目录 1
第一章 电子束加工简介 1
第一节 电子束加工的发展 1
第二节 电子束加工工艺 3
第三节 电子束加工的特点 4
第四节 电子束加工的意义 6
第二章 电子束加工的电子光学基础 7
第一节 电子的运动 7
第二节 电子枪 9
第三节 磁透镜和磁偏转器 19
第一节 高能量密度电子束加工 38
第三章 电子束精微加工 38
第二节 电子束精微加工机 43
第三节 电子束精微加工工艺 50
第四节 电子束精微加工的应用 55
第四章 电子束焊接、镀膜、熔炼和热处理 62
第一节 电子束焊接 62
第二节 电子束镀膜 82
第三节 电子束熔炼 86
第四节 电子束热处理 88
第五章 微细加工中的曝光技术 94
第一节 电子束曝光 94
第二节 扫描电子束曝光 98
第三节 投影电子束曝光 120
第四节 软X射线曝光 129
第六章 离子束加工简介 137
第一节 离子束加工原理 137
第二节 离子束加工设备 139
第三节 离子束加工的应用 143
第七章 离子束刻蚀 147
第一节 离子束刻蚀原理 147
第二节 离子束刻蚀工艺 158
第三节 离子源 186
第四节 离子束刻蚀的应用 212
第八章 溅射镀膜 230
第一节 溅射镀膜原理 231
第二节 溅射镀膜工艺 245
第三节 溅射镀膜技术的应用 259
第九章 离子镀 266
第一节 离子镀技术基础 267
第二节 离子镀的类型 277
第三节 离子镀设备 286
第四节 离子镀的应用 290
第十章 离子注入 299
第一节 离子注入的特点 299
第二节 离子注入原理 302
第三节 离子注入装置 314
第四节 离子注入工艺 319
第五节 离子注入的应用 321