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第一部分 大会发言 1
第二部分 分组报告 37
1．硅材料制备及性能研究 37
2．器件及材料物理研究 54
3．理化分析测试研究 67
4．双极集成电路研究 80
5．集成电路工艺研究 97
6．MOS集成电路研究 116