1.1 微装配与微操作的发展背景 1
第1章 概述 1
1.2 微器件的物理学特点与特性分析 5
1.3 微装配与微操作的经济效益及存在的问题 6
参考文献 8
第2章 微装配与微操作系统简介 9
2.1 微装配与微操作系统组成 9
2.2 子系统的特点 17
参考文献 23
3.1.1 空间描述和变换 24
第3章 微装配与微操作理论基础 24
3.1 机器人运动学 24
3.1.2 机器人正运动学 28
3.1.3 机器人逆运动学 31
3.1.4 机器人雅可比矩阵 34
3.2 卡尔曼滤波器 39
3.2.1 介绍 39
3.2.2 未约束卡尔曼滤波器 40
3.2.3 约束状态估计 41
3.2.4 约束状态估计特性 43
3.2.5 非线性 46
3.2.6 约束卡尔曼滤波器应用 47
3.3 人工神经网络 47
3.3.1 人工神经网络 48
3.3.2 控制机械手运动的神经网络模型实现 49
3.3.3 一个机械手的视觉伺服 56
3.3.4 卡尔曼滤波器预测特征的分层小脑模型神经网络视觉伺服 62
3.4 视觉伺服 64
3.4.1 符号表示 64
3.4.2 摄像机坐标投影 66
3.4.3 图像特征和图像特征参数空间 67
3.4.4 伺服控制结构 68
3.4.5 基于位置的视觉伺服 70
3.4.6 基于图像的视觉伺服 73
3.4.7 图像特征提取和跟踪 78
参考文献 82
第4章 微装配与微操作控制模型 84
4.1 显微视觉控制方程的建立与SSD概念 84
4.1.1 显微镜成像模型 84
4.1.2 视觉雅可比矩阵推导 86
4.1.3 伺服控制方程建立 87
4.1.4 SSD概念 88
4.2 微装配与微操作方法 90
4.2.1 深度信息的获取 90
4.2.2 局部视觉微装配方法 95
4.2.3 细胞操作方法 97
4.2.4 全局—局部视觉微装配方法 101
4.2.5 视觉—力反馈微装配方法 109
4.2.6 顺应微装配方法 113
4.3 虚拟微装配概念 123
4.3.1 力反馈手柄（触觉交互设备） 124
4.3.2 虚拟微装配方法 127
参考文献 130
第5章 微装配与微操作工具和设备 133
5.1 引言 133
5.2 微手爪 134
5.2.1 LIGA手爪 136
5.2.2 放电加工（EDM）制造微手爪 139
5.2.3 各种微手爪的比较 143
5.2.4 LIGA微手爪和EDM微手爪的安装与应用 145
5.2.5 硅微加工手爪 155
5.2.6 SMA手爪 163
5.3 微探针 172
5.3.1 单个微探针制作 172
5.3.2 微探针阵列制作 177
5.3.3 微探针驱动与传感器设计 181
5.4 微操作机械手 184
5.5 磁悬浮微动平台 190
参考文献 194
6.1 微装配与微操作存在的问题 196
第6章 微装配与微操作的发展趋势——流水线自动化装配 196
6.2 流水线微装配系统 198
6.2.1 流水线微装配系统结构 198
6.2.2 流水线微装配系统中的传感器及移动机器人 201
6.2.3 流水线微装配系统中的器件排列 210
6.2.4 流水线微装配中的敏捷制造概念 215
6.3 流水线微装配系统中的磁悬浮技术 220
6.3.1 磁悬浮微装配系统的结构 220
6.3.2 磁悬浮导轨结构 222
6.3.3 磁悬浮导轨的控制 225
参考文献 235