第14章 精密加工及超精密加工 1
第1节 概述 3
1 精密加工和超精密加工的范畴 3
2 精密加工和超精密加工方法 4
3 影响精密加工和超精密加工的因素 7
4 精密加工和超精密加工的特点 9
第2节 金刚石刀具的超精密切削 10
1 金刚石刀具超精密切削机理 10
2 金刚石刀具超精密切削机床 13
3 金刚石刀具的设计与刃磨 23
4 金刚石刀具超精密切削的应用 28
5 金刚石刀具切削加工误差的影响因素 29
第3节 超精密磨料加工 31
1 精密磨削和超精密磨削 31
2 精密和超精密砂带磨削 33
3 精密和超精密研磨 40
4 精密和超精密抛光 42
第4节 超精密特种加工 48
1 超精密特种加工方法 48
2 电子束加工 49
3 离子束加工 50
第5节 超精密加工的测量和误差补偿 51
1 超精密主轴系统及其动态精度测量 51
2 误差补偿技术 52
3 表面粗糙度的非接触式测量 53
第6节 精密定位、对准和微位移技术 54
1 精密定位 54
2 对准 54
3 微位移机构 55
第7节 超精密加工的工作环境 58
1 恒温 58
2 净化 59
3 防振和隔振 59
参考文献 61