真空工程技术PDF电子书下载

1.1.1 气体定律 1

1.1.2 气体分子的速率 1

第1篇 真空工程的技术基础 1

第1章 稀薄气体动力论 1

1.1 稀薄气体在平衡态下的物理特性 1

1.1.4 气体分子自由程及其分布律 2

1.1.3 气体分子之间的碰撞 2

1.1.5 气体分子对表面的入射 3

1.2.1 气体的动量迁移 4

1.2 稀薄气体在非平衡态下的迁移 4

1.1.6 气体分子从表面的反射 4

1.2.2 气体的能量迁移 6

1.2.3 气体的质量迁移 7

1.2.4 热流逸现象 8

1.2.5 分子辐射力现象 9

1.3.1 流动状态及其判别 10

1.3 稀薄气体的流动 10

1.3.4 分子流态的流量——克努曾公式 11

1.3.3 黏滞流态的流量-泊谡叶公式 11

1.3.2 流动参量 11

1.3.5 过渡流态的流量 12

2.1.2 蒸气压 13

2.1.1 蒸汽 13

第2章 真空中的相变与气固界面现象 13

2.1 蒸发和凝结 13

2.1.3 蒸发率和凝结率 14

2.2.1 吸附机理 15

2.2 吸附 15

2.2.2 吸附参量 17

2.2.3 物理吸附与化学吸附 19

2.2.4 吸附动力学 20

2.2.5 吸附等温线 21

2.3.1 气体在固体中的溶解 22

2.3 溶解、扩散和渗透 22

2.3.2 气体在固体中的扩散与渗透 23

3.1.1 荷能原子、离子与表面 25

3.1 荷能粒子与表面 25

第3章 真空中的电现象 25

3.2.1 电子发射基础 27

3.2 电子发射 27

3.1.2 荷能电子与表面 27

3.2.2 热电子发射 28

3.2.4 二次电子发射 29

3.2.3 场致发射 29

3.3 气体放电 30

3.2.5 光电子发射 30

3.3.1 气体放电中的粒子碰撞 31

3.3.3 气体放电特性 34

3.3.2 带电粒子在气体中的运动 34

3.3.4 气体放电实验及伏安特性曲线 35

3.3.5 汤生放电 36

3.3.6 破裂电压与巴邢定律 38

3.3.7 辉光放电 39

3.3.8 弧光放电 42

3.3.9 其他类型放电 44

3.4.2 电磁偏转 46

3.4.1 电磁加速 46

3.4 带电粒子在电磁场中的运动 46

3.4.3 磁聚焦 48

3.4.4 带电粒子在恒定电场中的运动 49

3.4.5 带电粒子在正交均匀电磁场中的运动 50

3.4.6 带电粒子在径向电场及轴向磁场中的运动 52

4.1.1 液环泵的工作原理及特点 53

4.1 液环式真空泵 53

第2篇 真空工程的基础元件 53

第4章 机械真空泵 53

4.1.2 液环泵的基本类型与结构 54

4.1.3 液环泵的设计计算 55

4.1.5 液环泵的使用与注意事项 60

4.1.4 液环泵的常见故障及消除方法 60

4.2.1 往复泵的结构和工作原理 61

4.2 往复式真空泵 61

4.2.2 往复泵的主要性能参数 62

4.2.3 往复泵的气阀设计 65

4.2.4 往复泵设计中的几个问题 67

4.2.5 往复泵的使用与维护 69

4.3.2 工作原理和结构特点 70

4.3.1 概述 70

4.3 旋片式真空泵 70

4.3.3 性能参数及主要几何尺寸的确定 73

4.3.4 气镇量的计算 76

4.3.5 旋片泵的运行和维护 77

4.4.1 概述 79

4.4 滑阀式油封机械泵 79

4.4.2 滑阀泵的工作原理和结构特点 80

4.4.3 滑阀泵性能参数和主要几何尺寸的确定 81

4.4.4 滑阀泵的质量平衡与减振 83

4.4.5 机械泵油 84

4.4.6 滑阀式真空泵常见故障及其消除方法 85

4.5.1 概述 86

4.5 罗茨式真空泵 86

4.5.2 罗茨泵的工作原理及其结构特点 87

4.5.3 罗茨泵的主要参数确定 89

4.5.4 罗茨泵的转子型线 94

4.5.5 抽气速率的计算方法 97

4.5.6 罗茨泵的主要尺寸的确定 99

4.5.7 罗茨泵的使用与维护 100

4.6.1 概述 102

4.6 爪型干式真空泵 102

4.6.3 爪型转子的理论型线 103

4.6.2 工作原理 103

4.6.4 爪型干式真空泵的几何性能 110

4.6.5 爪型干泵的结构特点 111

4.7.2 涡旋泵工作原理与结构 113

4.7.1 概述 113

4.7 涡旋干式真空泵 113

4.7.3 涡旋泵几何参数与啮合条件 114

4.7.4 涡旋泵的设计计算 115

4.7.5 密封部位的泄漏量 117

4.8 螺杆式真空泵 119

4.7.6 涡旋泵的主要性能参数 119

4.8.2 螺杆式真空泵的结构 120

4.8.1 螺杆式真空泵的工作原理 120

4.8.3 螺杆式真空泵转子的型线 122

4.8.4 螺杆式真空泵的几何特性 125

4.9.1 概述 128

4.9 分子真空泵 128

4.9.2 牵引分子泵的抽气原理与结构特点 129

4.9.3 多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理 131

4.9.4 涡轮分子泵的抽气原理及结构特点 135

4.9.5 涡轮分子泵抽气性能的计算 138

5.1.2 水喷射泵的工作原理 143

5.1.1 水喷射泵的主要用途 143

第5章 喷射真空泵 143

5.1 水喷射泵 143

5.1.4 水喷射泵的设计与计算方法 144

5.1.3 水喷射泵的主要结构形式 144

5.1.5 水喷射泵的安装形式 145

5.1.6 水喷射泵常见故障及排除方法 146

5.2.3 水蒸气喷射泵的抽气特性 147

5.2.2 水蒸气喷射泵的工作原理 147

5.2 蒸汽喷射泵 147

5.2.1 概述 147

5.2.4 多级喷射泵系统的组成和结构 148

5.2.5 水蒸气喷射泵的设计计算 151

5.2.6 水蒸气喷射泵的常见故障及消除方法 153

5.3.1 油扩散泵的结构 154

5.3 油扩散泵 154

5.3.3 油扩散泵的抽气特性 155

5.3.2 扩散泵的工作过程 155

5.3.4 油扩散泵的加热功率 158

5.3.6 油扩散泵的使用与维护 159

5.3.5 扩散泵工作液 159

5.4.2 油增压泵的结构 161

5.4.1 油增压泵的工作原理 161

5.4 油扩散喷射真空泵 161

5.4.3 油增压泵的抽气特性 162

5.4.4 油增压泵的使用与维护 164

6.1.3 主要性能参数 165

6.1.2 分类与结构 165

第6章 气体捕集真空泵 165

6.1 低温泵 165

6.1.1 抽气机理和性能特点 165

6.2.2 原理与结构 167

6.2.1 特点及应用范围 167

6.1.4 设计原则和程序 167

6.2 溅射离子泵 167

6.2.3 设计与计算要点 168

6.3 钛升华泵 169

6.4.2 电离器的结构 171

6.4.1 电离升华泵的工作原理 171

6.4 电离升华泵 171

6.5.1 分子筛的结构及其抽气原理 172

6.5 分子筛吸附泵 172

6.5.2 分子筛吸附泵的结构 173

6.5.3 设计与计算要点 174

6.6.1 工作原理与结构 175

6.6 非蒸散型吸气泵 175

6.6.2 设计与计算要点 176

7.1.3 真空阀门发展概况 178

7.1.2 真空阀门的特点、种类 178

第7章 真空阀门 178

7.1 概述 178

7.1.1 真空阀门的定义、作用 178

7.2.1 真空阀门的基本要求 179

7.2 真空阀门的设计与计算 179

7.1.4 发展前景 179

7.2.3 真空阀门的密封 180

7.2.2 真空阀门设计步骤 180

7.2.4 真空阀门压紧装置及设计计算 182

7.2.5 阀盖的传动机构及其设计计算 185

7.3.1 隔膜式真空阀门 188

7.3 真空阀门原理、形式、性能参数 188

7.3.2 电磁真空阀 190

7.3.3 真空挡板阀 193

7.3.4 真空插板阀 201

7.3.5 真空翻板阀 208

7.3.6 真空蝶阀 209

7.3.7 真空球阀 211

7.4.1 真空微调阀 216

7.4 真空微调阀、真空放气阀 216

7.4.2 真空放气阀 218

7.5.2 形式、性能参数 222

7.5.1 原理、使用范围 222

7.5 玻璃真空活塞 222

7.6.1 真空阀门漏气速率（简称漏率）的测试 226

7.6 真空阀门性能测试（选自JB/T 6446—92） 226

7.5.3 安装、使用、维护 226

7.6.3 真空阀门寿命的测试 228

7.6.2 真空阀门流导的测试 228

8.2.2 焊接 229

8.2.1 封接 229

第8章 真空密封 229

8.1 概述 229

8.2 永久密封连接 229

8.3.1 柔性密封连接 232

8.3 可拆密封连接 232

8.3.3 法兰与垫圈相结合的密封连接 233

8.3.2 螺纹密封连接 233

8.4.1 真空动密封连接的分类 245

8.4 真空动密封连接 245

8.4.2 接触式真空动密封连接 246

8.4.3 非接触式真空动密封连接 252

9.1 除尘器 260

9.1.1 几种除尘器的工作原理 260

第9章 除尘器和挡油器 260

9.1.2 除尘过滤器的种类 262

9.2.1 挡油帽 263

9.2 挡油器 263

9.2.2 挡油板 264

9.2.3 冷阱 266

10.1.1 观察窗的结构类型 268

10.1 观察窗 268

第10章 观察窗和电板导入部件 268

10.1.3 观察窗的设计要点 270

10.1.2 真空设备常用的观察窗标准（SJ 1774—81） 270

10.2.2 电极导入部件的结构 271

10.2.1 电极导入部件密封的设计要求 271

10.2 真空室电极导入部件 271

11.1.3 真空计的分类及测量范围 277

11.1.2 真空度量值的单位 277

第11章 真空测量仪器 277

11.1 概述 277

11.1.1 真空测量的研究对象 277

11.1.4 真空测量的特点及真空计的选用原则 278

11.2.2 闭式U形管真空计的压力测量原理 279

11.2.1 开式U形管真空计的压力测量原理 279

11.2 液位式真空计 279

11.2.3 U形管真空计结构形式的改进 280

11.3.2 压缩式真空计的测量刻度方法及灵敏度 281

11.3.1 压缩式真空计的结构与原理 281

11.3 压缩式真空计 281

11.3.3 压缩式真空计的测量范围 282

11.3.4 压缩式真空计的测量误差与标准压缩式真空计 283

11.3.5 压缩式真空计的形式及使用注意事项 284

11.4.2 电容式薄膜真空计 285

11.4.1 机械传动式弹性变形真空计 285

11.4 弹性变形真空计 285

11.4.3 振膜式真空计 286

11.5.1 热传导真空计的工作原理、测量范围及特点 287

11.5 热传导真空计 287

11.5.2 电阻真空计 288

11.5.3 热偶真空计 290

11.6.1 热阴极电离真空计 291

11.6 电离真空计 291

11.6.2 冷阴极电离真空计 298

11.6.3 放射性电离真空计 300

11.7.1 非对称型磁悬浮转子真空计的结构及工作原理 301

11.7 磁悬浮转子真空计 301

11.8.2 四极滤质器 302

11.8.1 分压力测量或残余气体分析的过程及主要性能 302

11.7.2 磁悬浮转子真空计的特点 302

11.8 分压力真空计 302

11.8.3 射频质谱计 303

11.8.5 识谱技术 304

11.8.4 飞行时间质谱仪 304

11.9.2 静态膨胀法 305

11.9.1 绝对真空计校准法 305

11.9 真空计校准 305

11.9.3 动态流导法 306

11.9.4 副标准真空计校准法 307

11.10.3 规管安装位置和方法对真空测量的影响 308

11.10.2 温度对真空测量的影响 308

11.10 真空测量技术 308

11.10.1 气体种类对真空测量的影响 308

11.10.6 管规和裸规的差异 309

11.10.5 热表面与气体相互作用对真空测量的影响 309

11.10.4 规管吸放气作用对真空测量的影响 309

12.1 真空系统的种类及工作状态 311

第12章 常用真空系统的组成与安装 311

第3篇 真空工程中常用的真空系统 311

12.2.1 真空室的门 312

12.2 真空室（被抽容器） 312

12.2.2 真空室的冷却 313

12.3.2 真空系统的调试及日常维护 314

12.3.1 真空系统的安装 314

12.2.3 真空室的特殊结构 314

12.3 常用真空系统的安装、调试与维护 314

13.1.3 材料的许用应力与焊缝系数 315

13.1.2 容器的壁厚附加量与最小壁厚 315

第13章 真空容器的设计与计算 315

13.1 真空容器设计的一般知识 315

13.1.1 薄壳壁厚与设计压力 315

13.1.4 容器开孔与开孔补强 316

13.1.5 压力试验 319

13.2.1 圆筒形壳体的设计 320

13.2 真空容器壳体的设计 320

13.2.4 盒形壳体设计 323

13.2.3 圆锥形壳体的设计 323

13.2.2 球形壳体的设计 323

13.2.5 椭圆球形壳体的设计 324

13.2.6 圆环形壳体 325

13.3.1 概述 326

13.3 圆筒体加强圈的设计 326

13.4.2 外压凸形封头 327

13.4.1 外压球形封头 327

13.3.2 图表法计算加强圈 327

13.4 封头设计 327

13.4.3 锥形封头 332

13.4.4 平盖 333

13.4.5 同圆筒体连接的加强球盖 335

13.5.2 封头开孔补强 336

13.5.1 概述 336

13.4.6 井字加强圆形球盖 336

13.5 开孔加强设计 336

13.5.5 开孔补强计算 337

13.5.4 内压圆筒体开孔补强 337

13.5.3 外压容器的开孔补强 337

13.6.1 螺栓计算 338

13.6 法兰及管道设计 338

13.5.6 并联开孔的补强 338

13.5.7 加强方法 338

13.6.2 内压法兰计算 340

13.6.4 快开法兰计算 342

13.6.3 外压法兰计算 342

13.6.5 管道壁厚计算 343

14.2.1 流导和流导几率 345

14.2 管道的流导计算 345

第14章 真空系统的设计与计算 345

14.1 概述 345

14.1.1 气体流动状态的判别 345

14.1.2 真空系统的有效抽速 345

14.2.2 流导的计算 346

14.3.1 真空系统的抽气方程 348

14.3 抽气时间的计算 348

14.3.2 低真空下抽气时间的计算 349

14.3.5 有关超高真空抽气的一些问题 351

14.3.4 几个典型真空度的抽气时间 351

14.3.3 高真空下抽气时间的计算 351

14.4.1 选主泵 353

14.4 真空系统设计 353

14.4.2 配泵 354

14.4.4 真空系统的典型形式 355

14.4.3 贮气罐和维持泵 355

14.5.1 镀膜设备真空系统的设计 358

14.5 真空系统设计实例 358

14.5.2 新型电子束熔炼炉的真空系统设计 359

14.5.3 大型准无油真空除气炉的设计 360

14.5.4 真空汽相干燥设备的真空系统设计 361

14.5.5 76km高空环境模拟试验舱的真空系统的设计 363

14.5.6 SSRF增强器真空系统设计 364

15.1.3 漏孔、漏率、最大允许漏率 365

15.1.2 漏气的判断方法 365

第15章 真空系统的检漏 365

15.1 概述 365

15.1.1 真空检漏的目的及一些基本概念 365

15.1.4 漏孔的气流特性 366

15.2.2 真空检漏法 367

15.2.1 压力检漏法 367

15.2 检漏方法分类及对检漏方法的要求与选择 367

15.2.5 对检漏方法的要求与选择 368

15.2.4 各种检漏方法小结 368

15.2.3 背压检漏法 368

15.3.1 静态升压法 369

15.3 各种检漏方法 369

15.3.2 气泡检漏法 370

15.3.3 氨气检漏法 371

15.3.4 真空计检漏法 372

15.3.6 氢-钯检漏法 373

15.3.5 离子泵检漏法 373

15.3.9 慢性漏气的加速检测法 374

15.3.8 放射性同位素检漏法 374

15.3.7 荧光检漏法 374

15.4.1 高频火花检漏仪 375

15.4 真空检漏仪器 375

15.4.2 卤素检漏仪 376

15.4.3 气敏半导体检漏仪 378

15.5.1 氦质谱检漏仪的工作原理 379

15.5 氦质谱检漏仪 379

15.5.2 氦质谱检漏仪的整体结构 380

15.5.3 氦质谱检漏仪的灵敏度及其校准 383

15.5.4 检漏方法 385

15.6.1 标准漏孔及其常用的结构形式 389

15.6 标准漏孔 389

15.7 真空检漏工作的注意事项 390

15.6.3 标准漏孔使用中应注意的几个问题 390

15.6.2 标准漏孔的校准 390

16.1.1 真空感应炉概述 393

16.1 真空感应炉 393

第4篇 真空工程技术的主要应用 393

第16章 真空冶炼设备 393

16.1.2 真空感应加热与熔炼的物理基础 396

16.1.3 真空感应炉的结构设计计算 401

16.1.4 真空感应炉的参数计算 407

16.1.5 真空感应炉的电源 412

16.2.1 真空电弧熔炼概述 415

16.2 真空电弧炉 415

16.2.2 真空中的电弧 416

16.2.3 真空自耗炉的结构及其设计计算 417

16.2.4 真空电弧炉的电源和自耗电极的控制 433

16.3.1 概述 443

16.3 真空电子束炉 443

16.3.2 电子束加热原理 444

16.3.3 电子束炉的结构 445

16.3.4 熔炼功率、熔化速度和送料速度 450

16.3.5 轴向电子束发生器 453

16.3.6 电子束熔炼炉的主回路 462

16.4.1 概述 464

16.4 钢液真空炉外精炼 464

16.4.2 钢液真空脱气及排除夹杂原理 465

16.4.4 钢液炉外精炼的钢种及精炼的冶金效果 466

16.4.3 钢液真空处理方法及炉外精炼手段的分类 466

16.4.5 钢液真空炉外精炼设备 470

16.4.6 钢液真空炉外精炼设备设计中的若干问题 486

17.1.1 真空热处理的作用 495

17.1 真空热处理的理论基础 495

第17章 真空热处理设备 495

17.1.3 真空热处理的工艺过程 496

17.1.2 真空热处理的特点 496

17.1.4 影响真空热处理的工艺参数 497

17.2 真空热处理炉的结构设计 499

17.2.1 真空热处理炉的分类 500

17.2.2 真空热处理炉的结构 501

17.3.2 加热功率计算 507

17.3.1 设计参数和总体方案的确定 507

17.3 真空热处理设备的设计计算 507

17.3.3 加热体几何尺寸的设计计算 510

17.3.5 水冷却系统的计算 511

17.3.4 加热体寿命计算 511

17.3.6 气冷风机的设计计算 512

17.3.7 淬火油槽的设计 512

17.3.8 淬火料筐的传动机构的设计 513

17.4 真空热处理炉的典型结构及应用 515

17.4.1 真空正压气淬和油淬炉的典型结构 515

17.4.2 真空正压气淬的典型应用 517

17.4.3 真空油淬的典型工艺 519

17.4.4 真空回火炉的典型结构及应用 519

17.4.5 真空渗碳炉及其应用 520

17.4.6 真空热处理设备的选型 520

第18章 真空钎焊与烧结 523

18.1 真空钎焊 523

18.1.1 真空钎焊及其获得优质钎焊接头的机理 523

18.1.2 真空钎焊技术的特点及其应用领域 525

18.1.3 钎焊材料与钎焊辅助材料 526

18.1.4 真空钎焊工艺 532

18.1.5 真空钎焊技术的应用实例 539

18.1.6 真空钎焊设备 548

18.2 真空烧结 553

18.2.1 真空烧结技术的应用及特点 553

18.2.2 真空烧结工艺 554

18.2.3 真空烧结设备 554

19.1.1 概述 561

19.1 真空蒸发镀膜 561

19.1.2 真空蒸发镀膜原理 561

第19章 真空镀膜 561

19.1.3 蒸发源 566

19.1.4 蒸发源的蒸发特性及膜厚分布 576

19.1.5 真空蒸发镀膜设备 581

19.1.6 特殊蒸镀技术 584

19.2 真空溅射镀膜 585

19.2.1 溅射成膜理论 586

19.2.2 真空溅射镀膜方法 594

19.2.3 直流溅射镀膜 595

19.2.4 射频溅射镀膜 598

19.2.5 磁控溅射镀膜 600

19.2.6 其他溅射方法简介 609

19.3 真空离子镀膜 610

19.3.1 离子镀的类型 610

19.3.2 真空离子镀原理及成膜条件 611

19.3.3 等离子体在离子镀膜过程中的作用 612

19.3.4 离子镀中基片负偏压的影响 614

19.3.5 等离子镀的离化率与离子能量 615

19.3.6 离子镀膜性能工艺及其参数选择 616

19.3.7 离子镀的特点及应用 619

19.3.8 直流二极型离子镀装置 620

19.3.9 多阴极型离子镀装置 620

19.3.10 ARE活性反应离子镀装置 621

19.3.11 射频放电离子镀装置 623

19.3.12 空心阴极离子镀 624

19.3.13 真空阴极电弧离子镀 627

19.3.14 热阴极强流电弧离子镀 638

19.3.15 磁控溅射离子镀 638

19.4 离子注入与离子辅助沉积技术 640

19.4.1 离子注入的理论基础 640

19.4.2 离子注入设备 644

19.4.3 离子源 645

19.4.4 离子注入表面改性机理 649

19.4.5 离子注入技术的特点 650

19.4.6 离子束辅助沉积技术 651

19.5 化学气相沉积技术 654

19.5.1 CVD技术的原理、特点及应用 654

19.5.2 常压化学气相沉积（NPCVD）技术 656

19.5.3 低压化学气相沉积（LPCVD）技术 658

19.5.4 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术 660

19.5.5 其他化学气相沉积法 666

19.5.6 化学气相沉积技术的应用实例 668

20.1.1 真空干燥特性 672

20.1 绪论 672

20.1.2 真空干燥设备的种类 672

第20章 真空干燥 672

20.1.3 真空干燥技术与设备的应用 673

20.1.4 真空干燥设备的选择 681

20.2 普通真空干燥技术与设备 683

20.2.1 真空箱式干燥设备 683

20.2.2 真空耙式干燥设备 688

20.2.3 滚筒式真空干燥机 690

20.2.4 双锥回转真空干燥设备 695

20.2.5 真空转鼓干燥设备 700

20.2.6 真空圆盘刮板干燥设备 703

20.2.7 圆筒搅拌式真空干燥设备 708

20.2.8 真空振动流动干燥设备 710

20.2.9 真空带式干燥设备 715

20.2.10 木材真空干燥设备 717

20.3 真空冷冻干燥技术与设备 721

20.3.1 真空冷冻干燥的基本原理 721

20.3.2 真空冷冻干燥设备 726

20.3.3 真空冷冻干燥工艺 741

20.4 真空气相干燥 749

20.4.1 真空气相干燥的原理 749

20.4.2 真空气相干燥设备 754

21.1.1 VPI技术的基本原理 767

21.1 VPI技术的基本原理和工艺过程 767

21.1.2 电机VPI工艺过程 767

第21章 真空压力浸渍 767

21.2.1 VPI工程的主要内容 768

21.2.2 VPI设备的总体设计 768

21.1.3 真空压力浸漆的作用 768

21.2 VPI工程与设备的总体设计 768

21.3.1 浸漆罐的设计 770

21.3 浸渍罐与贮漆罐的设计 770

21.3.2 贮漆罐的设计与计算 773

21.4.3 冷负荷的计算 777

21.4.2 保温层厚度的确定 777

21.4 真空压力浸漆设备的制冷系统 777

21.4.1 制冷系统的选择 777

21.5 真空压力浸漆设备的液压系统 778

21.6 真空压力浸漆设备的加热和输漆系统 779

21.7.1 有溶剂浸渍漆 781

21.7 浸渍漆 781

21.8 VPI设备的使用与维护 782

21.7.2 无溶剂浸渍漆 782

22.2.1 真空蒸馏的基础知识 783

22.2 真空蒸馏原理 783

第22章 真空蒸馏 783

22.1 概述 783

22.2.2 真空蒸馏过程的描述 785

22.3.1 间歇式蒸馏装置 787

22.3 真空蒸馏装置 787

22.3.3 连续蒸馏装置 789

22.3.2 半连续蒸馏装置 789

22.4 分子蒸馏 790

22.3.4 连续精馏装置 790

22.4.2 分子蒸馏的特点 791

22.4.1 分子蒸馏的基本原理 791

22.4.3 分子蒸馏装置的结构 792

22.4.4 分子蒸馏装置 793

22.4.8 分子蒸馏的控制系统 794

22.4.7 分子蒸馏装置的设计原则 794

22.4.5 分子精馏设备 794

22.4.6 各种分子蒸馏设备的主要特征 794

22.4.9 分子蒸馏的应用 796

22.4.10 分子蒸馏技术的前景 798

23.1.2 真空保鲜原理 799

23.1.1 环境对食品贮藏的影响 799

第23章 真空包装 799

23.1 真空包装保鲜食品 799

23.1.4 食品氧化与变色的防止 800

23.1.3 真空包装真空度 800

23.2.1 真空气体置换保鲜特点 801

23.2 真空气体置换保鲜 801

23.1.5 真空包装的应用 801

23.2.4 肉类气体置换保鲜 802

23.2.3 气体置换包装手段 802

23.2.2 气体置换保鲜原理 802

23.3.1 对包装材料的要求 803

23.3 真空包装材料 803

23.2.5 水果和蔬菜保鲜 803

23.2.6 预制食品保鲜 803

23.2.7 面包制品保鲜 803

23.3.4 蔬菜水果保鲜薄膜材料 805

23.3.3 保持食品风味的高阻隔薄膜材料 805

23.3.2 复合膜的用途及构成 805

23.4.1 概述 806

23.4 真空包装机 806

23.3.5 保持食品香味的薄膜材料 806

23.3.6 鲜蘑菇包装膜材 806

23.4.2 台式真空包装机 807

23.4.3 单室真空包装机 808

23.4.4 双室真空包装机 809

23.4.5 输送带式真空包装机 811

23.4.6 热成型真空包装机 812

23.4.8 膨松柔软物品的缩体包装机 814

23.4.7 吸管式真空充气包装机 814

24.1 真空输送原理及应用 816

第24章 真空输送 816

24.2 真空吸送系统的构成及主要设计参数 817

24.3.2 主要设计参数计算 819

24.3.1 氧化锌粉真空吸送设备的构成 819

24.3 氧化锌粉真空输送设备 819

24.3.3 输送设备主要部件结构 820

24.3.4 主要性能分析 821

24.4.1 真空输粮机工作原理及特点 823

24.4 ZS-6型移动式真空输粮机设计 823

24.4.2 气力系统的设计与计算 824

24.4.3 真空输送系统压力损失计算 828

24.5 真空吊车 829

24.4.4 风机或真空泵的选择 829

24.6.1 真空吸水吸盘结构 830

24.6 混凝土真空吸水 830

24.6.2 参数选择 831

24.6.3 确定施工方案 832

24.7.2 真空发生器与真空吸盘工作过程 833

24.7.1 真空发生器工作原理 833

24.6.4 真吸质量的保证 833

24.6.5 真吸在冬季施工的应用 833

24.7 真空发生器在真空吸附中的应用 833

24.7.3 真空发生器的应用 834

25.1.1 真空过滤原理 837

25.1 真空过滤的原理及真空过滤机分类 837

第25章 真空过滤 837

25.1.3 真空过滤机的分类 838

25.1.2 真空过滤机的工作原理 838

25.2.1 真空过滤机参数的选择和计算 839

25.2 真空过滤机的设计计算 839

25.2.2 转鼓真空过滤机的功率计算 840

25.2.3 带式真空过滤机的功率计算 841

25.3.1 刮刀卸料式转鼓真空过滤机 842

25.3 转鼓式真空过滤机 842

25.2.4 转盘真空过滤机的传动功率计算 842

25.3.3 滤布行走式转鼓真空过滤机 843

25.3.2 单室型转鼓真空过滤机（无格式转鼓真空过滤机） 843

25.4.1 结构与原理 844

25.4 圆盘式真空过滤机 844

25.4.3 特征及用途 845

25.4.2 发展趋势 845

25.6 带式真空过滤机 846

25.5.3 陶瓷圆盘真空过滤机的特点 846

25.5 陶瓷圆盘真空过滤机 846

25.5.1 结构特征与操作原理 846

25.5.2 应用 846

25.6.2 移动室型带式真空过滤机 847

25.6.1 固定室型真空带式过滤机 847

25.6.4 连续移动盘带式真空过滤机 848

25.6.3 滤带间歇运动型真空带式过滤机 848

25.7 真空过滤机的选型 849

25.8.1 过滤在选矿工业中的应用 851

25.8 真空过滤机的应用 851

25.8.2 过滤在冶金生产中的应用（以钴的冶炼为例） 854

25.8.3 真空过滤在煤炭工业中的应用 856

25.8.4 真空过滤在化学工业中的应用 857

25.8.5 过滤在食品生产中的应用（以柠檬酸的生产为例） 858

26.1.3 中国空间真空技术发展 860

26.1.2 研究范畴 860

第26章 空间真空技术 860

26.1 概述 860

26.1.1 特性 860

26.2.1 真空环境 861

26.2 宇宙空间环境 861

26.2.4 微重力环境 862

26.2.3 太阳辐射 862

26.2.2 分子沉环境 862

26.2.7 空间碎片环境 863

26.2.6 诱发的气体环境 863

26.2.5 原子氧环境 863

26.3.1 真空获得问题分类 864

26.3 在轨航天器中的真空获得技术 864

26.2.8 空间真空环境和航天器的相互作用 864

26.3.3 航天器真空装置在轨排气技术 865

26.3.2 航天器周围的分子环境 865

26.4.1 定义及理论研究 869

26.4 极高真空技术 869

26.4.3 限制极高真空系统极限压力的因素 870

26.4.2 现状与发展 870

26.4.4 获得极高真空技术的方法 877

26.4.5 用分子技术获得10-11Pa极高真空 880

26.5.2 空间环境模拟基本参数及物理特性 882

26.5.1 空间环境模拟试验重要性 882

26.4.6 极高真空技术的应用 882

26.5 空间环境模拟试验与设备 882

26.5.3 空间环境模拟试验及设备分类 884

26.5.4 中国典型空间环模设备 885

26.6.1 真空获得 891

26.6 发展与展望 891

26.6.5 空间真空新工艺 892

26.6.4 质谱与检漏 892

26.6.2 真空测量 892

26.6.3 空间材料的真空效应 892

27.1.3 真空在核电设备制造中的应用 893

27.1.2 真空在核电燃料生产中的应用 893

第27章 真空在核物理装置中的应用 893

27.1 真空在核电工程中的应用 893

27.1.1 概述 893

27.1.4 真空在核电站运行中的应用 894

27.2.3 真空室 895

27.2.2 受控核聚变装置真空环境特点 895

27.2 受控核聚变装置 895

27.2.1 概述 895

27.2.5 减少等离子体中杂质措施 896

27.2.4 粒子与器壁的相互作用 896

27.2.7 HL-2A托卡马克真空系统及烘烤 897

27.2.6 托卡马克装置 897

27.2.8 HT-7超导托卡马克第一壁He辉光硼化 899

27.3 加速器真空系统特点 900

27.4.3 6MeV串列加速器真空系统 901

27.4.2 高压加速器真空系统 901

27.4 高压加速器 901

27.4.1 加速管 901

27.4.4 高能同步加速器 903

27.5.1 真空室设计 906

27.5 电子感应加速器 906

27.4.5 回旋加速器真空系统 906

27.5.2 韧致辐射强度与真空度的关系 907

27.6.1 真空室设计 908

27.6 直线加速器 908

27.5.3 电子感应加速器真空系统 908

27.6.2 行波直线加速器真空系统 909

27.6.3 驻波直线加速器真空系统 910

27.6.4 电子直线加速器真空系统 911

28.1.2 国内外发展概况 912

28.1.1 离子束刻蚀的特点与应用 912

第28章 离子束刻蚀技术 912

28.1 概述 912

28.2.1 工作原理 913

28.2 工作原理和主要性能 913

28.1.3 发展前景 913

28.2.2 离子束刻蚀机主要性能 914

28.3.1 真空系统的设计计算 917

28.3 真空系统设计 917

28.4.1 离子源离子引出计算 918

28.4 离子源的设计 918

28.3.2 离子束刻蚀机结构设计要点 918

28.5.1 电源的特殊要求 919

28.5 离子源电源设计 919

28.4.2 离子源结构设计 919

28.6.1 离子源特性测试方法 920

28.6 离子源和真空系统性能测试方法 920

28.5.2 LSK型电源的特点 920

28.7.1 LSK-6型离子束刻蚀机 921

28.7 离子束刻蚀设备简介 921

28.6.2 真空系统性能测试方法 921

28.7.3 DSJ-4型离子束刻蚀机 922

28.7.2 LSK-2（2A）型离子束刻蚀机 922

28.8 离子束刻蚀工艺 925

28.7.5 国内外离子束刻蚀机性能指标 925

28.7.4 RIBE-200型离子束刻蚀机 925

28.9.1 LSK型离子束刻蚀机的操作 927

28.9 离子束刻蚀机的操作与维护 927

28.9.2 维护 928

28.9.3 检修 929

29.1 概述 931

第29章 真空绝热与低温容器和真空玻璃 931

29.2.1 绝热材料的种类及一般特性 932

29.2 绝热材料 932

29.2.2 绝热材料的热物理性质 934

29.2.3 绝热材料的选择 935

29.3.1 高真空绝热 936

29.3 真空绝热机理 936

29.3.2 真空粉末及真空纤维绝热 937

29.3.3 真空多层绝热 939

29.3.4 真空绝热的选择 940

29.4.1 概述 941

29.4 低温容器 941

29.4.3 低温容器典型结构介绍 944

29.4.2 低温容器的种类 944

29.4.4 低温容器设计要点 951

29.4.5 低温容器的特性及计算 952

29.5 真空绝热管道 956

29.6.1 真空多层绝热夹层中的气源 957

29.6 真空多层绝热夹层抽真空技术 957

29.7.1 真空玻璃概述 958

29.7 真空玻璃 958

29.6.2 真空多层绝热夹层中的抽真空 958

29.6.3 在真空多层绝热夹层中装吸附剂 958

29.7.3 真空玻璃的性能 959

29.7.2 真空玻璃的结构和生产制造 959

29.7.4 真空玻璃的隔热原理 961

29.7.6 真空玻璃的除气与抽空 962

29.7.5 真空玻璃中的应力 962

29.7.7 真空玻璃技术的产业化与市场 963

30.1.2 材料的扩散与渗透性 965

30.1.1 真空系统平衡方程 965

第5篇 真空工程材料与工艺 965

第30章 真空材料的性能 965

30.1 材料的真空性能 965

30.1.3 材料的放气 969

30.1.4 材料的蒸发、升华、蒸气压 972

30.2.2 真空材料的选材原则 974

30.2.1 真空材料的其他性能 974

30.2 真空材料的其他性能及选材原则 974

31.2.2 碳钢及不锈钢 976

31.2.1 铸件 976

第31章 真空工程常用材料 976

31.1 真空材料的种类 976

31.2 金属材料 976

31.2.3 有色金属 978

31.2.4 贵重金属 981

31.2.5 软金属 982

31.2.6 难熔金属 983

31.2.7 汞（Hg） 985

31.3.1 玻璃 986

31.3 非金属材料 986

31.2.8 合金 986

31.3.2 陶瓷 988

31.3.4 碳（石墨）及碳纤维制品 990

31.3.3 塑料 990

31.3.5 橡胶 992

31.4.1 机械泵油 993

31.4 真空泵油 993

31.4.2 扩散泵油 994

31.5.5 真空黏结剂 995

31.5.4 真空漆 995

31.4.3 扩散喷射泵油（增压泵油） 995

31.5 辅助密封材料 995

31.5.1 真空封蜡 995

31.5.2 真空封脂 995

31.5.3 真空封泥 995

31.6.1 吸气剂 996

31.6 吸气剂与吸附剂 996

31.6.2 吸附剂 997

31.7.1 制冷剂 998

31.7 低温制冷系统工作介质 998

31.7.2 载冷剂（冷媒） 1001

32.1.2 表面净化处理的基本方法 1004

32.1.1 概述 1004

第32章 真空工程中的常用工艺 1004

32.1 真空材料的表面净化处理 1004

32.1.3 清洗的基本程序 1009

32.2.1 材料除气的基本方法 1010

32.2 真空材料的除气 1010

32.1.4 非金属材料的清洗 1010

32.2.2 玻璃及陶瓷材料的除气 1013

32.2.3 金属材料的除气 1014

32.2.5 超高真空系统的烘烤除气 1016

32.2.4 电真空器件的除气 1016

32.3.2 真空焊接的分类 1018

32.3.1 真空技术对焊接工艺的要求 1018

32.2.6 烘烤除气装置 1018

32.3 真空工程用的焊接技术 1018

32.3.3 氩弧焊 1019

32.3.4 电子束焊 1024

32.3.5 激光束焊接 1026

32.3.6 超声波焊接 1026

32.4 真空工程封接技术 1027

32.4.1 玻璃-玻璃封接 1027

32.4.2 玻璃-金属封接 1028

32.4.3 陶瓷-金属材料的封接 1031

32.4.4 其他材料的封接 1034

参考文献 1035