目录 1
1.初始硅的质量 1
2.用电子束加热的基座技术生长直径40毫米硅晶体 8
3.在集成电路加工中切克劳斯基和悬浮区熔硅的表面和体内的变化 13
4.硅外延生长 18
5.在氮中外延淀积硅 24
6.在800—1150℃温度范围内从SiH4外延生长硅 28
7.外延硅层的高速化学蒸汽淀积 32
8.用热处理消除硅外延层中的堆垛层错 37
9.计算机控制外延生产系统 43
10.单晶氧化物衬底 49
11.结合两种生长方法在绝缘衬底上外延淀积硅膜 55
12.硅中的缺陷——它们的来源以及对硅平面器件性能的影响 58
13.半导体硅痕量分析方法的比较 62
14.切克劳斯基硅晶体中氧和碳的含量 68