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第一章 引论 1
1-1 “真空”及其特点 1
1-2 真空泵的分类 1
1-3 真空泵的性能、用途和使用范围 3
1-4 真空泵的型号及规格表示法 5
第二章 水环式真空泵 6
2-1 水环泵的工作原理及特点 6
2-2 水环泵的基本类型与结构 7
2-3 水环泵的设计计算 10
3-1 往复泵的工作原理 24
第三章 往复式真空泵 24
3-2 往复泵的配气装置 25
3-3 往复泵的结构特点 28
3-4 往复泵的主要尺寸及结构参数的确定 29
第四章 旋片真空泵 32
4-1 概述 32
4-2 旋片泵的工作原理 32
4-3 旋片泵的主要参数 33
4-4 旋片泵的设计计算 41
4-5 旋片泵的基本结构 45
4-6 气镇原理及其计算 48
5-2 滑阀泵的工作原理及其结构特点 53
5-1 概述 53
第五章 滑阀真空泵 53
5-3 滑阀泵性能参数的确定 56
5-4 滑阀泵振动的产生及其控制 58
5-5 机械泵油 61
第六章 余摆线真空泵 64
6-1 概述 64
6-2 余摆线泵的工作原理 64
6-3 余摆线泵的结构特点 65
6-4 余摆线泵的型线分析 66
6-5 余摆线泵主要几何参数的确定 71
7-2 罗茨泵的工作原理及其结构特点 76
7-1 概述 76
第七章 罗茨真空泵 76
7-3 罗茨泵转子的型线 79
7-4 罗茨泵的主要性能计算 92
7-5 罗茨泵的冷却 94
7-6 罗茨泵防止过载的措施 95
7-7 罗茨泵转子的受力分析与强度计算 98
第八章 分子泵 100
8-1 概述 100
8-2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点 101
8-3 涡轮分子泵的抽气原理与结构特点 106
8-4 复合式分子泵的抽气原理与结构特点 115
9-1 水蒸气喷射泵的工作原理及其结构特点 118
第九章 水蒸气喷射泵 118
9-2 喷射泵的特性曲线及其参数选择 123
9-3 喷射泵的设计计算 128
第十章 油扩散泵 138
10-1 扩散泵的工作原理 138
10-2 蒸气射流的基本特性 144
10-3 扩散泵的性能 151
10-4 扩散泵油的特性及返油 153
10-5 油扩散泵的结构特点 155
10-6 油扩散泵的设计计算 156
11-1 油增压泵的工作原理与结构特点 160
第十一章 油增压泵 160
11-2 增压泵油 166
11-3 油增压泵的特性 167
11-4 增压泵的油蒸气迁移 169
11-5 油增压泵的运转 170
第十二章 分子筛吸附泵 173
12-1 分子筛的结构及其抽气原理 173
12-2 分子筛吸附泵的结构 175
12-3 分子筛吸附泵的设计计算 176
第十三章 钛升华泵 183
13-1 概述 183
13-2 钛升华泵的工作原理 183
13-3 钛升华泵吸气面的设计和主要参数选择 184
13-4 钛升华器的结构 193
第十四章 轨旋式离子泵 197
14-1 概述 197
14-2 轨旋式离子泵的工作原理 197
14-3 轨旋式离子泵的设计简介 200
第十五章 溅射离子泵 201
15-1 概述 201
15-2 溅射离子泵的工作原理 201
15-3 溅射离子泵的设计 203
第十六章 低温泵 214
16-1 概述 214
16-2 低温泵的抽气原理和分类 214
16-3 低温冷凝泵的抽速和极限压强 215
16-4 低温冷凝泵的设计方法 219
16-5 小型制冷机低温泵 224
第十七章 锆铝吸气泵 231
17-1 概述 231
17-2 锆铝吸气泵的结构及其抽气原理 231
17-3 锆铝吸气泵性能参数的选择 235
第十八章 真空泵流量的测量方法 239
18-1 压差式流量计法 239
18-2 转子流量计法 241
18-3 定容法 243
18-4 定压法 244
18-5 压差法 245
参考文献 246