电子束和离子束加工PDF电子书下载

目录 1

第一章 电子束加工简介 1

第一节 电子束加工的发展 1

第二节 电子束加工工艺 3

第三节 电子束加工的特点 4

第四节 电子束加工的意义 6

第二章 电子束加工的电子光学基础 7

第一节 电子的运动 7

第二节 电子枪 9

第三节 磁透镜和磁偏转器 19

第一节 高能量密度电子束加工 38

第三章 电子束精微加工 38

第二节 电子束精微加工机 43

第三节 电子束精微加工工艺 50

第四节 电子束精微加工的应用 55

第四章 电子束焊接、镀膜、熔炼和热处理 62

第一节 电子束焊接 62

第二节 电子束镀膜 82

第三节 电子束熔炼 86

第四节 电子束热处理 88

第五章 微细加工中的曝光技术 94

第一节 电子束曝光 94

第二节 扫描电子束曝光 98

第三节 投影电子束曝光 120

第四节 软X射线曝光 129

第六章 离子束加工简介 137

第一节 离子束加工原理 137

第二节 离子束加工设备 139

第三节 离子束加工的应用 143

第七章 离子束刻蚀 147

第一节 离子束刻蚀原理 147

第二节 离子束刻蚀工艺 158

第三节 离子源 186

第四节 离子束刻蚀的应用 212

第八章 溅射镀膜 230

第一节 溅射镀膜原理 231

第二节 溅射镀膜工艺 245

第三节 溅射镀膜技术的应用 259

第九章 离子镀 266

第一节 离子镀技术基础 267

第二节 离子镀的类型 277

第三节 离子镀设备 286

第四节 离子镀的应用 290

第十章 离子注入 299

第一节 离子注入的特点 299

第二节 离子注入原理 302

第三节 离子注入装置 314

第四节 离子注入工艺 319

第五节 离子注入的应用 321