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前言 1

第一篇 镀膜 1

第一章 薄膜制备技术 1

1-1 真空镀膜设备 1

一、镀膜机 1

二、真空泵 3

1-2 薄膜淀积技术 10

一、电子束蒸发 11

二、反应蒸发 17

三、真空溅射 22

四、离子镀膜 27

1-3 膜厚监控 28

一、波长扫描法 28

二、石英晶体振荡法 32

复习题 35

第二章 膜系及其镀制工艺 36

2-1 膜系知识 36

一、减反射膜 37

2-2 常见典型膜系及其镀制工艺 37

二、高反射膜 44

三、分光膜 51

四、滤光膜 59

2-3 镀膜零件光学特性的测量 71

一、光谱特性的测量 71

二、折射率和几何厚度的测量 77

2-4 常用的薄膜材料 79

一、常用的金属薄膜材料 79

二、常用的介质和半导体薄膜材料 80

复习题 86

第三章 化学镀膜 87

3-1 减反射膜的镀制工艺 87

一、概述 87

二、镀制工艺 88

3-2 透明导电膜的镀制工艺 91

一、二氧化锡透明导电膜的形成原理和性能 91

二、透明导电膜的镀制工艺 92

四、透明导电膜的退修 97

3-3 化学镀膜材料 97

三、透明导电膜常见疵病及克服方法 97

复习题 99

第二篇 刻划 101

第四章 刻划设备 101

4-1 刻划机的安装条件 101

一、温度 101

二、安装基础 104

三、防尘 106

一、圆刻划机的安装和调试 107

四、照明 107

4-2 刻划机的安装和调试 107

二、圆刻划机的精度测定 114

三、长刻划机的安装和调试 115

四、长刻划机的精度测定 116

五、机床的维护保养与润滑 116

4-3 光电跟踪 118

一、光电显微镜 118

二、光电跟踪 122

一、光刻原理 133

4-4 光刻设备 133

二、长光栅定位闭环数控装置 134

三、激光定位光刻机 139

复习题 141

第五章 刻划工艺 142

5-1 刻划精度 142

一、机床传动链的误差 142

二、机床轴系的误差 143

三、丝杆、螺母的分度误差 148

四、摩擦力对机床工作精度的影响 148

五、空回对刻划精度的影响 149

六、零件坯料及装夹对刻划精度的影响 150

七、环境对刻划精度的影响 151

5-2 刻划夹具设计 154

一、对夹具的基本要求 154

二、六点定位原则 156

三、定位方法 158

四、工件的夹紧 159

五、夹具设计 159

复习题 162

6-1 照相机 163

一、制版照相机 163

第六章 照相设备 163

第三篇 照相 163

二、制版镜头 165

6-2 数字式刻度模版机 176

一、主机 178

二、电气系统 182

三、模版机的使用 182

6-3 光源 186

一、概述 186

二、各种光源的性能、特点及应用 190

复习题 194

第七章 照相工艺 195

7-1 底版放大图的制做 195

一、底图的绘制 195

二、漆膜底图的刻制 198

7-2 底版的初缩 202

一、调整成像尺寸 202

二、调整光源 203

三、校正放大底图和照相机的位置 206

四、调整焦距 207

五、选择光圈与曝光时间 208

7-3 底版的精缩 208

7-4 超微粒干版 212

一、概述 212

二、合成方法 213

三、配方 214

四、乳剂制备 216

五、干版涂布 222

六、照相加工 226

七、工艺分析 230

八、商品超微粒干版 233

九、超微粒干版的主要技术指标 234

复习题 237

第八章 精密分划测量 238

8-1 长刻尺测量 238

一、概述 238

二、激光比长仪 239

8-2 圆度盘测量 250

一、度盘误差的概念 250

二、圆度盘的检定 255

三、度盘的测量 259

复习题 265

第四篇 光栅 266

第九章 计量光栅的制造 266

9-1 长光栅的投影光刻制造法 266

一、概述 266

二、投影光刻设备的原理 266

三、光刻胶工艺 268

9-2 圆光栅的制造 273

一、机械刻划法 273

二、光刻法 287

9-3 计量光栅的复制 292

一、长光栅的复制 292

二、圆光栅的复制 305

复习题 313

第十章 物理光栅的制造 315

10-1 物理光栅的基本知识 315

一、光栅常数 315

二、光栅方程式 316

三、光栅的分光原理 317

四、光栅级次及自由光谱范围 318

五、光栅的能量分布 320

六、反射光栅的闪耀及闪耀波长 323

七、衍射光栅的角色散 325

八、光栅的分辨本领 327

九、鬼线 328

十、伴线 330

十一、杂散光 330

十二、不规则能量分布 331

10-2 物理光栅的刻划工艺 333

一、刻划机 334

二、刻刀 356

三、坯料与镀膜 367

四、工艺流程与实例 370

五、质量初步分析 375

10-3 物理光栅的复制 379

一、“一次法”平面光栅复制 379

二、“一次法”凹面光栅复制 386

三、“二次法”平面光栅复制 386

四、“二次法”与“一次法”平面光栅复制的比较 387

五、“一次法”光栅复制工艺实例 388

复习题 389