目录 1
第一章 导论 1
1-1电子探针X射线显微分析仪的一般原理 1
1-2电子探针X射线显微分析的发展简史 5
1-3国外电子探针X射线显微分析仪的主要性能简介 9
1-4电子探针X射线显微分析的进展和展望 18
第二章 电子光学及线路 33
2-1真空室 33
2-2电子枪 34
2-3电子束形成的两种原理 35
2-4成像法电子光学 36
2-5压缩电子束（反聚焦）法的电子光学 41
2-6电子透镜的像差 41
2-7像散 43
2-8球面像差 43
2-9慧形像差 45
2-10柱体的调整 46
2-11电子束流 50
2-12电子线路 51
第三章 X射线晶体光学 53
3-1晶体衍射法的原理 53
3-2影响衍射的晶体参数 54
3-3常用的衍射晶体 57
3-4弯晶光学 60
3-5圆柱形光学的垂直发散 63
3-6非磨制晶体 66
3-7半聚焦光学 67
3-8特征X射线强度和峰值／本底比 69
第四章 X射线探测器与能谱分析 75
4-1X射线探测器 75
4-2X射线能谱 77
4-3两种方法的结合应用 83
4-4电子线路 84
第五章 定量分析的物理基础 87
5-1定量分析中非线性因素 88
5-2电子在固体中的散射 89
5-3原子序数效应 91
5-4吸收效应更正 97
5-5原子序数效应和吸收效应的相互关系 103
5-6G．D．阿尔恰德的计算法 105
5-7荧光效应 112
5-8L．S．伯克斯的近似校正 116
第六章 样品类型和制备 129
6-1制备样品须注意的一些问题 129
6-2矿物、矿石、岩石样品的制备 133
6-3金属材料样品的制备 134
6-4生物样品的制备 136
第七章 样品观察和分析程序 138
7-1对样品进行电子探针分析的步骤 138
7-2定性分析和扫描图像的观察 138
7-3定量分析 145
7-4数据处理 145
第八章 定量分析及有关问题 152
8-1相似于样品的标准样 152
8-2未知样品的分析及计算 153
8-3特征X射线强度 163
8-4峰值／本底比 166
8-5荧光效应 169
8-6用背散射和吸收电子作定量分析 170
第九章 应用举例 173
9-1铂族矿物的分析 173
9-2硫化物的分析 174
9-3矿物的环带结构 176
9-4电子元件的分析 178
9-5金属夹杂物的分析 178
9-6薄膜的厚度及其组成 179
9-7其他方面的应用 181
附录 195
附录Ⅰ 激发效率 195
附录Ⅱ 强度函数（F） 201
附录Ⅲ 质量吸收系数 214
附录ⅣX 射线临界吸收和发射能量表 252
附录Ⅴ-1 特征X射线波长表 256
附录Ⅴ-2X 射线光谱的主要发射谱线表 260
附录Ⅵ 原子序数校正因子（Pz） 262