第1章 绪论 1
参考文献 3
第2章 惯性传感器 5
2.1 简介 5
2.2 惯性传感器的应用 5
2.3 加速度的基本概念 7
2.4 直线运动惯性传感器参数 8
2.5 旋转运动的惯性传感器参数 15
2.6 惯性传感器件的微机械加工技术 17
2.7 微加工工艺加工问题 19
2.8 惯性传感器的系统问题 23
2.9 结束语 27
参考文献 27
第3章 微机械压力传感器：器件、接口电路及性能 34
3.1 简介 34
3.2 器件结构和性能测试 34
3.3 压阻式压力传感器 38
3.4 电容式压力传感器 46
3.5 伺服控制压力传感器 59
3.6 其他压力传感方式 64
3.7 结论 71
参考文献 71
第4章 表面微加工器件 75
4.1 引言 75
4.2 材料特性和几何结构 76
4.3 应力与应变 76
4.4 机械设计 80
4.5 封装 93
4.6 应用 95
4.7 MEMS失效机理 102
4.8 结论 107
参考文献 107
第5章 微执行器 109
5.1 引言 109
5.2 压电执行器 114
5.3 电磁驱动器 120
5.4 形状记忆合金驱动器 129
参考文献 136
第6章 湍流传感器与执行器 139
6.1 绪论 139
6.2 MEMS工艺概述 141
6.3 湍流 145
6.4 用于湍流测量和控制的传感器 151
6.5 用于流动控制的微执行器 184
6.6 微透平机械 193
6.7 结论 197
参考文献 198
第7章 微机器人技术 207
7.1 引言 207
7.2 什么是微机器人 208
7.3 微机器人的应用环境 211
7.4 微机器人的制造技术 216
7.5 微机器人器件 219
7.6 多机器人系统（微型工厂和桌面工厂） 234
7.7 结论与讨论 237
参考文献 238
第8章 微型真空泵 246
8.1 引言 246
8.2 基础知识 248
8.3 泵尺度 250
8.4 MEMS真空系统的极限压强和抽气能力 256
8.5 MEMS系统的工作压强和N需求 257
8.6 尺度规律综述 257
8.7 新型泵送技术 259
8.8 结论 266
参考文献 268
第9章 非线性动电器件 272
9.1 引言 272
9.2 非线性动电现象 274
9.3 交流动电现象 278
9.4 小结 287
参考文献 287
第10章 微液滴发生器 291
10.1 简介 291
10.2 微液滴发生器的工作原理 291
10.3 物理和设计问题 297
10.4 微液滴发生器的制造 306
10.5 液滴产生的特性 308
10.6 应用 311
10.7 结束语 317
参考文献 317
第11章 微热管和微散热器 322
11.1 概述 322
11.2 单个微热管 329
11.3 微热管阵列 337
11.4 平板微散热器 342
11.5 新设计 345
11.6 概要和结论 349
参考文献 349
第12章 微通道热沉 353
12.1 绪论 353
12.2 微通道内对流换热的基本原理 354
12.3 微通道内单相对流换热 359
12.4 微通道内两相对流换热 367
12.5 小结 376
参考文献 377
第13章 流动控制 380
13.1 绪论 380
13.2 一般性原理 381
13.3 “驯悍记”（The Taming of the Shrew） 386
13.4 湍流控制 387
13.5 抽吸 388
13.6 相干结构 389
13.7 反应式流动控制 392
13.8 磁流体控制 399
13.9 混沌控制 403
13.10 软计算 408
13.11 应用MEMS技术的反应式控制 412
13.12 总结 414
参考文献 414
第14章 用于边界层减阻的反应式控制 425
14.1 绪论 425
14.2 近壁流向涡 426
14.3 反相控制 427
14.4 基于壁上检测的反应式控制 430
14.5 有源壁运动 434
14.6 结束语 436
参考文献 437
第15章 自由剪切流的MEMS自主控制 439
15.1 绪论 439
15.2 自由剪切流 439
15.3 剪切层MEMS控制系统组件和问题 440
15.4 三角翼上滚动力矩的控制 445
15.5 超声速射流啸音的控制 452
15.6 低雷诺数翼上分离的控制 461
15.7 对未来的思考 464
参考文献 466