第一章 制版概述 1
1-1 制版的意义 1
1-2 对光刻掩模的要求 1
目录 1
1-3 制版工艺流程 2
第二章 绘图与刻图 4
2-1 概述 4
2-2 绘图 4
2-3 刻图 10
2-4 复合版的刻图 12
2-5 刻图后的检查 14
2-6 补拍版子的方法 15
Ⅰ 罗甸湿版 17
3-1 罗甸湿版的制造 17
第三章 初缩工艺 17
3-2 罗甸湿版所使用的药品及配方 31
3-3 湿版工艺中的常见故障及排除方法 35
Ⅱ 高反差明胶干版 36
3-4 高反差明胶干版的制造 37
3-5 几个问题的说明 43
3-6 曝光 45
3-7 显影和定影 45
第四章 罗甸干版 46
4-1 罗甸干版的特点 46
4-2 罗甸干版的制造 46
4-3 罗甸干版的检验 53
4-4 罗甸干版的显影和定影 53
4-5 制作罗甸干版的药品及配方 54
5-2 超微粒干版的制造 57
5-1 超微粒干版的特点 57
第五章 超微粒干版 57
5-3 超微粒干版的使用 63
5-4 提高超微粒干版质量的几个问题 68
5-5 部分药剂及设备的制作 72
第六章 精密缩小与分步重复 75
6-1 精缩分步的基本原理 75
6-2 精缩分步的主要设备 77
6-3 精缩分步的操作工艺 88
第七章 真空蒸铬 96
7-1 真空蒸发的基本原理 96
7-2 蒸发设备及系统 97
7-3 蒸发工艺 99
7-4 铬版的优点 102
7-5 铬膜质量的几点讨论 103
7-6 真空蒸铬时经常发生的故障及排除方法 105
第八章 复印工艺 107
8-1 复印的基本原理 107
8-2 复印机 107
8-3 干版复印 110
8-4 修版 113
8-5 铬版复印 115
8-6 特细线条复印和复合版复印 127
8-7 复印对版子套准的影响 128
附录 130
Ⅰ 照相机镜头常识 130
Ⅱ 显影和定影技术 136
Ⅲ 常用配方 149
Ⅳ 尺寸单位 152
Ⅴ 摄影用有毒药品及解毒法 153