第一章高纯气体纯度与电子器件质量的关系 1
§1-1氧气纯度对氧化工艺的影响 1
目 录 1
§1-2表面钝化工艺对气体纯度的要求 3
§1-3高纯气体纯度对外延质量的影响 4
§1-4氨的纯度对器件可靠性的影响 6
§2-1氧 8
2-1-1氧的物理性质 8
第二章 器件生产常用气体的物理性质与化学性质 8
2-1-2氧的化学性质 10
2-1-3氧的其它性质 10
§2-2氢 11
2-2-1 氢的物理性质 11
2-2-2氢的化学性质 12
2-2-3 氢的用途 13
2-2-4氢气的安全技术 14
2-3-1 氮气的物理化学性质 16
§2-3氮 16
2-3-2 氮的用途 18
§2-4氨 18
2-4-1 氨的性质 18
2-4-2氨的氧化反应 19
2-4-3氨气的安全技术 19
§2-5二氧化碳 19
§2-6硅烷气、四氯化硅和三氯氢硅 20
2-6-1硅烷气 20
2-6-2四氯化硅和三氯氢硅 22
§2-7氩气、氦气与氖气 24
2-7-1稀有气体的基本性质 24
2-7-2稀有气体的用途 25
第三章高纯气制备的几种方法 27
§3-1低温精馏法 27
§3-2吸附干燥法 27
§3-4金属吸气剂法 29
§3-5钯膜分离技术 29
§3-3催化纯化法 29
第四章吸附与干燥 32
§4-1固体表面的吸附现象 32
§4-2固体的表面与孔 33
§4-3吸附量与哪些因素有关 34
§4-4吸附剂与干燥剂的种类 35
§4-5分子筛概述 36
4-6-2人工合成沸石 39
4-6-1天然沸石 39
§4-6沸石分子筛的种类与性质 39
§4-7几种主要沸石的结构 41
4-7-1 A型沸石 41
4-7-2 X型和Y型沸石 43
4-7-3 丝光沸石 44
§4-8沸石的物理性质与化学性质 44
4-8-1沸石的物理性质 44
4-8-2沸石的离子交换性质 48
4-8-3沸石的吸附性质 54
4-8-4沸石的吸水性 58
4-8-5吸附量、吸附曲线与吸附热 67
§4-9 硅胶 79
§4-10活性炭 80
4-1 0-1活性炭的性质 80
4-1 0-2活性炭的种类与用途 83
4-10-3活性炭的吸附性质 85
4-1 0-4活性炭的再生 88
5-1-1催化反应脱氧 89
§5-1催化反应脱氧和化学吸收脱氧 89
第五章常用脱氧剂的种类与性质 89
5-1-2化学吸收脱氧 91
5-1-3脱氧剂去H 2 92
§5-2催化剂的一些特性 92
5-2-1活性 93
5-2-2选择性 95
5-2-3机械强度 95
5-2-4耐热及抗毒稳定性 96
5-2-5催化剂的使用时限 98
5-3-1 BH型脱氧催化剂的物理性能 99
§5-3 BH型（暂定）脱氧催化剂 99
5-3-2 BH型脱氧催化剂的脱氧机理 100
5-3-3 BH型脱氧催化剂的用途 100
5-3-4 BH型脱氧催化剂的显著特点 100
5-3-5推荐的脱氧流程 101
5-3-6 BH型脱氧催化剂的活化、再生 101
§5-4 105催化剂 102
§5-5钯石棉 104
5-6-1 AgX型催化剂脱氧机理 105
§5-6 201银X催化剂 105
5-6-2使用流程及装置 106
5-6-3活化 107
5-6-4 还原 109
5-6-5 201AgX催化剂对脱氧纯化条件的选择 112
5-6-6脱氧温度的影响 112
5-6-7脱氧与空速的影响 114
5-6-8 还原再生与灼烧活化 115
5-6-9银交换度对脱氧的影响 115
5-7-2碳纤维的性质 117
§5-7碳纤维脱氧催化剂 117
5-7-1 原理 118
5-7-3活化与再生 118
§5-8活性氧化铝镀钯催化剂 119
§5-9 401锰型脱氧催化剂 120
5-9-1概述 120
5-9-2性质 122
5-9-3活化、再生及其它 126
§5-10 0603活性铜 128
§5-11催化脱氧剂的选择使用 129
第六章国内外气体纯化设备结构简介 134
§6-1气质要求与设备结构的关系 134
§6-2纯氢设备 137
6-2-1 催化除氧和吸附干燥的纯氢方法 137
6-2-2钯膜纯氢器 142
6-2-3变压吸附法 143
§6-3纯氮设备 148
§6-4纯氧设备 160
§6-5纯氩工艺 167
第七章高纯气体的输送 169
§7-1概述 169
§7-2 输送系统的质量与高纯气体纯度的关系 170
§7-3输气系统的总和及评价 174
7-3-1 什么叫做符合质量要求的钢瓶 176
7-3-2纯化设备的进气方式 177
7-3-3集中纯化设备 181
7-3-4管道材质的选择原则 207
7-3-5管径的计算 208
7-3-6气体管道的合理布局与施工 221
7-3-7分气包 226
7-3-8 管道及附件的清洗与处理 230
7-3-11集中纯化站与使用点的信号联系 234
7-3-10气体管道与钢瓶的颜色标志 262
7-3-9 炉前气路装置——炉前气体终端纯化器与炉前气路装置及配管 266
§7-4关于液态气体输送的若干技术问题 267
7-4-1气体输送的三种方式 267
7-4-2 高纯气本采用液态输送的优点分析 269
7-4-3液体输送的几种形式和设备 271
第八章高纯气体参数的测试 273
§8-1气体的湿度及其测量方法 273
8 1-1气体湿度的表示方法 274
8-1-2湿度测定的几种仪器 274
§8-2气体中含氧及其测量方法 284
8-2-1 热化学式氧分析仪器 284
8-2-2磁性氧分析仪器 284
8-2-3 氧化锆氧分析仪器 285
8-2-4黄磷发光法 286
8-2-5 电化学式氧分析仪器 287
§8-3气相色谱仪 294
第九章世界主要国家气质状况介绍 303
第十章提高气质的途径 312
§10-1采用新的纯化原理与先进的设备 312
§10-2利用钢瓶势能，增加系统压力来提高气质 313
§10-3研制与选用合适的材料 317
§10-4研制先进的纯化设备与流程 317
第十一章高纯气体的管理 318