1 碳基材料薄膜制备方法 1
1.1 概论 1
1.2 热丝法化学气相沉积 4
1.3 微波等离子体化学气相沉积 9
1.4 脉冲激光沉积 12
1.5 阴极磁过滤弧 18
1.6 磁控溅射 21
参考文献 24
2 场致电子发射理论简介 31
2.1 场致电子发射研究概况 31
2.2 场致电子发射理论基础 34
2.3 场致电子发射理论简介 37
2.4 半导体场致电子发射 51
2.5 场致电子发射特性测试方法 56
参考文献 57
3 金刚石薄膜制备及场致电子发射特性 61
3.1 金刚石的晶体结构 61
3.2 金刚石的物理化学特性 63
3.3 金刚石薄膜制备与生长机理 68
3.4 金刚石薄膜微观结构及场致电子发射特性 83
3.5 类球状微米金刚石聚晶膜的制备及场致电子发射特性 91
参考文献 102
4 纳米石墨薄膜制备及场致电子发射特性 109
4.1 石墨晶体结构 109
4.2 石墨的物理化学特征 113
4.3 纳米石墨薄膜制备与场致电子发射特性 120
参考文献 137
5 碳纳米管薄膜制备及场致电子发射特性 141
5.1 碳纳米管的结构 141
5.2 碳纳米管的物理化学特性及其应用 144
5.3 取向生长碳纳米管薄膜的制备及场致电子发射特性 150
5.4 无序生长碳纳米管薄膜的制备及场致电子发射特性 161
5.5 碳纳米管薄膜场发射发光管的制备 172
参考文献 178
6 非晶碳薄膜制备及场致电子发射特性 183
6.1 非晶碳膜的结构 183
6.2 非晶碳膜的表征 188
6.3 非晶碳膜物理化学特性 192
6.4 纳米非晶碳膜的制备及场致电子发射特性 196
参考文献 212
7 白碳和碳氮薄膜制备及场致电子发射特性 219
7.1 白碳材料的结构及结构表征方法 219
7.2 白碳薄膜制备及其结构分析 222
7.3 白碳纳米晶薄膜的场致电子发射特性 226
7.4 碳氮薄膜制备及场致电子发射特性 227
7.5 碳氮纳米管薄膜制备及结构分析 231
7.6 碳氮纳米管薄膜的场致电子发射特性 233
7.7 碳氮硼薄膜的制备及场致电子发射特性 234
参考文献 239
8 氮掺杂类金刚石薄膜制备及场致电子发射特性 243
8.1 类金刚石薄膜的制备方法 243
8.2 氮掺杂类金刚石薄膜的制备及场致电子发射特性 245
8.3 类金刚石薄膜的氮离子注入掺杂及场发射特性 249
8.4 碳氧氮复合薄膜制备及场致电子发射特性 251
参考文献 257