第一章 机电一体化技术概论 1
1-1机电一体化的含义 1
一、机电一体化的来历 1
二、何谓机电一体化 1
1-2机电一体化系统的组成要素 1
一、机体 2
二、传动系统 2
三、检测装置 2
四、执行机构 3
五、控制系统 3
1-3机电一体化产品的优越性 4
一、安全性大大提高 4
二、可靠性大大提高 4
三、精度高，质量高，生产率高 4
四、简化操作，使用性能大大改善 4
五、具有复合功能，适用性广 5
六、大大节约能源 5
七、具有柔性，适用于多品种、小批量生产 5
八、功能成本比大，价格较便宜 5
九、减轻劳动强度，改善劳动条件 5
十、加快产品更新换代，提高竞争力 5
1-4机电一体化产品的发展简况 6
一、国外机电一体化产品发展简况 6
二、国内机电一体化产品发展简况 6
复习题 7
第二章 自动装配机 8
2-1电阻引线自动焊接机 8
一、概述 8
二、总体构思 9
三、主要机构 11
四、提高生产率的措施 15
2-2铝电解电容器自动装配机 17
一、概述 17
二、总体构思 18
三、主要机构 21
2-3碟形芯柱制造机 33
一、概述 33
二、总体构思 34
三、主要机构 37
2-4自动插件机 43
一、概述 43
二、整机概况 44
三、主要机构 46
2-5高速贴片机 65
一、概述 65
二、高速贴片机概况 68
三、主要机构 70
2-6多工位装配机的典型传送机构 85
一、概述 85
二、直线式传送机构 86
三、回转式传送机构 89
复习题 95
第三章 集成电路制造工艺关键设备 96
3-1概述 96
一、集成电路 96
二、双极型集成电路制造工艺流程 97
三、MOS集成电路制造工艺流程 101
3-2图形发生器 103
一、概述 103
二、工作原理 104
三、主要机构 105
四、控制系统 118
3-3精缩机 120
一、概述 120
二、主要机构 121
3-4分步重复投影光刻机（DSW） 122
一、概述 122
二、主要机构 124
三、发展简况及趋势 135
3-5超微细加工设备概论 135
一、电子（离子）光学基础 135
二、电子束曝光技术 140
三、离子束技术 141
3-6电子束扫描曝光机 143
一、概述 144
二、主要机构 144
三、控制系统 158
3-7电子束蒸发与磁控溅射 158
一、概述 158
二、低温泵电子束蒸发镀膜机 160
三、等离子磁控溅射台 167
3-8管芯键合 168
一、概述 168
二、全自动超声金丝球焊机 171
复习题 189
第四章 电子计算机外部设备 190
4-1概述 190
一、何谓外部设备 190
二、外部设备类型 190
三、外部设备的特点及发展趋向 191
4-2输入设备 192
一、概述 192
二、键盘输入设备 192
三、光—电纸带输入机 196
4-3输出设备 201
一、概述 201
二、点矩阵针式打印机 201
三、激光印字机 208
四、滚筒式绘图机 210
五、平台式绘图机 212
六、平面电机绘图机 216
4-4外存储设备 219
一、概述 219
二、硬磁盘存储器 220
三、软磁盘存储器 228
四、光盘存储器 233
复习题 236
第五章 工业机器人应用 238
5-1工业机器人概述 238
一、工业机器人的含义 238
二、工业机器人的组成 238
三、工业机器人的分类 239
四、工业机器人的主要技术参数 239
五、工业机器人发展简况及趋向 240
5-2点焊机器人 241
一、概述 241
二、IR662/100型机器人概况 242
三、IR662/100型机器人的主要机构 244
四、IR662/100型机器人的电气系统 249
5-3喷漆机器人 250
一、概述 250
二、PR11喷漆机器人概况 251
三、PR11喷漆机器人的主要机构 253
5-4装配机器人 258
一、概述 258
二、精密装配机器人 259
复习题 260
第六章 数控机床 261
6-1概述 261
一、何谓数控机床 261
二、数控机床的组成 261
三、数控机床的分类 262
四、数控机床的特点及应用 263
五、编制程序 264
6-2 JCS—018型立式加工中心（自动换刀数控立式镗铣床） 274
一、概述 274
二、主要机构 276
三、7CM数控系统总方框图 284
6-3慢走丝数控电火花线切割机 285
一、概述 285
二、慢走丝数控电火花线切割机概况 288
三、主要机构 290
四、控制系统 295
复习题 298
主要参考文献 299