真空技术与设备PDF电子书下载

1．高真空蒸气泵物理评述 1

2．扩散泵的发展 20

3．加挡板系统中的返流 29

4．喷口设计对油扩散泵返流率影响的实验研究 38

5．油扩散泵中的反扩散 47

6．标准小孔在校准真空规中的运用 56

7．罗茨泵（设计与特性） 71

8．机械增压真空泵的最近发展 82

9．超高真空连续蒸发装置的构成和真空特性 88

10．高稳定性自动薄膜真空沉积系统 106