1.1.1 气体定律 1
1.1.2 气体分子的速率 1
第1篇 真空工程的技术基础 1
第1章 稀薄气体动力论 1
1.1 稀薄气体在平衡态下的物理特性 1
1.1.4 气体分子自由程及其分布律 2
1.1.3 气体分子之间的碰撞 2
1.1.5 气体分子对表面的入射 3
1.2.1 气体的动量迁移 4
1.2 稀薄气体在非平衡态下的迁移 4
1.1.6 气体分子从表面的反射 4
1.2.2 气体的能量迁移 6
1.2.3 气体的质量迁移 7
1.2.4 热流逸现象 8
1.2.5 分子辐射力现象 9
1.3.1 流动状态及其判别 10
1.3 稀薄气体的流动 10
1.3.4 分子流态的流量——克努曾公式 11
1.3.3 黏滞流态的流量-泊谡叶公式 11
1.3.2 流动参量 11
1.3.5 过渡流态的流量 12
2.1.2 蒸气压 13
2.1.1 蒸汽 13
第2章 真空中的相变与气固界面现象 13
2.1 蒸发和凝结 13
2.1.3 蒸发率和凝结率 14
2.2.1 吸附机理 15
2.2 吸附 15
2.2.2 吸附参量 17
2.2.3 物理吸附与化学吸附 19
2.2.4 吸附动力学 20
2.2.5 吸附等温线 21
2.3.1 气体在固体中的溶解 22
2.3 溶解、扩散和渗透 22
2.3.2 气体在固体中的扩散与渗透 23
3.1.1 荷能原子、离子与表面 25
3.1 荷能粒子与表面 25
第3章 真空中的电现象 25
3.2.1 电子发射基础 27
3.2 电子发射 27
3.1.2 荷能电子与表面 27
3.2.2 热电子发射 28
3.2.4 二次电子发射 29
3.2.3 场致发射 29
3.3 气体放电 30
3.2.5 光电子发射 30
3.3.1 气体放电中的粒子碰撞 31
3.3.3 气体放电特性 34
3.3.2 带电粒子在气体中的运动 34
3.3.4 气体放电实验及伏安特性曲线 35
3.3.5 汤生放电 36
3.3.6 破裂电压与巴邢定律 38
3.3.7 辉光放电 39
3.3.8 弧光放电 42
3.3.9 其他类型放电 44
3.4.2 电磁偏转 46
3.4.1 电磁加速 46
3.4 带电粒子在电磁场中的运动 46
3.4.3 磁聚焦 48
3.4.4 带电粒子在恒定电场中的运动 49
3.4.5 带电粒子在正交均匀电磁场中的运动 50
3.4.6 带电粒子在径向电场及轴向磁场中的运动 52
4.1.1 液环泵的工作原理及特点 53
4.1 液环式真空泵 53
第2篇 真空工程的基础元件 53
第4章 机械真空泵 53
4.1.2 液环泵的基本类型与结构 54
4.1.3 液环泵的设计计算 55
4.1.5 液环泵的使用与注意事项 60
4.1.4 液环泵的常见故障及消除方法 60
4.2.1 往复泵的结构和工作原理 61
4.2 往复式真空泵 61
4.2.2 往复泵的主要性能参数 62
4.2.3 往复泵的气阀设计 65
4.2.4 往复泵设计中的几个问题 67
4.2.5 往复泵的使用与维护 69
4.3.2 工作原理和结构特点 70
4.3.1 概述 70
4.3 旋片式真空泵 70
4.3.3 性能参数及主要几何尺寸的确定 73
4.3.4 气镇量的计算 76
4.3.5 旋片泵的运行和维护 77
4.4.1 概述 79
4.4 滑阀式油封机械泵 79
4.4.2 滑阀泵的工作原理和结构特点 80
4.4.3 滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定 81
4.4.4 滑阀泵的质量平衡与减振 83
4.4.5 机械泵油 84
4.4.6 滑阀式真空泵常见故障及其消除方法 85
4.5.1 概述 86
4.5 罗茨式真空泵 86
4.5.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点 87
4.5.3 罗茨泵的主要参数确定 89
4.5.4 罗茨泵的转子型线 94
4.5.5 抽气速率的计算方法 97
4.5.6 罗茨泵的主要尺寸的确定 99
4.5.7 罗茨泵的使用与维护 100
4.6.1 概述 102
4.6 爪型干式真空泵 102
4.6.3 爪型转子的理论型线 103
4.6.2 工作原理 103
4.6.4 爪型干式真空泵的几何性能 110
4.6.5 爪型干泵的结构特点 111
4.7.2 涡旋泵工作原理与结构 113
4.7.1 概述 113
4.7 涡旋干式真空泵 113
4.7.3 涡旋泵几何参数与啮合条件 114
4.7.4 涡旋泵的设计计算 115
4.7.5 密封部位的泄漏量 117
4.8 螺杆式真空泵 119
4.7.6 涡旋泵的主要性能参数 119
4.8.2 螺杆式真空泵的结构 120
4.8.1 螺杆式真空泵的工作原理 120
4.8.3 螺杆式真空泵转子的型线 122
4.8.4 螺杆式真空泵的几何特性 125
4.9.1 概述 128
4.9 分子真空泵 128
4.9.2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点 129
4.9.3 多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理 131
4.9.4 涡轮分子泵的抽气原理及结构特点 135
4.9.5 涡轮分子泵抽气性能的计算 138
5.1.2 水喷射泵的工作原理 143
5.1.1 水喷射泵的主要用途 143
第5章 喷射真空泵 143
5.1 水喷射泵 143
5.1.4 水喷射泵的设计与计算方法 144
5.1.3 水喷射泵的主要结构形式 144
5.1.5 水喷射泵的安装形式 145
5.1.6 水喷射泵常见故障及排除方法 146
5.2.3 水蒸气喷射泵的抽气特性 147
5.2.2 水蒸气喷射泵的工作原理 147
5.2 蒸汽喷射泵 147
5.2.1 概述 147
5.2.4 多级喷射泵系统的组成和结构 148
5.2.5 水蒸气喷射泵的设计计算 151
5.2.6 水蒸气喷射泵的常见故障及消除方法 153
5.3.1 油扩散泵的结构 154
5.3 油扩散泵 154
5.3.3 油扩散泵的抽气特性 155
5.3.2 扩散泵的工作过程 155
5.3.4 油扩散泵的加热功率 158
5.3.6 油扩散泵的使用与维护 159
5.3.5 扩散泵工作液 159
5.4.2 油增压泵的结构 161
5.4.1 油增压泵的工作原理 161
5.4 油扩散喷射真空泵 161
5.4.3 油增压泵的抽气特性 162
5.4.4 油增压泵的使用与维护 164
6.1.3 主要性能参数 165
6.1.2 分类与结构 165
第6章 气体捕集真空泵 165
6.1 低温泵 165
6.1.1 抽气机理和性能特点 165
6.2.2 原理与结构 167
6.2.1 特点及应用范围 167
6.1.4 设计原则和程序 167
6.2 溅射离子泵 167
6.2.3 设计与计算要点 168
6.3 钛升华泵 169
6.4.2 电离器的结构 171
6.4.1 电离升华泵的工作原理 171
6.4 电离升华泵 171
6.5.1 分子筛的结构及其抽气原理 172
6.5 分子筛吸附泵 172
6.5.2 分子筛吸附泵的结构 173
6.5.3 设计与计算要点 174
6.6.1 工作原理与结构 175
6.6 非蒸散型吸气泵 175
6.6.2 设计与计算要点 176
7.1.3 真空阀门发展概况 178
7.1.2 真空阀门的特点、种类 178
第7章 真空阀门 178
7.1 概述 178
7.1.1 真空阀门的定义、作用 178
7.2.1 真空阀门的基本要求 179
7.2 真空阀门的设计与计算 179
7.1.4 发展前景 179
7.2.3 真空阀门的密封 180
7.2.2 真空阀门设计步骤 180
7.2.4 真空阀门压紧装置及设计计算 182
7.2.5 阀盖的传动机构及其设计计算 185
7.3.1 隔膜式真空阀门 188
7.3 真空阀门原理、形式、性能参数 188
7.3.2 电磁真空阀 190
7.3.3 真空挡板阀 193
7.3.4 真空插板阀 201
7.3.5 真空翻板阀 208
7.3.6 真空蝶阀 209
7.3.7 真空球阀 211
7.4.1 真空微调阀 216
7.4 真空微调阀、真空放气阀 216
7.4.2 真空放气阀 218
7.5.2 形式、性能参数 222
7.5.1 原理、使用范围 222
7.5 玻璃真空活塞 222
7.6.1 真空阀门漏气速率（简称漏率）的测试 226
7.6 真空阀门性能测试（选自JB/T 6446—92） 226
7.5.3 安装、使用、维护 226
7.6.3 真空阀门寿命的测试 228
7.6.2 真空阀门流导的测试 228
8.2.2 焊接 229
8.2.1 封接 229
第8章 真空密封 229
8.1 概述 229
8.2 永久密封连接 229
8.3.1 柔性密封连接 232
8.3 可拆密封连接 232
8.3.3 法兰与垫圈相结合的密封连接 233
8.3.2 螺纹密封连接 233
8.4.1 真空动密封连接的分类 245
8.4 真空动密封连接 245
8.4.2 接触式真空动密封连接 246
8.4.3 非接触式真空动密封连接 252
9.1 除尘器 260
9.1.1 几种除尘器的工作原理 260
第9章 除尘器和挡油器 260
9.1.2 除尘过滤器的种类 262
9.2.1 挡油帽 263
9.2 挡油器 263
9.2.2 挡油板 264
9.2.3 冷阱 266
10.1.1 观察窗的结构类型 268
10.1 观察窗 268
第10章 观察窗和电板导入部件 268
10.1.3 观察窗的设计要点 270
10.1.2 真空设备常用的观察窗标准（SJ 1774—81） 270
10.2.2 电极导入部件的结构 271
10.2.1 电极导入部件密封的设计要求 271
10.2 真空室电极导入部件 271
11.1.3 真空计的分类及测量范围 277
11.1.2 真空度量值的单位 277
第11章 真空测量仪器 277
11.1 概述 277
11.1.1 真空测量的研究对象 277
11.1.4 真空测量的特点及真空计的选用原则 278
11.2.2 闭式U形管真空计的压力测量原理 279
11.2.1 开式U形管真空计的压力测量原理 279
11.2 液位式真空计 279
11.2.3 U形管真空计结构形式的改进 280
11.3.2 压缩式真空计的测量刻度方法及灵敏度 281
11.3.1 压缩式真空计的结构与原理 281
11.3 压缩式真空计 281
11.3.3 压缩式真空计的测量范围 282
11.3.4 压缩式真空计的测量误差与标准压缩式真空计 283
11.3.5 压缩式真空计的形式及使用注意事项 284
11.4.2 电容式薄膜真空计 285
11.4.1 机械传动式弹性变形真空计 285
11.4 弹性变形真空计 285
11.4.3 振膜式真空计 286
11.5.1 热传导真空计的工作原理、测量范围及特点 287
11.5 热传导真空计 287
11.5.2 电阻真空计 288
11.5.3 热偶真空计 290
11.6.1 热阴极电离真空计 291
11.6 电离真空计 291
11.6.2 冷阴极电离真空计 298
11.6.3 放射性电离真空计 300
11.7.1 非对称型磁悬浮转子真空计的结构及工作原理 301
11.7 磁悬浮转子真空计 301
11.8.2 四极滤质器 302
11.8.1 分压力测量或残余气体分析的过程及主要性能 302
11.7.2 磁悬浮转子真空计的特点 302
11.8 分压力真空计 302
11.8.3 射频质谱计 303
11.8.5 识谱技术 304
11.8.4 飞行时间质谱仪 304
11.9.2 静态膨胀法 305
11.9.1 绝对真空计校准法 305
11.9 真空计校准 305
11.9.3 动态流导法 306
11.9.4 副标准真空计校准法 307
11.10.3 规管安装位置和方法对真空测量的影响 308
11.10.2 温度对真空测量的影响 308
11.10 真空测量技术 308
11.10.1 气体种类对真空测量的影响 308
11.10.6 管规和裸规的差异 309
11.10.5 热表面与气体相互作用对真空测量的影响 309
11.10.4 规管吸放气作用对真空测量的影响 309
12.1 真空系统的种类及工作状态 311
第12章 常用真空系统的组成与安装 311
第3篇 真空工程中常用的真空系统 311
12.2.1 真空室的门 312
12.2 真空室（被抽容器） 312
12.2.2 真空室的冷却 313
12.3.2 真空系统的调试及日常维护 314
12.3.1 真空系统的安装 314
12.2.3 真空室的特殊结构 314
12.3 常用真空系统的安装、调试与维护 314
13.1.3 材料的许用应力与焊缝系数 315
13.1.2 容器的壁厚附加量与最小壁厚 315
第13章 真空容器的设计与计算 315
13.1 真空容器设计的一般知识 315
13.1.1 薄壳壁厚与设计压力 315
13.1.4 容器开孔与开孔补强 316
13.1.5 压力试验 319
13.2.1 圆筒形壳体的设计 320
13.2 真空容器壳体的设计 320
13.2.4 盒形壳体设计 323
13.2.3 圆锥形壳体的设计 323
13.2.2 球形壳体的设计 323
13.2.5 椭圆球形壳体的设计 324
13.2.6 圆环形壳体 325
13.3.1 概述 326
13.3 圆筒体加强圈的设计 326
13.4.2 外压凸形封头 327
13.4.1 外压球形封头 327
13.3.2 图表法计算加强圈 327
13.4 封头设计 327
13.4.3 锥形封头 332
13.4.4 平盖 333
13.4.5 同圆筒体连接的加强球盖 335
13.5.2 封头开孔补强 336
13.5.1 概述 336
13.4.6 井字加强圆形球盖 336
13.5 开孔加强设计 336
13.5.5 开孔补强计算 337
13.5.4 内压圆筒体开孔补强 337
13.5.3 外压容器的开孔补强 337
13.6.1 螺栓计算 338
13.6 法兰及管道设计 338
13.5.6 并联开孔的补强 338
13.5.7 加强方法 338
13.6.2 内压法兰计算 340
13.6.4 快开法兰计算 342
13.6.3 外压法兰计算 342
13.6.5 管道壁厚计算 343
14.2.1 流导和流导几率 345
14.2 管道的流导计算 345
第14章 真空系统的设计与计算 345
14.1 概述 345
14.1.1 气体流动状态的判别 345
14.1.2 真空系统的有效抽速 345
14.2.2 流导的计算 346
14.3.1 真空系统的抽气方程 348
14.3 抽气时间的计算 348
14.3.2 低真空下抽气时间的计算 349
14.3.5 有关超高真空抽气的一些问题 351
14.3.4 几个典型真空度的抽气时间 351
14.3.3 高真空下抽气时间的计算 351
14.4.1 选主泵 353
14.4 真空系统设计 353
14.4.2 配泵 354
14.4.4 真空系统的典型形式 355
14.4.3 贮气罐和维持泵 355
14.5.1 镀膜设备真空系统的设计 358
14.5 真空系统设计实例 358
14.5.2 新型电子束熔炼炉的真空系统设计 359
14.5.3 大型准无油真空除气炉的设计 360
14.5.4 真空汽相干燥设备的真空系统设计 361
14.5.5 76km高空环境模拟试验舱的真空系统的设计 363
14.5.6 SSRF增强器真空系统设计 364
15.1.3 漏孔、漏率、最大允许漏率 365
15.1.2 漏气的判断方法 365
第15章 真空系统的检漏 365
15.1 概述 365
15.1.1 真空检漏的目的及一些基本概念 365
15.1.4 漏孔的气流特性 366
15.2.2 真空检漏法 367
15.2.1 压力检漏法 367
15.2 检漏方法分类及对检漏方法的要求与选择 367
15.2.5 对检漏方法的要求与选择 368
15.2.4 各种检漏方法小结 368
15.2.3 背压检漏法 368
15.3.1 静态升压法 369
15.3 各种检漏方法 369
15.3.2 气泡检漏法 370
15.3.3 氨气检漏法 371
15.3.4 真空计检漏法 372
15.3.6 氢-钯检漏法 373
15.3.5 离子泵检漏法 373
15.3.9 慢性漏气的加速检测法 374
15.3.8 放射性同位素检漏法 374
15.3.7 荧光检漏法 374
15.4.1 高频火花检漏仪 375
15.4 真空检漏仪器 375
15.4.2 卤素检漏仪 376
15.4.3 气敏半导体检漏仪 378
15.5.1 氦质谱检漏仪的工作原理 379
15.5 氦质谱检漏仪 379
15.5.2 氦质谱检漏仪的整体结构 380
15.5.3 氦质谱检漏仪的灵敏度及其校准 383
15.5.4 检漏方法 385
15.6.1 标准漏孔及其常用的结构形式 389
15.6 标准漏孔 389
15.7 真空检漏工作的注意事项 390
15.6.3 标准漏孔使用中应注意的几个问题 390
15.6.2 标准漏孔的校准 390
16.1.1 真空感应炉概述 393
16.1 真空感应炉 393
第4篇 真空工程技术的主要应用 393
第16章 真空冶炼设备 393
16.1.2 真空感应加热与熔炼的物理基础 396
16.1.3 真空感应炉的结构设计计算 401
16.1.4 真空感应炉的参数计算 407
16.1.5 真空感应炉的电源 412
16.2.1 真空电弧熔炼概述 415
16.2 真空电弧炉 415
16.2.2 真空中的电弧 416
16.2.3 真空自耗炉的结构及其设计计算 417
16.2.4 真空电弧炉的电源和自耗电极的控制 433
16.3.1 概述 443
16.3 真空电子束炉 443
16.3.2 电子束加热原理 444
16.3.3 电子束炉的结构 445
16.3.4 熔炼功率、熔化速度和送料速度 450
16.3.5 轴向电子束发生器 453
16.3.6 电子束熔炼炉的主回路 462
16.4.1 概述 464
16.4 钢液真空炉外精炼 464
16.4.2 钢液真空脱气及排除夹杂原理 465
16.4.4 钢液炉外精炼的钢种及精炼的冶金效果 466
16.4.3 钢液真空处理方法及炉外精炼手段的分类 466
16.4.5 钢液真空炉外精炼设备 470
16.4.6 钢液真空炉外精炼设备设计中的若干问题 486
17.1.1 真空热处理的作用 495
17.1 真空热处理的理论基础 495
第17章 真空热处理设备 495
17.1.3 真空热处理的工艺过程 496
17.1.2 真空热处理的特点 496
17.1.4 影响真空热处理的工艺参数 497
17.2 真空热处理炉的结构设计 499
17.2.1 真空热处理炉的分类 500
17.2.2 真空热处理炉的结构 501
17.3.2 加热功率计算 507
17.3.1 设计参数和总体方案的确定 507
17.3 真空热处理设备的设计计算 507
17.3.3 加热体几何尺寸的设计计算 510
17.3.5 水冷却系统的计算 511
17.3.4 加热体寿命计算 511
17.3.6 气冷风机的设计计算 512
17.3.7 淬火油槽的设计 512
17.3.8 淬火料筐的传动机构的设计 513
17.4 真空热处理炉的典型结构及应用 515
17.4.1 真空正压气淬和油淬炉的典型结构 515
17.4.2 真空正压气淬的典型应用 517
17.4.3 真空油淬的典型工艺 519
17.4.4 真空回火炉的典型结构及应用 519
17.4.5 真空渗碳炉及其应用 520
17.4.6 真空热处理设备的选型 520
第18章 真空钎焊与烧结 523
18.1 真空钎焊 523
18.1.1 真空钎焊及其获得优质钎焊接头的机理 523
18.1.2 真空钎焊技术的特点及其应用领域 525
18.1.3 钎焊材料与钎焊辅助材料 526
18.1.4 真空钎焊工艺 532
18.1.5 真空钎焊技术的应用实例 539
18.1.6 真空钎焊设备 548
18.2 真空烧结 553
18.2.1 真空烧结技术的应用及特点 553
18.2.2 真空烧结工艺 554
18.2.3 真空烧结设备 554
19.1.1 概述 561
19.1 真空蒸发镀膜 561
19.1.2 真空蒸发镀膜原理 561
第19章 真空镀膜 561
19.1.3 蒸发源 566
19.1.4 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布 576
19.1.5 真空蒸发镀膜设备 581
19.1.6 特殊蒸镀技术 584
19.2 真空溅射镀膜 585
19.2.1 溅射成膜理论 586
19.2.2 真空溅射镀膜方法 594
19.2.3 直流溅射镀膜 595
19.2.4 射频溅射镀膜 598
19.2.5 磁控溅射镀膜 600
19.2.6 其他溅射方法简介 609
19.3 真空离子镀膜 610
19.3.1 离子镀的类型 610
19.3.2 真空离子镀原理及成膜条件 611
19.3.3 等离子体在离子镀膜过程中的作用 612
19.3.4 离子镀中基片负偏压的影响 614
19.3.5 等离子镀的离化率与离子能量 615
19.3.6 离子镀膜性能工艺及其参数选择 616
19.3.7 离子镀的特点及应用 619
19.3.8 直流二极型离子镀装置 620
19.3.9 多阴极型离子镀装置 620
19.3.10 ARE活性反应离子镀装置 621
19.3.11 射频放电离子镀装置 623
19.3.12 空心阴极离子镀 624
19.3.13 真空阴极电弧离子镀 627
19.3.14 热阴极强流电弧离子镀 638
19.3.15 磁控溅射离子镀 638
19.4 离子注入与离子辅助沉积技术 640
19.4.1 离子注入的理论基础 640
19.4.2 离子注入设备 644
19.4.3 离子源 645
19.4.4 离子注入表面改性机理 649
19.4.5 离子注入技术的特点 650
19.4.6 离子束辅助沉积技术 651
19.5 化学气相沉积技术 654
19.5.1 CVD技术的原理、特点及应用 654
19.5.2 常压化学气相沉积（NPCVD）技术 656
19.5.3 低压化学气相沉积（LPCVD）技术 658
19.5.4 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术 660
19.5.5 其他化学气相沉积法 666
19.5.6 化学气相沉积技术的应用实例 668
20.1.1 真空干燥特性 672
20.1 绪论 672
20.1.2 真空干燥设备的种类 672
第20章 真空干燥 672
20.1.3 真空干燥技术与设备的应用 673
20.1.4 真空干燥设备的选择 681
20.2 普通真空干燥技术与设备 683
20.2.1 真空箱式干燥设备 683
20.2.2 真空耙式干燥设备 688
20.2.3 滚筒式真空干燥机 690
20.2.4 双锥回转真空干燥设备 695
20.2.5 真空转鼓干燥设备 700
20.2.6 真空圆盘刮板干燥设备 703
20.2.7 圆筒搅拌式真空干燥设备 708
20.2.8 真空振动流动干燥设备 710
20.2.9 真空带式干燥设备 715
20.2.10 木材真空干燥设备 717
20.3 真空冷冻干燥技术与设备 721
20.3.1 真空冷冻干燥的基本原理 721
20.3.2 真空冷冻干燥设备 726
20.3.3 真空冷冻干燥工艺 741
20.4 真空气相干燥 749
20.4.1 真空气相干燥的原理 749
20.4.2 真空气相干燥设备 754
21.1.1 VPI技术的基本原理 767
21.1 VPI技术的基本原理和工艺过程 767
21.1.2 电机VPI工艺过程 767
第21章 真空压力浸渍 767
21.2.1 VPI工程的主要内容 768
21.2.2 VPI设备的总体设计 768
21.1.3 真空压力浸漆的作用 768
21.2 VPI工程与设备的总体设计 768
21.3.1 浸漆罐的设计 770
21.3 浸渍罐与贮漆罐的设计 770
21.3.2 贮漆罐的设计与计算 773
21.4.3 冷负荷的计算 777
21.4.2 保温层厚度的确定 777
21.4 真空压力浸漆设备的制冷系统 777
21.4.1 制冷系统的选择 777
21.5 真空压力浸漆设备的液压系统 778
21.6 真空压力浸漆设备的加热和输漆系统 779
21.7.1 有溶剂浸渍漆 781
21.7 浸渍漆 781
21.8 VPI设备的使用与维护 782
21.7.2 无溶剂浸渍漆 782
22.2.1 真空蒸馏的基础知识 783
22.2 真空蒸馏原理 783
第22章 真空蒸馏 783
22.1 概述 783
22.2.2 真空蒸馏过程的描述 785
22.3.1 间歇式蒸馏装置 787
22.3 真空蒸馏装置 787
22.3.3 连续蒸馏装置 789
22.3.2 半连续蒸馏装置 789
22.4 分子蒸馏 790
22.3.4 连续精馏装置 790
22.4.2 分子蒸馏的特点 791
22.4.1 分子蒸馏的基本原理 791
22.4.3 分子蒸馏装置的结构 792
22.4.4 分子蒸馏装置 793
22.4.8 分子蒸馏的控制系统 794
22.4.7 分子蒸馏装置的设计原则 794
22.4.5 分子精馏设备 794
22.4.6 各种分子蒸馏设备的主要特征 794
22.4.9 分子蒸馏的应用 796
22.4.10 分子蒸馏技术的前景 798
23.1.2 真空保鲜原理 799
23.1.1 环境对食品贮藏的影响 799
第23章 真空包装 799
23.1 真空包装保鲜食品 799
23.1.4 食品氧化与变色的防止 800
23.1.3 真空包装真空度 800
23.2.1 真空气体置换保鲜特点 801
23.2 真空气体置换保鲜 801
23.1.5 真空包装的应用 801
23.2.4 肉类气体置换保鲜 802
23.2.3 气体置换包装手段 802
23.2.2 气体置换保鲜原理 802
23.3.1 对包装材料的要求 803
23.3 真空包装材料 803
23.2.5 水果和蔬菜保鲜 803
23.2.6 预制食品保鲜 803
23.2.7 面包制品保鲜 803
23.3.4 蔬菜水果保鲜薄膜材料 805
23.3.3 保持食品风味的高阻隔薄膜材料 805
23.3.2 复合膜的用途及构成 805
23.4.1 概述 806
23.4 真空包装机 806
23.3.5 保持食品香味的薄膜材料 806
23.3.6 鲜蘑菇包装膜材 806
23.4.2 台式真空包装机 807
23.4.3 单室真空包装机 808
23.4.4 双室真空包装机 809
23.4.5 输送带式真空包装机 811
23.4.6 热成型真空包装机 812
23.4.8 膨松柔软物品的缩体包装机 814
23.4.7 吸管式真空充气包装机 814
24.1 真空输送原理及应用 816
第24章 真空输送 816
24.2 真空吸送系统的构成及主要设计参数 817
24.3.2 主要设计参数计算 819
24.3.1 氧化锌粉真空吸送设备的构成 819
24.3 氧化锌粉真空输送设备 819
24.3.3 输送设备主要部件结构 820
24.3.4 主要性能分析 821
24.4.1 真空输粮机工作原理及特点 823
24.4 ZS-6型移动式真空输粮机设计 823
24.4.2 气力系统的设计与计算 824
24.4.3 真空输送系统压力损失计算 828
24.5 真空吊车 829
24.4.4 风机或真空泵的选择 829
24.6.1 真空吸水吸盘结构 830
24.6 混凝土真空吸水 830
24.6.2 参数选择 831
24.6.3 确定施工方案 832
24.7.2 真空发生器与真空吸盘工作过程 833
24.7.1 真空发生器工作原理 833
24.6.4 真吸质量的保证 833
24.6.5 真吸在冬季施工的应用 833
24.7 真空发生器在真空吸附中的应用 833
24.7.3 真空发生器的应用 834
25.1.1 真空过滤原理 837
25.1 真空过滤的原理及真空过滤机分类 837
第25章 真空过滤 837
25.1.3 真空过滤机的分类 838
25.1.2 真空过滤机的工作原理 838
25.2.1 真空过滤机参数的选择和计算 839
25.2 真空过滤机的设计计算 839
25.2.2 转鼓真空过滤机的功率计算 840
25.2.3 带式真空过滤机的功率计算 841
25.3.1 刮刀卸料式转鼓真空过滤机 842
25.3 转鼓式真空过滤机 842
25.2.4 转盘真空过滤机的传动功率计算 842
25.3.3 滤布行走式转鼓真空过滤机 843
25.3.2 单室型转鼓真空过滤机（无格式转鼓真空过滤机） 843
25.4.1 结构与原理 844
25.4 圆盘式真空过滤机 844
25.4.3 特征及用途 845
25.4.2 发展趋势 845
25.6 带式真空过滤机 846
25.5.3 陶瓷圆盘真空过滤机的特点 846
25.5 陶瓷圆盘真空过滤机 846
25.5.1 结构特征与操作原理 846
25.5.2 应用 846
25.6.2 移动室型带式真空过滤机 847
25.6.1 固定室型真空带式过滤机 847
25.6.4 连续移动盘带式真空过滤机 848
25.6.3 滤带间歇运动型真空带式过滤机 848
25.7 真空过滤机的选型 849
25.8.1 过滤在选矿工业中的应用 851
25.8 真空过滤机的应用 851
25.8.2 过滤在冶金生产中的应用（以钴的冶炼为例） 854
25.8.3 真空过滤在煤炭工业中的应用 856
25.8.4 真空过滤在化学工业中的应用 857
25.8.5 过滤在食品生产中的应用（以柠檬酸的生产为例） 858
26.1.3 中国空间真空技术发展 860
26.1.2 研究范畴 860
第26章 空间真空技术 860
26.1 概述 860
26.1.1 特性 860
26.2.1 真空环境 861
26.2 宇宙空间环境 861
26.2.4 微重力环境 862
26.2.3 太阳辐射 862
26.2.2 分子沉环境 862
26.2.7 空间碎片环境 863
26.2.6 诱发的气体环境 863
26.2.5 原子氧环境 863
26.3.1 真空获得问题分类 864
26.3 在轨航天器中的真空获得技术 864
26.2.8 空间真空环境和航天器的相互作用 864
26.3.3 航天器真空装置在轨排气技术 865
26.3.2 航天器周围的分子环境 865
26.4.1 定义及理论研究 869
26.4 极高真空技术 869
26.4.3 限制极高真空系统极限压力的因素 870
26.4.2 现状与发展 870
26.4.4 获得极高真空技术的方法 877
26.4.5 用分子技术获得10-11Pa极高真空 880
26.5.2 空间环境模拟基本参数及物理特性 882
26.5.1 空间环境模拟试验重要性 882
26.4.6 极高真空技术的应用 882
26.5 空间环境模拟试验与设备 882
26.5.3 空间环境模拟试验及设备分类 884
26.5.4 中国典型空间环模设备 885
26.6.1 真空获得 891
26.6 发展与展望 891
26.6.5 空间真空新工艺 892
26.6.4 质谱与检漏 892
26.6.2 真空测量 892
26.6.3 空间材料的真空效应 892
27.1.3 真空在核电设备制造中的应用 893
27.1.2 真空在核电燃料生产中的应用 893
第27章 真空在核物理装置中的应用 893
27.1 真空在核电工程中的应用 893
27.1.1 概述 893
27.1.4 真空在核电站运行中的应用 894
27.2.3 真空室 895
27.2.2 受控核聚变装置真空环境特点 895
27.2 受控核聚变装置 895
27.2.1 概述 895
27.2.5 减少等离子体中杂质措施 896
27.2.4 粒子与器壁的相互作用 896
27.2.7 HL-2A托卡马克真空系统及烘烤 897
27.2.6 托卡马克装置 897
27.2.8 HT-7超导托卡马克第一壁He辉光硼化 899
27.3 加速器真空系统特点 900
27.4.3 6MeV串列加速器真空系统 901
27.4.2 高压加速器真空系统 901
27.4 高压加速器 901
27.4.1 加速管 901
27.4.4 高能同步加速器 903
27.5.1 真空室设计 906
27.5 电子感应加速器 906
27.4.5 回旋加速器真空系统 906
27.5.2 韧致辐射强度与真空度的关系 907
27.6.1 真空室设计 908
27.6 直线加速器 908
27.5.3 电子感应加速器真空系统 908
27.6.2 行波直线加速器真空系统 909
27.6.3 驻波直线加速器真空系统 910
27.6.4 电子直线加速器真空系统 911
28.1.2 国内外发展概况 912
28.1.1 离子束刻蚀的特点与应用 912
第28章 离子束刻蚀技术 912
28.1 概述 912
28.2.1 工作原理 913
28.2 工作原理和主要性能 913
28.1.3 发展前景 913
28.2.2 离子束刻蚀机主要性能 914
28.3.1 真空系统的设计计算 917
28.3 真空系统设计 917
28.4.1 离子源离子引出计算 918
28.4 离子源的设计 918
28.3.2 离子束刻蚀机结构设计要点 918
28.5.1 电源的特殊要求 919
28.5 离子源电源设计 919
28.4.2 离子源结构设计 919
28.6.1 离子源特性测试方法 920
28.6 离子源和真空系统性能测试方法 920
28.5.2 LSK型电源的特点 920
28.7.1 LSK-6型离子束刻蚀机 921
28.7 离子束刻蚀设备简介 921
28.6.2 真空系统性能测试方法 921
28.7.3 DSJ-4型离子束刻蚀机 922
28.7.2 LSK-2（2A）型离子束刻蚀机 922
28.8 离子束刻蚀工艺 925
28.7.5 国内外离子束刻蚀机性能指标 925
28.7.4 RIBE-200型离子束刻蚀机 925
28.9.1 LSK型离子束刻蚀机的操作 927
28.9 离子束刻蚀机的操作与维护 927
28.9.2 维护 928
28.9.3 检修 929
29.1 概述 931
第29章 真空绝热与低温容器和真空玻璃 931
29.2.1 绝热材料的种类及一般特性 932
29.2 绝热材料 932
29.2.2 绝热材料的热物理性质 934
29.2.3 绝热材料的选择 935
29.3.1 高真空绝热 936
29.3 真空绝热机理 936
29.3.2 真空粉末及真空纤维绝热 937
29.3.3 真空多层绝热 939
29.3.4 真空绝热的选择 940
29.4.1 概述 941
29.4 低温容器 941
29.4.3 低温容器典型结构介绍 944
29.4.2 低温容器的种类 944
29.4.4 低温容器设计要点 951
29.4.5 低温容器的特性及计算 952
29.5 真空绝热管道 956
29.6.1 真空多层绝热夹层中的气源 957
29.6 真空多层绝热夹层抽真空技术 957
29.7.1 真空玻璃概述 958
29.7 真空玻璃 958
29.6.2 真空多层绝热夹层中的抽真空 958
29.6.3 在真空多层绝热夹层中装吸附剂 958
29.7.3 真空玻璃的性能 959
29.7.2 真空玻璃的结构和生产制造 959
29.7.4 真空玻璃的隔热原理 961
29.7.6 真空玻璃的除气与抽空 962
29.7.5 真空玻璃中的应力 962
29.7.7 真空玻璃技术的产业化与市场 963
30.1.2 材料的扩散与渗透性 965
30.1.1 真空系统平衡方程 965
第5篇 真空工程材料与工艺 965
第30章 真空材料的性能 965
30.1 材料的真空性能 965
30.1.3 材料的放气 969
30.1.4 材料的蒸发、升华、蒸气压 972
30.2.2 真空材料的选材原则 974
30.2.1 真空材料的其他性能 974
30.2 真空材料的其他性能及选材原则 974
31.2.2 碳钢及不锈钢 976
31.2.1 铸件 976
第31章 真空工程常用材料 976
31.1 真空材料的种类 976
31.2 金属材料 976
31.2.3 有色金属 978
31.2.4 贵重金属 981
31.2.5 软金属 982
31.2.6 难熔金属 983
31.2.7 汞（Hg） 985
31.3.1 玻璃 986
31.3 非金属材料 986
31.2.8 合金 986
31.3.2 陶瓷 988
31.3.4 碳（石墨）及碳纤维制品 990
31.3.3 塑料 990
31.3.5 橡胶 992
31.4.1 机械泵油 993
31.4 真空泵油 993
31.4.2 扩散泵油 994
31.5.5 真空黏结剂 995
31.5.4 真空漆 995
31.4.3 扩散喷射泵油（增压泵油） 995
31.5 辅助密封材料 995
31.5.1 真空封蜡 995
31.5.2 真空封脂 995
31.5.3 真空封泥 995
31.6.1 吸气剂 996
31.6 吸气剂与吸附剂 996
31.6.2 吸附剂 997
31.7.1 制冷剂 998
31.7 低温制冷系统工作介质 998
31.7.2 载冷剂（冷媒） 1001
32.1.2 表面净化处理的基本方法 1004
32.1.1 概述 1004
第32章 真空工程中的常用工艺 1004
32.1 真空材料的表面净化处理 1004
32.1.3 清洗的基本程序 1009
32.2.1 材料除气的基本方法 1010
32.2 真空材料的除气 1010
32.1.4 非金属材料的清洗 1010
32.2.2 玻璃及陶瓷材料的除气 1013
32.2.3 金属材料的除气 1014
32.2.5 超高真空系统的烘烤除气 1016
32.2.4 电真空器件的除气 1016
32.3.2 真空焊接的分类 1018
32.3.1 真空技术对焊接工艺的要求 1018
32.2.6 烘烤除气装置 1018
32.3 真空工程用的焊接技术 1018
32.3.3 氩弧焊 1019
32.3.4 电子束焊 1024
32.3.5 激光束焊接 1026
32.3.6 超声波焊接 1026
32.4 真空工程封接技术 1027
32.4.1 玻璃-玻璃封接 1027
32.4.2 玻璃-金属封接 1028
32.4.3 陶瓷-金属材料的封接 1031
32.4.4 其他材料的封接 1034
参考文献 1035