《主动红外微电子封装缺陷检测技术》PDF下载

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  • 作  者:陆向宁著
  • 出 版 社:北京:电子工业出版社
  • 出版年份:2016
  • ISBN:9787121307096
  • 页数:156 页
图书介绍:本书将主动红外无损检测技术应用于微电子封装领域,在介绍主动红外热成像检测原理、方法及系统组成的基础上,建立了倒装焊结构的热传导数学模型,并给出解析求解过程;将常见焊球缺陷引入倒装芯片的热传导模型,建立了倒装焊结构的纵向热阻网络;采用有限元法仿真分析了外部热激励作用下的倒装焊内部热传导状况,结合主动红外检测实验,采用不同的信号解析方法(主分量分析法、自参考技术、脉冲相位法,以及神经网络和模糊聚类的智能算法),对微焊球缺陷检测热信号进行分析,实现封装缺陷的有效检测。

第1章 绪论 1

1.1半导体技术的发展 1

1.2微电子封装技术 2

1.2.1微电子封装技术的发展 2

1.2.2芯片互连技术 4

1.3凸点倒装焊技术 7

1.3.1凸点倒装焊技术及其工艺 7

1.3.2凸点倒装焊可靠性 12

1.4封装缺陷检测方法 16

第2章 红外无损检测技术 21

2.1红外检测技术概述 21

2.2红外检测系统组成 23

2.2.1红外光学系统 24

2.2.2红外探测器 25

2.2.3红外热成像系统 28

2.3主动红外无损检测方法 32

2.4微电子封装红外检测系统 34

2.4.1红外热像仪 35

2.4.2激光加热系统 39

2.4.3控制系统及附件 42

2.5主动红外微凸点检测模型 43

第3章 主动红外检测仿真及焊球热性能分析 46

3.1热量传递的一般形式 46

3.2倒装焊芯片热传导数学建模 47

3.3微凸点热性能仿真分析 55

3.3.1倒装焊热阻网络 55

3.3.2主动红外微凸点检测有限元分析 58

3.3.3微凸点热性能表征与分析 67

3.4小结 71

第4章 主动红外微凸点检测分析 72

4.1主分量分析法 72

4.1.1主分量分析的基本原理 72

4.1.2检测实验及主分量分析流程 74

4.1.3热图像的主分量分析法 77

4.2热信号的自参考技术 86

4.2.1红外检测及热斑自参考技术 86

4.2.2微凸点的热信号自参考辨识 90

4.3热信号的脉冲相位分析 95

4.3.1脉冲相位成像法 95

4.3.2红外检测微凸点相位辨识 97

4.4小结 106

第5章 主动红外微凸点检测智能辨识方法 107

5.1人工神经网络概述 107

5.1.1人工神经网络的发展 107

5.1.2神经元结构模型 108

5.1.3人工神经网络的分类和特点 111

5.1.4人工神经网络的发展方向和应用 113

5.2BP神经网络的微凸点热信号分析 115

5.2.1BP神经网络 115

5.2.2微凸点BP神经网络分类 117

5.3概率神经网络的微凸点热信号分析 123

5.3.1概率神经网络 123

5.3.2微凸点概率神经网络分类 126

5.4微凸点模糊聚类分析方法 127

5.4.1模糊聚类分析 127

5.4.2特征加权的模糊c均值聚类分析 134

5.4.3微凸点模糊聚类分析 138

参考文献 146