前言 1
第一篇 镀膜 1
第一章 薄膜制备技术 1
1-1 真空镀膜设备 1
一、镀膜机 1
二、真空泵 3
1-2 薄膜淀积技术 10
一、电子束蒸发 11
二、反应蒸发 17
三、真空溅射 22
四、离子镀膜 27
1-3 膜厚监控 28
一、波长扫描法 28
二、石英晶体振荡法 32
复习题 35
第二章 膜系及其镀制工艺 36
2-1 膜系知识 36
一、减反射膜 37
2-2 常见典型膜系及其镀制工艺 37
二、高反射膜 44
三、分光膜 51
四、滤光膜 59
2-3 镀膜零件光学特性的测量 71
一、光谱特性的测量 71
二、折射率和几何厚度的测量 77
2-4 常用的薄膜材料 79
一、常用的金属薄膜材料 79
二、常用的介质和半导体薄膜材料 80
复习题 86
第三章 化学镀膜 87
3-1 减反射膜的镀制工艺 87
一、概述 87
二、镀制工艺 88
3-2 透明导电膜的镀制工艺 91
一、二氧化锡透明导电膜的形成原理和性能 91
二、透明导电膜的镀制工艺 92
四、透明导电膜的退修 97
3-3 化学镀膜材料 97
三、透明导电膜常见疵病及克服方法 97
复习题 99
第二篇 刻划 101
第四章 刻划设备 101
4-1 刻划机的安装条件 101
一、温度 101
二、安装基础 104
三、防尘 106
一、圆刻划机的安装和调试 107
四、照明 107
4-2 刻划机的安装和调试 107
二、圆刻划机的精度测定 114
三、长刻划机的安装和调试 115
四、长刻划机的精度测定 116
五、机床的维护保养与润滑 116
4-3 光电跟踪 118
一、光电显微镜 118
二、光电跟踪 122
一、光刻原理 133
4-4 光刻设备 133
二、长光栅定位闭环数控装置 134
三、激光定位光刻机 139
复习题 141
第五章 刻划工艺 142
5-1 刻划精度 142
一、机床传动链的误差 142
二、机床轴系的误差 143
三、丝杆、螺母的分度误差 148
四、摩擦力对机床工作精度的影响 148
五、空回对刻划精度的影响 149
六、零件坯料及装夹对刻划精度的影响 150
七、环境对刻划精度的影响 151
5-2 刻划夹具设计 154
一、对夹具的基本要求 154
二、六点定位原则 156
三、定位方法 158
四、工件的夹紧 159
五、夹具设计 159
复习题 162
6-1 照相机 163
一、制版照相机 163
第六章 照相设备 163
第三篇 照相 163
二、制版镜头 165
6-2 数字式刻度模版机 176
一、主机 178
二、电气系统 182
三、模版机的使用 182
6-3 光源 186
一、概述 186
二、各种光源的性能、特点及应用 190
复习题 194
第七章 照相工艺 195
7-1 底版放大图的制做 195
一、底图的绘制 195
二、漆膜底图的刻制 198
7-2 底版的初缩 202
一、调整成像尺寸 202
二、调整光源 203
三、校正放大底图和照相机的位置 206
四、调整焦距 207
五、选择光圈与曝光时间 208
7-3 底版的精缩 208
7-4 超微粒干版 212
一、概述 212
二、合成方法 213
三、配方 214
四、乳剂制备 216
五、干版涂布 222
六、照相加工 226
七、工艺分析 230
八、商品超微粒干版 233
九、超微粒干版的主要技术指标 234
复习题 237
第八章 精密分划测量 238
8-1 长刻尺测量 238
一、概述 238
二、激光比长仪 239
8-2 圆度盘测量 250
一、度盘误差的概念 250
二、圆度盘的检定 255
三、度盘的测量 259
复习题 265
第四篇 光栅 266
第九章 计量光栅的制造 266
9-1 长光栅的投影光刻制造法 266
一、概述 266
二、投影光刻设备的原理 266
三、光刻胶工艺 268
9-2 圆光栅的制造 273
一、机械刻划法 273
二、光刻法 287
9-3 计量光栅的复制 292
一、长光栅的复制 292
二、圆光栅的复制 305
复习题 313
第十章 物理光栅的制造 315
10-1 物理光栅的基本知识 315
一、光栅常数 315
二、光栅方程式 316
三、光栅的分光原理 317
四、光栅级次及自由光谱范围 318
五、光栅的能量分布 320
六、反射光栅的闪耀及闪耀波长 323
七、衍射光栅的角色散 325
八、光栅的分辨本领 327
九、鬼线 328
十、伴线 330
十一、杂散光 330
十二、不规则能量分布 331
10-2 物理光栅的刻划工艺 333
一、刻划机 334
二、刻刀 356
三、坯料与镀膜 367
四、工艺流程与实例 370
五、质量初步分析 375
10-3 物理光栅的复制 379
一、“一次法”平面光栅复制 379
二、“一次法”凹面光栅复制 386
三、“二次法”平面光栅复制 386
四、“二次法”与“一次法”平面光栅复制的比较 387
五、“一次法”光栅复制工艺实例 388
复习题 389