1 概论 1
1．1传感器的作用与地位 1
1．2传感器的技术发展 6
1．3平面工艺简介 12
2 半导体传感器工作原理、结构与特性 16
2．1硅材料与硅传感器 16
2．2半导体光敏传感器 18
2．3半导体力学量传感器 30
2．4半导体磁敏传感器 37
2．5半导体温度传感器 42
2．6场效应管敏感器件 46
2．7集成传感器 51
2．8发展现状与趋势 57
3 微电子机械系统 60
3．1电子机械系统与微电子机械系统 60
3．2微机械执行器与微电子机械系统的发展 62
3．3微机械加工技术 66
3．4微机械执行器 81
3．5微电子机械系统（MEMS） 95
3．6微电子机械系统的发展趋势 108
4 国家攀登计划“微电子机械系统”研究成果 111
4．1微马达 112
4．2微电子机械系统 117
4．3技术和材料 123
4．4小结和展望 131
一、在工业生产控制系统中的应用 140
附 应用举例 140
二、在汽车和船舶中的应用 143
三、在安全、防火方面的应用 146
四、在电力测量中的应用 147
五、在家用电器中的应用 148
六、在医学中的应用 149
七、在纺织行业中的应用 150
八、在显示器及数码相机中的应用 151
九、在尖端武器中的应用 152
小词典 154