第一章 导论 1
一 引言 1
二 有关术语 1
三 直线度、平面度公差 3
四 形状误差评定准则及评定方法 6
五 平面度计量器具国家计量检定系统 10
第二章 直线度测量 11
第1节 测量基准 11
第2节 无直线基准测量法 12
一 多面互检法 12
二 误差分离法 18
第3节 有直线基准测量法 25
一 实体直线基准测量法 25
二 重力基准测量法 43
三 光线基准测量法 50
四 光线基准干涉法 72
五 物理光学法 79
第4节 双频激光直线度测量装置机理及误差分析 82
一 渥拉斯顿棱镜作用原理 82
二 激光束漂移对测量的影响 89
三 渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量的影响 103
四 双面反射镜平面度误差对测量的影响 104
五 结论 104
第5节 各种直线度测量方法的特点及直线度测量原则 105
一 各种直线度测量方法的特点 105
二 直线度测量原则 108
第三章 直线度误差的评定方法及其测量不确定度 112
第1节 采样点读数值的归一处理 112
一 采样点的读数值和偏差值 112
二 采样点读数值的归一处理 113
第2节 直线度误差的评定方法 116
一 两端点联线法 117
二 最小二乘法 122
三 最小包容区域法(最小条件法) 122
第3节 最小条件法评定直线度误差的计算机精确算法 125
一 构造包容线法 125
二 构造凸多边形法 126
第4节 直线度误差的测量不确定度 132
一 各采样点读数值直接作用时直线度误差的测量不确定度 132
二 各采样点读数值非直接作用时直线度误差的测量不确定度 138
第四章 平面度测量 142
第1节 小平面平面度测量 142
一 平面平晶法测量 142
二 等厚干涉仪测量 143
三 高精度光学基准平面的测量 144
第2节 大平面平面度测量 150
一 水平仪、自准直仪法 151
二 标准平板打表法 155
三 光线扫描法 156
四 液面法 159
第五章 平面度误差的评定方法及其测量不确定度 162
第1节 采样点读数值的归一处理 162
一 水平仪测量方形网格布线读数值归一处理 162
二 自准直仪测量网格——对角线布线读数值归一处理 164
第2节 平面度误差的评定方法 171
一 对角线评定法 171
二 最小条件评定法 171
三 计算机近似评定法 174
四 最小条件计算机精确算法 175
第3节 最小条件法评定平面度误差的计算机精确算法——分区排序交叉判别法 175
一 方法原理要点 175
二 程序流程及步骤 188
三 计算例题 190
第4节 平面度误差的测量不确定度 192
一 按三角形准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析 192
二 按交叉准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析 194
三 按直线准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析 196
四 平面度测量中两种布线形式的采样点偏差值的测量不确定度 198
附录 211
参考文献 225