干涉仪的理论基础及应用PDF电子书下载

原序 1

第一章 光干涉概述 1

1 基本概念与基本量 1

2 相干性 6

3 两个相干光源所发生的干涉现象 7

干涉条纹的宽度与形状 7

波前分光法 10

振幅分光法 12

第二章 平板干涉 14

4 平行平面板上的干涉现象 14

平板上光程差的计算 14

等倾环的获得 16

条纹对比度与平板楔形度之间的关系 19

5 楔形板上的干涉现象 20

楔形板的光程 20

光源为有限尺寸时等厚条纹的对比度 22

定域面 25

在定域面以外观察干涉图样 29

6 平面与球面之间空气层上的干涉现象 32

牛顿环的获得 33

表面曲率半径的测量 34

7 平板上的多光束干涉现象 35

透射光的强度 37

反射光的强度 38

8 两块平板上的干涉现象 40

白光等倾条纹的获得 41

平板厚度之差的测量 43

第三章 白光干涉特性和补偿器 45

9 概述 45

10 两束干涉光路中的玻璃厚度不等问题 47

用空气进行玻璃补偿 47

消色差条纹的获得 49

对光学零件平面平行性的要求 50

11 用插入其它牌号的玻璃进行玻璃厚度不等的补偿 53

零次消色差条纹的获得 53

复消色差条纹的获得 54

12 测量和调整用的玻璃补偿器 55

转动平板式补偿器 56

双楔补偿器 57

消色差补偿器 59

复消色差补偿器 61

第四章 几种主要干涉仪的光路和性能 63

13 可以将其光路系统简化为一块空气平板的干涉仪 63

斐索干涉仪 63

迈克尔逊干涉仪 63

法布里--珀罗标准具 70

14 具有两块平板的干涉仪 73

雅敏干涉仪 73

詹德尔一马赫干涉仪 78

瑞利干涉仪 82

15 菲涅尔型干涉仪 82

迈克尔逊星体干涉仪 87

林尼克星体干涉仪 89

16 全息干涉仪 90

第五章 干涉图样对比度降低的原因 95

17 对比度的精确定义 95

视场对比度和视场指定点上的对比度 95

对比度的测量值和真实值 97

18 光源的非单色性 99

两条窄谱线 99

一条宽谱线 100

19 干涉光束的光强不相等性和漫射光的存在 103

20 干涉光束偏振状态的差异 106

自然光与线偏振光之间的干涉 107

两束线偏振光之间的干涉 108

21 对比度与光源尺寸之间的关系 112

楔形板与菲涅尔双镜之间的相似性 113

在厚楔板情况下的条纹位移 114

22 干涉光束之间的不平行性 119

23 波面畸变 124

球面形状的畸变波(W2) 125

柱面形状的畸变波(W2) 127

具有局部平面偏差的畸变波(W2) 129

24 光阑的不正确安装 133

干涉仪的用途 141

干涉仪的结构原则 141

第六章 对干涉仪光学组件和机械组件的要求 141

25 对不同类型干涉仪组件要求的分析 141

干涉仪光学组件到干涉场的距离 143

主要光学零件和辅助光学零件 144

26 对主要光学零件制造质量的要求 144

反射镜和平板表面 144

光学零件的厚度和楔形度 152

光学零件的玻璃选择 154

27 对主要光学零件的安装精度要求 155

零件沿光轴偏移 155

零件在垂直于光轴方向的偏移 157

干涉仪反射镜的偏转 159

28 对准直光管和干涉仪接收部分的要求 160

准直光管离焦的影响 160

干涉仪接收部分畸变的影响 162

29 对机械组件的要求 165

结构刚性 165

温度变化 165

调整装置 168

干涉仪的安装调试和使用 171

安装调试的步骤 171

测量条纹移动和弯曲的方法 174

31 概述 177

第七章 测量长度的干涉仪 177

32 测量线纹尺和量块的特制干涉仪 179

全苏计量科学研究院的基准干涉装置 179

全苏计量科学研究院的通用干涉仪 181

33 绝对测量量块长度的干涉仪 185

柯氏干涉仪 185

英国国家物理研究所(NPL)干涉仪 191

黑尔格--华茨型干涉仪 191

34 比较测量量块长度的干涉仪 194

技术光波干涉法 194

接触式干涉仪 196

卡尔达雪夫干涉仪 197

双接触干涉仪 197

ИKM-10型干涉仪 198

35 测量零件外部尺寸的干涉仪 201

MHИ-11型多光束干涉显微镜 201

用玻璃平晶测量球径和圆柱直径的干涉方法 203

测量球径和圆柱直径的И3K-57型干涉仪 204

36 测量零件内部尺寸的干涉仪 209

用塞规测量透明环规内径的干涉方法 210

不接触比较测量孔径从8至30毫米的干涉内径测微计 211

比较测量孔径从5至12毫米的ИГ-88型干涉内径测微计 215

绝对测量法 218

37 测量小位移的干涉指示仪 220

灵敏度倍增的小接触干涉指示仪 222

双头干涉测微计 225

38 测量大位移的激光干涉仪 226

光学系统原理 226

布朗--布维尔干涉仪 228

ИПЛ型干涉仪 229

K-H公司的干涉仪 230

H-P公司的干涉仪 231

第八章 检查表面形状与微观几何特征的干涉仪 233

检查平面的干涉仪 233

玻璃样板法 233

斐索型干涉仪的应用 235

全息干涉仪 237

高灵敏度的ИKП-100型干涉仪 237

光电方法 239

检查大表面轮廓直线性的干涉仪 240

40 检查球面的干涉仪 242

球面玻璃样板 242

不接触法检查中等直径的球面干涉仪 244

检查大凹面的不等臂激光干涉仪 250

检查小直径球面的干涉仪 251

41 检查复杂形状表面的干涉方法和仪器 254

检查球面的玻璃样板和干涉仪 254

检查任意表面形状的方法 256

二次曲面的检验 258

圆柱表面的检验 260

沟槽表面的检验 262

42 干涉显微镜 265

林尼克干涉显微镜 265

干涉图样的对比度 268

获得直条纹的条件 270

显微物镜孔径的作用 273

查哈里也夫斯基单物镜干涉显微镜 275

检查光洁度的其它方法 276

43 显微干涉轮廓仪 277

林尼克显微干涉轮廓仪 277

圆柱透镜的位置和焦距的计算 279

狭缝的允许宽度 281

光学零件的制造和装配精度对条纹对比度和形状的影响 282

检查零件内表面光洁度的显微干涉轮廓仪 283

带有光谱分光镜的显微干涉轮廓仪 285

低灵敏度的显微干涉轮廓仪 287

第九章 其它用途的干涉仪 288

44 研究光学系统的干涉仪 288

泰曼干涉仪 288

林尼克法 290

才尔尼克法 291

45 测量物质折射率的干涉仪 292

瑞利干涉仪 292

雅敏干涉仪 294

固体的折射率测定 296

46 测定透明物体均匀性的干涉仪 297

迈克尔逊--泰曼干涉仪 297

詹德尔--马赫干涉仪 298

剪切式干涉仪 299

全息干涉仪 301

串联式干涉仪 303

47 研究透明微物的干涉显微镜 305

MБИH-4型生物干涉显微镜 305

双焦干涉显微镜 307

环形光路式干涉显微镜 308

48 三光束干涉仪和四光束干涉仪 310

第十章 提高干涉测量灵敏度的方法 310

瑞利型三光束干涉仪 311

洪辰格三光束干涉仪 314

哈利哈伦和森四光束干涉仪 316

49 目测高灵敏度双光束干涉仪 319

双透射式双光束干涉仪 320

兰奇光路 322

多次反射的镜面机构 322

50 光电法测量程差的变化 324

测量小程差的调频法 324

消色差条纹对准法 327

文献目录 333