第1章 材料表面技术与工程概论 1
材料表面技术与工程的概述 1
材料表面技术与工程实施的目的 1
材料表面技术与工程的分类和基础理论 2
材料表面技术与工程应用 12
航空航天工业中的应用 13
汽车工业中的应用 15
城市建设中的应用 17
家用电器工业中的应用 18
钢铁工业中大型部件的应用 19
电力、石化、机械工业中的大型部件上的应用 22
功能材料和元器件中的应用 23
电子技术中的应用 24
保护、优化环境中的应用 25
研究和制备先进新材料中的应用 27
材料表面技术与工程发展 36
材料表面技术与工程的概念 36
材料表面技术与工程的发展展望 37
参考文献 39
第2章 热喷涂涂层技术 41
概述 41
热喷涂涂层形成原理 41
热喷涂涂层的技术特点 41
热喷涂的技术分类 42
热喷涂涂层材料的特点和分类 45
热喷涂发展的历史概况 58
热喷涂技术的物理基础 59
热喷涂的热源特征 59
热喷涂涂层形成过程及其结构 64
热喷涂过程中粒子沉积的行为 66
金属粒子飞行过程中的氧化 67
热喷涂粒子的速度和温度 68
热喷涂涂层的残余应力 71
热喷涂涂层的结合机理 72
热喷涂的方法及装置 73
火焰喷涂 73
电弧喷涂 82
等离子喷涂 86
激光喷涂和喷焊 96
电热热源喷涂 98
热喷涂涂层的制备工艺 104
基体表面预处理 104
喷涂工艺 105
涂层精加工 112
微/纳米热喷涂涂层 113
微/纳米热喷涂简介 113
等离子喷涂的纳米结构涂层 115
超音速火焰喷涂的微/纳米结构涂层 118
电弧喷涂纳米结构涂层 119
微/纳米热喷涂技术的应用前景 120
热喷涂工艺技术的工业应用 121
热喷涂技术在航空航天工业中的应用 121
热喷涂技术在现代钢铁工业中的应用 130
热喷涂技术在能源工业中的应用 137
热喷涂技术在包装、印刷工业中的应用 142
热喷涂技术在造纸机械上的应用 145
热喷涂技术在纺织工业中的应用 150
热喷涂技术在汽车工业中的应用 150
热喷涂技术在化学工业中的应用 153
热喷涂在舰船空泡腐蚀防护上的应用 154
人工种植体生物功能中的应用 155
远红外辐射涂层的节能应用 157
热喷涂技术应用于喷涂成型 157
热喷涂用于模具的制造 158
大型钢结构件的长效防腐蚀 158
参考文献 159
第3章 材料现代表面改性技术 162
概述 162
等离子体的材料表面改性处理技术 163
等离子体的物理概念及其产生方法 163
等离子渗氮的原理 165
离子渗氮的优缺点和理论 168
等离子渗氮的设备和工艺 169
等离子渗氮的工程应用 176
等离子渗碳与碳氮共渗表面改性技术 206
等离子渗硫、等离子硫氮共渗、硫氮碳共渗 212
电子束与材料表面改性技术 216
电子束与材料表面改性特点 216
电子束与材料相互作用 217
电子束与材料表面改性装置 219
电子束与材料表面改性工艺 222
电子束与材料表面改性的应用 230
激光束与材料表面改性技术 231
激光束与材料表面改性的特点 231
激光束与材料的相互作用 232
激光束与材料表面改性设备 243
激光与材料表面改性工艺 245
激光束表面改性在工程材料中的应用 266
离子注入与材料表面改性技术 274
简介 274
离子注入的基本原理和优缺点 275
离子注入机 280
离子注入的改性机理 285
离子注入材料的工业应用 289
参考文献 313
第4章 薄膜化学气相沉积技术 316
概述 316
等离子体增强化学气相沉积技术 321
等离子体增强化学气相沉积技术中等离子体的性质和特点 321
射频等离子体化学气相沉积（RF-PCVD）技术 325
直流等离子体增强化学气相沉积技术 339
脉冲直流等离子体化学气相沉积技术 347
激光化学气相沉积（LCVD）技术 355
激光化学气相沉积设备 355
激光化学气相沉积工艺 357
应用 362
微波等离子体化学气相沉积技术 364
微波等离子体CVD装置 365
微波等离子体CVD沉积工艺与应用 367
金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术 369
金属有机化学气相沉积的原理 370
MO源 370
金属有机化学气相沉积设备与工艺 373
金属有机化学气相沉积技术的应用 379
分子束外延技术 383
分子束外延的特点 383
分子束外延的原理 384
分子束外延装置与分类 384
分子束外延的生长工艺 389
分子束外延的应用 390
化学气相沉积金刚石薄膜技术 390
金刚石薄膜的优异的性能 391
沉积制备金刚石膜的方法 394
化学气相沉积金刚石膜机理 397
金刚石薄膜制备与应用研究的主要进展 400
展望 407
参考文献 409
第5章 薄膜物理气相沉积技术 411
概述 411
真空蒸发镀膜技术 414
简介 414
真空蒸发镀膜原理 415
真空蒸发镀膜方式及设备和工艺 419
真空蒸发镀膜的应用 428
溅射镀膜技术 431
简介 431
溅射镀膜原理 433
溅射镀膜的方式 437
溅射镀膜装置和工艺 441
溅射镀膜的应用 442
离子镀膜技术 456
简介 456
离子镀膜的原理和特点 457
离子镀膜的工艺 464
活性反应离子镀 467
空心阴极离子镀 474
射频溅射离子镀 477
磁控溅射离子镀 480
真空电弧离子镀 494
热阴极强流电弧离子镀 503
参考文献 506
第6章 表面复合离子处理技术 508
概述 508
离子注入与镀膜的技术复合 509
离子束辅助沉积技术 509
离子团束沉积技术 528
激光与气相沉积、电子束与气相沉积技术复合 537
激光与气相沉积技术复合 537
电子束与气相沉积技术的复合 537
等离子喷涂与激光技术复合 538
用等离子喷涂与激光复合技术提高钢基材的性能 538
用等离子喷涂与激光复合涂层技术提高精锻机芯棒的高温、高速锻打的使用寿命 540
激光雕刻柔版印刷用高线数陶瓷涂层网纹辊 541
等离子喷涂与激光涂覆技术复合提高涂层的性能 545
等离子喷涂与离子注入技术复合提高材料表面硬度和摩擦性能 546
多种表面沉积技术制备多层复合膜层 546
用多种气相沉积技术制备发光器件的多功能复合膜层 546
用多种表面处理技术制备在临界压应力下不易塌陷的多层复合膜 549
磁控溅射与阴极多弧离子镀的技术复合 550
多层硬质复合膜与纳米多层膜技术 555
多层硬质复合膜与纳米多层膜沉积设备 555
多层硬质耐磨膜 555
纳米超硬多层膜 556
参考文献 562
第7章 材料表面微细加工技术 564
概述 564
表面微细加工技术简介 565
光刻加工 565
电子束微加工 569
离子束微加工 572
激光束微细加工 579
超声波加工 581
微细电火花加工 584
微细电解加工 587
微电铸 588
LIGA技术加工 590
准LIGA技术加工 593
微细加工技术是微电子技术发展的工艺基础 594
微电子微细加工技术 594
微细加工技术是微电子技术发展的工艺基础 598
微机电系统加工技术 599
微机电系统加工技术与特点 600
微机电系统加工的典型器件与系统 601
微机械与微机电系统常用材料 611
微机电系统加工的多样化与标准化 612
微机电系统研究开发概况与产业化前景 614
国外微机电系统研究开发概况及产业化前景 614
我国微机电系统技术研究开发概况和发展方向 616
参考文献 618