碳基薄膜制备及场致电子发射PDF电子书下载

1　碳基材料薄膜制备方法 1

1.1　概论 1

1.2　热丝法化学气相沉积 4

1.3　微波等离子体化学气相沉积 9

1.4　脉冲激光沉积 12

1.5　阴极磁过滤弧 18

1.6　磁控溅射 21

参考文献 24

2　场致电子发射理论简介 31

2.1　场致电子发射研究概况 31

2.2　场致电子发射理论基础 34

2.3　场致电子发射理论简介 37

2.4　半导体场致电子发射 51

2.5　场致电子发射特性测试方法 56

参考文献 57

3　金刚石薄膜制备及场致电子发射特性 61

3.1　金刚石的晶体结构 61

3.2　金刚石的物理化学特性 63

3.3　金刚石薄膜制备与生长机理 68

3.4　金刚石薄膜微观结构及场致电子发射特性 83

3.5　类球状微米金刚石聚晶膜的制备及场致电子发射特性 91

参考文献 102

4　纳米石墨薄膜制备及场致电子发射特性 109

4.1　石墨晶体结构 109

4.2　石墨的物理化学特征 113

4.3 纳米石墨薄膜制备与场致电子发射特性 120

参考文献 137

5　碳纳米管薄膜制备及场致电子发射特性 141

5.1　碳纳米管的结构 141

5.2　碳纳米管的物理化学特性及其应用 144

5.3　取向生长碳纳米管薄膜的制备及场致电子发射特性 150

5.4　无序生长碳纳米管薄膜的制备及场致电子发射特性 161

5.5　碳纳米管薄膜场发射发光管的制备 172

参考文献 178

6　非晶碳薄膜制备及场致电子发射特性 183

6.1　非晶碳膜的结构 183

6.2　非晶碳膜的表征 188

6.3　非晶碳膜物理化学特性 192

6.4　纳米非晶碳膜的制备及场致电子发射特性 196

参考文献 212

7 白碳和碳氮薄膜制备及场致电子发射特性 219

7.1 白碳材料的结构及结构表征方法 219

7.2　白碳薄膜制备及其结构分析 222

7.3 白碳纳米晶薄膜的场致电子发射特性 226

7.4　碳氮薄膜制备及场致电子发射特性 227

7.5　碳氮纳米管薄膜制备及结构分析 231

7.6　碳氮纳米管薄膜的场致电子发射特性 233

7.7　碳氮硼薄膜的制备及场致电子发射特性 234

参考文献 239

8　氮掺杂类金刚石薄膜制备及场致电子发射特性 243

8.1　类金刚石薄膜的制备方法 243

8.2　氮掺杂类金刚石薄膜的制备及场致电子发射特性 245

8.3　类金刚石薄膜的氮离子注入掺杂及场发射特性 249

8.4　碳氧氮复合薄膜制备及场致电子发射特性 251

参考文献 257