高纯气体的制备、输送与检测PDF电子书下载

第一章高纯气体纯度与电子器件质量的关系 1

§1-1氧气纯度对氧化工艺的影响 1

目 录 1

§1-2表面钝化工艺对气体纯度的要求 3

§1-3高纯气体纯度对外延质量的影响 4

§1-4氨的纯度对器件可靠性的影响 6

§2-1氧 8

2-1-1氧的物理性质 8

第二章 器件生产常用气体的物理性质与化学性质 8

2-1-2氧的化学性质 10

2-1-3氧的其它性质 10

§2-2氢 11

2-2-1 氢的物理性质 11

2-2-2氢的化学性质 12

2-2-3 氢的用途 13

2-2-4氢气的安全技术 14

2-3-1 氮气的物理化学性质 16

§2-3氮 16

2-3-2 氮的用途 18

§2-4氨 18

2-4-1 氨的性质 18

2-4-2氨的氧化反应 19

2-4-3氨气的安全技术 19

§2-5二氧化碳 19

§2-6硅烷气、四氯化硅和三氯氢硅 20

2-6-1硅烷气 20

2-6-2四氯化硅和三氯氢硅 22

§2-7氩气、氦气与氖气 24

2-7-1稀有气体的基本性质 24

2-7-2稀有气体的用途 25

第三章高纯气制备的几种方法 27

§3-1低温精馏法 27

§3-2吸附干燥法 27

§3-4金属吸气剂法 29

§3-5钯膜分离技术 29

§3-3催化纯化法 29

第四章吸附与干燥 32

§4-1固体表面的吸附现象 32

§4-2固体的表面与孔 33

§4-3吸附量与哪些因素有关 34

§4-4吸附剂与干燥剂的种类 35

§4-5分子筛概述 36

4-6-2人工合成沸石 39

4-6-1天然沸石 39

§4-6沸石分子筛的种类与性质 39

§4-7几种主要沸石的结构 41

4-7-1 A型沸石 41

4-7-2 X型和Y型沸石 43

4-7-3 丝光沸石 44

§4-8沸石的物理性质与化学性质 44

4-8-1沸石的物理性质 44

4-8-2沸石的离子交换性质 48

4-8-3沸石的吸附性质 54

4-8-4沸石的吸水性 58

4-8-5吸附量、吸附曲线与吸附热 67

§4-9 硅胶 79

§4-10活性炭 80

4-1 0-1活性炭的性质 80

4-1 0-2活性炭的种类与用途 83

4-10-3活性炭的吸附性质 85

4-1 0-4活性炭的再生 88

5-1-1催化反应脱氧 89

§5-1催化反应脱氧和化学吸收脱氧 89

第五章常用脱氧剂的种类与性质 89

5-1-2化学吸收脱氧 91

5-1-3脱氧剂去H 2 92

§5-2催化剂的一些特性 92

5-2-1活性 93

5-2-2选择性 95

5-2-3机械强度 95

5-2-4耐热及抗毒稳定性 96

5-2-5催化剂的使用时限 98

5-3-1 BH型脱氧催化剂的物理性能 99

§5-3 BH型（暂定）脱氧催化剂 99

5-3-2 BH型脱氧催化剂的脱氧机理 100

5-3-3 BH型脱氧催化剂的用途 100

5-3-4 BH型脱氧催化剂的显著特点 100

5-3-5推荐的脱氧流程 101

5-3-6 BH型脱氧催化剂的活化、再生 101

§5-4 105催化剂 102

§5-5钯石棉 104

5-6-1 AgX型催化剂脱氧机理 105

§5-6 201银X催化剂 105

5-6-2使用流程及装置 106

5-6-3活化 107

5-6-4 还原 109

5-6-5 201AgX催化剂对脱氧纯化条件的选择 112

5-6-6脱氧温度的影响 112

5-6-7脱氧与空速的影响 114

5-6-8 还原再生与灼烧活化 115

5-6-9银交换度对脱氧的影响 115

5-7-2碳纤维的性质 117

§5-7碳纤维脱氧催化剂 117

5-7-1 原理 118

5-7-3活化与再生 118

§5-8活性氧化铝镀钯催化剂 119

§5-9 401锰型脱氧催化剂 120

5-9-1概述 120

5-9-2性质 122

5-9-3活化、再生及其它 126

§5-10 0603活性铜 128

§5-11催化脱氧剂的选择使用 129

第六章国内外气体纯化设备结构简介 134

§6-1气质要求与设备结构的关系 134

§6-2纯氢设备 137

6-2-1 催化除氧和吸附干燥的纯氢方法 137

6-2-2钯膜纯氢器 142

6-2-3变压吸附法 143

§6-3纯氮设备 148

§6-4纯氧设备 160

§6-5纯氩工艺 167

第七章高纯气体的输送 169

§7-1概述 169

§7-2 输送系统的质量与高纯气体纯度的关系 170

§7-3输气系统的总和及评价 174

7-3-1 什么叫做符合质量要求的钢瓶 176

7-3-2纯化设备的进气方式 177

7-3-3集中纯化设备 181

7-3-4管道材质的选择原则 207

7-3-5管径的计算 208

7-3-6气体管道的合理布局与施工 221

7-3-7分气包 226

7-3-8 管道及附件的清洗与处理 230

7-3-11集中纯化站与使用点的信号联系 234

7-3-10气体管道与钢瓶的颜色标志 262

7-3-9 炉前气路装置——炉前气体终端纯化器与炉前气路装置及配管 266

§7-4关于液态气体输送的若干技术问题 267

7-4-1气体输送的三种方式 267

7-4-2 高纯气本采用液态输送的优点分析 269

7-4-3液体输送的几种形式和设备 271

第八章高纯气体参数的测试 273

§8-1气体的湿度及其测量方法 273

8 1-1气体湿度的表示方法 274

8-1-2湿度测定的几种仪器 274

§8-2气体中含氧及其测量方法 284

8-2-1 热化学式氧分析仪器 284

8-2-2磁性氧分析仪器 284

8-2-3 氧化锆氧分析仪器 285

8-2-4黄磷发光法 286

8-2-5 电化学式氧分析仪器 287

§8-3气相色谱仪 294

第九章世界主要国家气质状况介绍 303

第十章提高气质的途径 312

§10-1采用新的纯化原理与先进的设备 312

§10-2利用钢瓶势能，增加系统压力来提高气质 313

§10-3研制与选用合适的材料 317

§10-4研制先进的纯化设备与流程 317

第十一章高纯气体的管理 318