《真空技术与设备》PDF下载

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  • 作  者:上海市机械综合研究所编
  • 出 版 社:上海市科学技术编译馆
  • 出版年份:1965
  • ISBN:15·343
  • 页数:111 页
图书介绍:

1.高真空蒸气泵物理评述 1

2.扩散泵的发展 20

3.加挡板系统中的返流 29

4.喷口设计对油扩散泵返流率影响的实验研究 38

5.油扩散泵中的反扩散 47

6.标准小孔在校准真空规中的运用 56

7.罗茨泵(设计与特性) 71

8.机械增压真空泵的最近发展 82

9.超高真空连续蒸发装置的构成和真空特性 88

10.高稳定性自动薄膜真空沉积系统 106