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前言页 1

第一章 引论 1

1-1 “真空”及其特点 1

1-2 真空泵的分类 1

1-3 真空泵的性能、用途和使用范围 3

1-4 真空泵的型号及规格表示法 5

第二章 水环式真空泵 6

2-1 水环泵的工作原理及特点 6

2-2 水环泵的基本类型与结构 7

2-3 水环泵的设计计算 10

3-1 往复泵的工作原理 24

第三章 往复式真空泵 24

3-2 往复泵的配气装置 25

3-3 往复泵的结构特点 28

3-4 往复泵的主要尺寸及结构参数的确定 29

第四章 旋片真空泵 32

4-1 概述 32

4-2 旋片泵的工作原理 32

4-3 旋片泵的主要参数 33

4-4 旋片泵的设计计算 41

4-5 旋片泵的基本结构 45

4-6 气镇原理及其计算 48

5-2 滑阀泵的工作原理及其结构特点 53

5-1 概述 53

第五章 滑阀真空泵 53

5-3 滑阀泵性能参数的确定 56

5-4 滑阀泵振动的产生及其控制 58

5-5 机械泵油 61

第六章 余摆线真空泵 64

6-1 概述 64

6-2 余摆线泵的工作原理 64

6-3 余摆线泵的结构特点 65

6-4 余摆线泵的型线分析 66

6-5 余摆线泵主要几何参数的确定 71

7-2 罗茨泵的工作原理及其结构特点 76

7-1 概述 76

第七章 罗茨真空泵 76

7-3 罗茨泵转子的型线 79

7-4 罗茨泵的主要性能计算 92

7-5 罗茨泵的冷却 94

7-6 罗茨泵防止过载的措施 95

7-7 罗茨泵转子的受力分析与强度计算 98

第八章 分子泵 100

8-1 概述 100

8-2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点 101

8-3 涡轮分子泵的抽气原理与结构特点 106

8-4 复合式分子泵的抽气原理与结构特点 115

9-1 水蒸气喷射泵的工作原理及其结构特点 118

第九章 水蒸气喷射泵 118

9-2 喷射泵的特性曲线及其参数选择 123

9-3 喷射泵的设计计算 128

第十章 油扩散泵 138

10-1 扩散泵的工作原理 138

10-2 蒸气射流的基本特性 144

10-3 扩散泵的性能 151

10-4 扩散泵油的特性及返油 153

10-5 油扩散泵的结构特点 155

10-6 油扩散泵的设计计算 156

11-1 油增压泵的工作原理与结构特点 160

第十一章 油增压泵 160

11-2 增压泵油 166

11-3 油增压泵的特性 167

11-4 增压泵的油蒸气迁移 169

11-5 油增压泵的运转 170

第十二章 分子筛吸附泵 173

12-1 分子筛的结构及其抽气原理 173

12-2 分子筛吸附泵的结构 175

12-3 分子筛吸附泵的设计计算 176

第十三章 钛升华泵 183

13-1 概述 183

13-2 钛升华泵的工作原理 183

13-3 钛升华泵吸气面的设计和主要参数选择 184

13-4 钛升华器的结构 193

第十四章 轨旋式离子泵 197

14-1 概述 197

14-2 轨旋式离子泵的工作原理 197

14-3 轨旋式离子泵的设计简介 200

第十五章 溅射离子泵 201

15-1 概述 201

15-2 溅射离子泵的工作原理 201

15-3 溅射离子泵的设计 203

第十六章 低温泵 214

16-1 概述 214

16-2 低温泵的抽气原理和分类 214

16-3 低温冷凝泵的抽速和极限压强 215

16-4 低温冷凝泵的设计方法 219

16-5 小型制冷机低温泵 224

第十七章 锆铝吸气泵 231

17-1 概述 231

17-2 锆铝吸气泵的结构及其抽气原理 231

17-3 锆铝吸气泵性能参数的选择 235

第十八章 真空泵流量的测量方法 239

18-1 压差式流量计法 239

18-2 转子流量计法 241

18-3 定容法 243

18-4 定压法 244

18-5 压差法 245

参考文献 246