概述 1
1 基本概念与基本量 1
2 相干性 6
3 两个相干光源所发生的干涉现象 7
干涉条纹的宽度与形状 7
波前分光法 10
振幅分光法 12
第二章 平板干涉 14
4 平行平面板上的干涉现象 14
平板上光程差的计算 14
等倾环的获得 16
条纹对比度与平板楔形度之间的关系 19
5 楔形板上的干涉现象 20
楔形板的光程 20
光源为有限尺寸时等厚条纹的对比度 22
定域面 25
在定域面以外观察干涉图样 29
6 平面与球面之间空气层上的干涉现象 32
牛顿环的获得 33
表面曲率半径的测量 34
7 平板上的多光束干涉现象 35
透射光的强度 37
反射光的强度 38
8 两块平板上的干涉现象 40
白光等倾条纹的获得 41
平板厚度之差的测量 43
第三章 白光干涉特性和补偿器 45
9 概述 45
10 两束干涉光路中的玻璃厚度不等问题 47
用空气进行玻璃补偿 47
消色差条纹的获得 49
对光学零件平面平行性的要求 50
11 用插入其它牌号的玻璃进行玻璃厚度不等的补偿 53
零次消色差条纹的获得 53
复消色差条纹的获得 54
12 测量和调整用的玻璃补偿器 55
转动平板式补偿器 56
双楔补偿器 57
消色差补偿器 59
复消色差补偿器 61
第四章 几种主要干涉仪的光路和性能 63
13 可以将其光路系统简化为一块空气平板的干涉仪 63
斐索干涉仪 63
迈克尔逊干涉仪 63
法布里--珀罗标准具 70
14 具有两块平板的干涉仪 73
雅敏干涉仪 73
詹德尔一马赫干涉仪 78
瑞利干涉仪 82
15 菲涅尔型干涉仪 82
迈克尔逊星体干涉仪 87
林尼克星体干涉仪 89
16 全息干涉仪 90
第五章 干涉图样对比度降低的原因 95
17 对比度的精确定义 95
视场对比度和视场指定点上的对比度 95
对比度的测量值和真实值 97
18 光源的非单色性 99
两条窄谱线 99
一条宽谱线 100
19 干涉光束的光强不相等性和漫射光的存在 103
20 干涉光束偏振状态的差异 106
自然光与线偏振光之间的干涉 107
两束线偏振光之间的干涉 108
21 对比度与光源尺寸之间的关系 112
楔形板与菲涅尔双镜之间的相似性 113
在厚楔板情况下的条纹位移 114
22 干涉光束之间的不平行性 119
23 波面畸变 124
球面形状的畸变波(W2) 125
柱面形状的畸变波(W2) 127
具有局部平面偏差的畸变波(W2) 129
24 光阑的不正确安装 133
干涉仪的用途 141
干涉仪的结构原则 141
第六章 对干涉仪光学组件和机械组件的要求 141
25 对不同类型干涉仪组件要求的分析 141
干涉仪光学组件到干涉场的距离 143
主要光学零件和辅助光学零件 144
26 对主要光学零件制造质量的要求 144
反射镜和平板表面 144
光学零件的厚度和楔形度 152
光学零件的玻璃选择 154
27 对主要光学零件的安装精度要求 155
零件沿光轴偏移 155
零件在垂直于光轴方向的偏移 157
干涉仪反射镜的偏转 159
28 对准直光管和干涉仪接收部分的要求 160
准直光管离焦的影响 160
干涉仪接收部分畸变的影响 162
29 对机械组件的要求 165
结构刚性 165
温度变化 165
调整装置 168
干涉仪的安装调试和使用 171
安装调试的步骤 171
测量条纹移动和弯曲的方法 174
31 概述 177
第七章 测量长度的干涉仪 177
32 测量线纹尺和量块的特制干涉仪 179
全苏计量科学研究院的基准干涉装置 179
全苏计量科学研究院的通用干涉仪 181
33 绝对测量量块长度的干涉仪 185
柯氏干涉仪 185
英国国家物理研究所(NPL)干涉仪 191
黑尔格--华茨型干涉仪 191
34 比较测量量块长度的干涉仪 194
技术光波干涉法 194
接触式干涉仪 196
卡尔达雪夫干涉仪 197
双接触干涉仪 197
ИKM-10型干涉仪 198
35 测量零件外部尺寸的干涉仪 201
MHИ-11型多光束干涉显微镜 201
用玻璃平晶测量球径和圆柱直径的干涉方法 203
测量球径和圆柱直径的И3K-57型干涉仪 204
36 测量零件内部尺寸的干涉仪 209
用塞规测量透明环规内径的干涉方法 210
不接触比较测量孔径从8至30毫米的干涉内径测微计 211
比较测量孔径从5至12毫米的ИГ-88型干涉内径测微计 215
绝对测量法 218
37 测量小位移的干涉指示仪 220
灵敏度倍增的小接触干涉指示仪 222
双头干涉测微计 225
38 测量大位移的激光干涉仪 226
光学系统原理 226
布朗--布维尔干涉仪 228
ИПЛ型干涉仪 229
K-H公司的干涉仪 230
H-P公司的干涉仪 231
第八章 检查表面形状与微观几何特征的干涉仪 233
检查平面的干涉仪 233
玻璃样板法 233
斐索型干涉仪的应用 235
全息干涉仪 237
高灵敏度的ИKП-100型干涉仪 237
光电方法 239
检查大表面轮廓直线性的干涉仪 240
40 检查球面的干涉仪 242
球面玻璃样板 242
不接触法检查中等直径的球面干涉仪 244
检查大凹面的不等臂激光干涉仪 250
检查小直径球面的干涉仪 251
41 检查复杂形状表面的干涉方法和仪器 254
检查球面的玻璃样板和干涉仪 254
检查任意表面形状的方法 256
二次曲面的检验 258
圆柱表面的检验 260
沟槽表面的检验 262
42 干涉显微镜 265
林尼克干涉显微镜 265
干涉图样的对比度 268
获得直条纹的条件 270
显微物镜孔径的作用 273
查哈里也夫斯基单物镜干涉显微镜 275
检查光洁度的其它方法 276
43 显微干涉轮廓仪 277
林尼克显微干涉轮廓仪 277
圆柱透镜的位置和焦距的计算 279
狭缝的允许宽度 281
光学零件的制造和装配精度对条纹对比度和形状的影响 282
检查零件内表面光洁度的显微干涉轮廓仪 283
带有光谱分光镜的显微干涉轮廓仪 285
低灵敏度的显微干涉轮廓仪 287
第九章 其它用途的干涉仪 288
44 研究光学系统的干涉仪 288
泰曼干涉仪 288
林尼克法 290
才尔尼克法 291
45 测量物质折射率的干涉仪 292
瑞利干涉仪 292
雅敏干涉仪 294
固体的折射率测定 296
46 测定透明物体均匀性的干涉仪 297
迈克尔逊--泰曼干涉仪 297
詹德尔--马赫干涉仪 298
剪切式干涉仪 299
全息干涉仪 301
串联式干涉仪 303
47 研究透明微物的干涉显微镜 305
MБИH-4型生物干涉显微镜 305
双焦干涉显微镜 307
环形光路式干涉显微镜 308
48 三光束干涉仪和四光束干涉仪 310
第十章 提高干涉测量灵敏度的方法 310
瑞利型三光束干涉仪 311
洪辰格三光束干涉仪 314
哈利哈伦和森四光束干涉仪 316
49 目测高灵敏度双光束干涉仪 319
双透射式双光束干涉仪 320
兰奇光路 322
多次反射的镜面机构 322
50 光电法测量程差的变化 324
测量小程差的调频法 324
消色差条纹对准法 327
文献目录 333