微机电系统应用PDF电子书下载

第1章　绪论 1

参考文献 3

第2章　惯性传感器 5

2.1　简介 5

2.2　惯性传感器的应用 5

2.3　加速度的基本概念 7

2.4　直线运动惯性传感器参数 8

2.5　旋转运动的惯性传感器参数 15

2.6　惯性传感器件的微机械加工技术 17

2.7　微加工工艺加工问题 19

2.8　惯性传感器的系统问题 23

2.9　结束语 27

参考文献 27

第3章　微机械压力传感器：器件、接口电路及性能 34

3.1　简介 34

3.2　器件结构和性能测试 34

3.3　压阻式压力传感器 38

3.4　电容式压力传感器 46

3.5　伺服控制压力传感器 59

3.6　其他压力传感方式 64

3.7　结论 71

参考文献 71

第4章　表面微加工器件 75

4.1　引言 75

4.2　材料特性和几何结构 76

4.3　应力与应变 76

4.4　机械设计 80

4.5　封装 93

4.6　应用 95

4.7　MEMS失效机理 102

4.8　结论 107

参考文献 107

第5章　微执行器 109

5.1　引言 109

5.2　压电执行器 114

5.3　电磁驱动器 120

5.4　形状记忆合金驱动器 129

参考文献 136

第6章　湍流传感器与执行器 139

6.1　绪论 139

6.2　MEMS工艺概述 141

6.3　湍流 145

6.4　用于湍流测量和控制的传感器 151

6.5　用于流动控制的微执行器 184

6.6　微透平机械 193

6.7　结论 197

参考文献 198

第7章　微机器人技术 207

7.1　引言 207

7.2　什么是微机器人 208

7.3　微机器人的应用环境 211

7.4　微机器人的制造技术 216

7.5　微机器人器件 219

7.6　多机器人系统（微型工厂和桌面工厂） 234

7.7　结论与讨论 237

参考文献 238

第8章　微型真空泵 246

8.1　引言 246

8.2　基础知识 248

8.3　泵尺度 250

8.4　MEMS真空系统的极限压强和抽气能力 256

8.5　MEMS系统的工作压强和N需求 257

8.6　尺度规律综述 257

8.7　新型泵送技术 259

8.8　结论 266

参考文献 268

第9章　非线性动电器件 272

9.1　引言 272

9.2　非线性动电现象 274

9.3　交流动电现象 278

9.4　小结 287

参考文献 287

第10章　微液滴发生器 291

10.1　简介 291

10.2　微液滴发生器的工作原理 291

10.3　物理和设计问题 297

10.4　微液滴发生器的制造 306

10.5　液滴产生的特性 308

10.6　应用 311

10.7　结束语 317

参考文献 317

第11章　微热管和微散热器 322

11.1　概述 322

11.2　单个微热管 329

11.3　微热管阵列 337

11.4　平板微散热器 342

11.5　新设计 345

11.6　概要和结论 349

参考文献 349

第12章　微通道热沉 353

12.1　绪论 353

12.2　微通道内对流换热的基本原理 354

12.3　微通道内单相对流换热 359

12.4　微通道内两相对流换热 367

12.5　小结 376

参考文献 377

第13章　流动控制 380

13.1　绪论 380

13.2　一般性原理 381

13.3　“驯悍记”（The Taming of the Shrew） 386

13.4 湍流控制 387

13.5　抽吸 388

13.6　相干结构 389

13.7　反应式流动控制 392

13.8　磁流体控制 399

13.9　混沌控制 403

13.10　软计算 408

13.11　应用MEMS技术的反应式控制 412

13.12　总结 414

参考文献 414

第14章　用于边界层减阻的反应式控制 425

14.1　绪论 425

14.2　近壁流向涡 426

14.3　反相控制 427

14.4　基于壁上检测的反应式控制 430

14.5　有源壁运动 434

14.6　结束语 436

参考文献 437

第15章 自由剪切流的MEMS自主控制 439

15.1　绪论 439

15.2　自由剪切流 439

15.3　剪切层MEMS控制系统组件和问题 440

15.4　三角翼上滚动力矩的控制 445

15.5　超声速射流啸音的控制 452

15.6　低雷诺数翼上分离的控制 461

15.7　对未来的思考 464

参考文献 466