《MOS集成电路工艺规范》PDF下载

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作　　者：上海元件五厂上海半导体研究所
出版社：上海科学技术文献出版社
出版年份：1980
ISBN：
页数：196 页

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通用工艺规范 1

P—MOS硷栅工艺规范 18

CMOS金属栅工艺规范 70

N-MOS金属栅工艺规范 136

译后注 195