目录 1
绪言 1
第一章 真空技术的物理基础 4
§1-1 气体分子运动论概要 4
§1-2 低压下气体沿导管的流动及流导计算 10
§1-3 气体分子与固体表面的相互作用 20
§1-4 抽气过程的理论基础 24
第二章 真空获得设备 27
§2-1 概述 27
§2-2 油封机械真空泵 29
§2-3 油扩散泵 41
§2-4 涡轮分子泵 52
§2-5 分子筛吸附泵 58
§2-6 热钛泵 63
§2-7 溅射离子泵 68
§2-8 低温泵 73
第三章 真空测量 81
§3-1 概述 81
§3-2 压缩式真空计 83
§3-3 热偶真空计 85
§3-4 普通热阴极电离真空计 87
§3-5 中量程真空计 92
§3-6 超高真空电离计 93
§3-7 冷阴极磁控电离计 96
§3-8 分压强测量 98
第四章 真空系统的组成 102
§4-1 真空阀门 102
§4-2 捕集器（阱） 112
§4-3 真空密封与连接 119
第五章 真空系统的设计与计算 144
§5-1 真空系统的基本要求及其形式 144
§5-2 真空系统的设计与计算 151
§5-3 真空中常用材料及选择 157
§5-4 真空系统的安装与调试 163
第六章 真空检漏 166
§6-1 真空检漏方法 167
§6-2 氦质谱检漏 168
第七章 典型真空应用设备 174
§7-1 圆排设备 174
§7-2 离子镀膜设备 180
复习题 186
附录 致冷机致冷原理简述 187
参考资料 191