第一章 薄膜的形成 1
1-1 单体的吸附 1
1-2 小原子团的形成 11
1-3 成核理论 15
1-4 凝结系数 26
1-5 薄膜的岛状生长过程 31
1-6 薄膜的生长模式 35
1-7 外延薄膜的形成 40
1-8 薄膜的结构 42
1-9 薄膜中的缺陷 48
第二章 薄膜的力学性质 55
2-1 薄膜的附着性能 55
2-2 薄膜的内应力 65
2-3 薄膜的弹性、强度和硬度 92
2-4 薄膜的摩擦、磨损和磨蚀 97
第三章 金属薄膜的电导 108
3-1 岛状薄膜的电导 109
3-2 外因对岛状薄膜电导的影响 131
3-3 网状薄膜的电导 139
3-4 连续薄膜的电导 144
3-5 外因对连续薄膜电导的影响 161
第四章 磁性薄膜的磁学性能 167
4-1 薄膜的磁化强度及磁各向异性 169
4-2 薄膜的磁畴结构 177
4-3 薄膜的静态磁化特性 185
4-4 薄膜在弱驱动场作用下的畴壁迁移率 191
4-5 薄膜在强驱动场作用下的畴壁迁移率 197
4-6 薄膜的开关特性 202
4-7 多层膜的结构及特性 206
4-8 薄膜的典型应用特性 213
第五章 介质薄膜的电学性能 222
5-1 介质薄膜的电导 224
5-2 负阻现象和记忆效应 248
5-3 介质薄膜的介电常数 258
5-4 介质薄膜的损耗 267
5-5 介质薄膜的击穿 282
5-6 氧化物介电性能与固态特性的关系 286
第六章 压电薄膜的电学性能 290
6-1 晶体的性质 295
6-2 压电薄膜的结构 316
6-3 压电薄膜的介电性能 324
6-4 压电薄膜的压电性能 336
参考文献 344