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飞秒激光与等离子体相互作用的解析理论
余玮著2018 年出版103 页ISBN：9787030573957从一组基本方程出发，全面系统地研究飞秒激光与物质（主要是等离子体）相互作用的各种物理机制。由于所用的基本方程是相对论性的，可用以讨论相对论强激光，然而对于弱光，这些方程也同样适用。近年来全世界以大学为.....
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等离子体浸泡式离子注入与沉积技术
汤宝寅，王浪平编著2012 年出版239 页ISBN：9787118078923本书介绍了用于材料表面改性的等离子体浸泡式离子注入与沉积（PIIID）技术。主要内容包括PIIID技术发展概况、基础理论、PIIID设备关键部件设计、PIIID鞘层动力学计算机理论数值模拟与应用以及机械零件的PIIID...
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高分子薄膜和木材的等离子体改性及表征
解林坤著2017 年出版165 页ISBN：9787122299444本书主要对低温O2等离子体、低温Ar等离子体对聚乙烯薄膜的表面改性；氨低温等离子体、等离子体引发气相接枝乙烯基单体、丙烯酸等离子体聚合对LDPE薄膜的表面改性；低温O2、Ar和Ar/O2等离子体对PET薄膜的表面改...
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高超声速飞行器等离子体鞘套的电磁特性
张厚，殷雄著2018 年出版175 页ISBN：9787118114393本书以等离子体鞘套的电磁特性为主线。通过流体动力学仿真，获得再入体模型的高超声速绕流流场特性，通过对各再入体模型的流场结果进行转化处理，得到各再入体的等离子体鞘套电磁模型。在此基础上，研究电磁波在等...
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受控核聚变中的等离子体与材料的相互作用
瑙约克斯著2013 年出版277 页ISBN：9787301226889本书讨论的是受控核聚变中发生的物体的四种状态之中的等离子态与固态之间的相互作用。本书在给出主要的等离子体与表面的相互作用过程的综合分析的同时，也提出了对于操作极限的判断标准和依据。通过讨论，本书...
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面对等离子体钨基复合材料的制备及其性能研究
陈勇，吴玉程著2009 年出版164 页ISBN：9787565001130面对等离子体第一壁材料问题是聚变研究的关键问题之一。我国尽管在聚变研究领域处于世界前列，但在第一壁材料研究方面起步较晚，整体水平比较落后。因此发展具有自主知识产权的面对等离子体第一壁材料势在必行...
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低温等离子体表面修饰技术在催化剂材料制备中的应用
李凯，王驰著2017 年出版172 页ISBN：9787502475062本书主要讲述低温等离子体表面修饰技术在催化剂材料制备中的应用，书中对低温等离子体表面修饰技术进行了概述，主要内容包括低温等离子体表面修饰技术在脱硝催化剂制备中的应用、有机硫（羰基硫、二硫化碳等）净化...
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激光等离子体极紫外光刻光源
窦银萍，宋晓伟，陶海岩著2018 年出版112 页ISBN：9787118117936本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并系统阐述激光等离子体光源的相关理论。其次，介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。重点介绍了激光参数及靶条...
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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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超大功率直流等离子体弧IGBT逆变电源原理与设计
丁恩振编著2013 年出版182 页ISBN：9787564618926本书近年来，大功率直流电弧等离子体技术的研究和发展，特别备受国内外专业人员的关注。本书是作者结合多年来利用等离子体冶金技术处理危险废弃物处理的理论研究和研发大功率直流等离子体弧IGBT专用电源的实践...