真空技术及设备PDF电子书下载

目录 1

绪言 1

第一章　真空技术的物理基础 4

§1-1　气体分子运动论概要 4

§1-2　低压下气体沿导管的流动及流导计算 10

§1-3　气体分子与固体表面的相互作用 20

§1-4　抽气过程的理论基础 24

第二章　真空获得设备 27

§2-1　概述 27

§2-2　油封机械真空泵 29

§2-3　油扩散泵 41

§2-4　涡轮分子泵 52

§2-5　分子筛吸附泵 58

§2-6　热钛泵 63

§2-7　溅射离子泵 68

§2-8　低温泵 73

第三章　真空测量 81

§3-1　概述 81

§3-2　压缩式真空计 83

§3-3　热偶真空计 85

§3-4　普通热阴极电离真空计 87

§3-5　中量程真空计 92

§3-6　超高真空电离计 93

§3-7　冷阴极磁控电离计 96

§3-8　分压强测量 98

第四章　真空系统的组成 102

§4-1　真空阀门 102

§4-2　捕集器（阱） 112

§4-3　真空密封与连接 119

第五章　真空系统的设计与计算 144

§5-1　真空系统的基本要求及其形式 144

§5-2　真空系统的设计与计算 151

§5-3　真空中常用材料及选择 157

§5-4　真空系统的安装与调试 163

第六章　真空检漏 166

§6-1　真空检漏方法 167

§6-2　氦质谱检漏 168

第七章　典型真空应用设备 174

§7-1　圆排设备 174

§7-2　离子镀膜设备 180

复习题 186

附录　致冷机致冷原理简述 187

参考资料 191