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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN:9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变,深入介绍了该技术的基本机理,在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望;最后以...
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等离子体雷达散射截面减缩技术
(印)赫玛·辛格,(印)西玛·安东尼,(印)拉凯什·莫汉·杰哈著2018 年出版68 页ISBN:9787118117592本书从等离子体物理控制物理基础开始,介绍了电磁波在等离子体中的传输、与等离子体相关的隐身技术,以及等离子体隐身技术面临的挑战等,是等离子体隐身技术研究的很好的参考书。本书的对象是等离子体隐身技术研...
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等离子体处理固体废弃物技术
杜长明著2017 年出版271 页ISBN:7122301052《等离子体处理固体废弃物技术》一书以固体废弃物等离子体处理的最新技术和前沿研究成果为主要内容,分为18章,分别介绍了固体废弃物来源与危害及现有治理技术,等离子体热解、气化及熔融的技术原理,城市垃圾、农...
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ATC 001 电感耦合等离子体原子发射光谱分析技术
郑国经主编2011 年出版211 页ISBN:9787506663274本书系《全国分析检测人员能力培训教材》之一。本书依据全国分析检测人员能力培训委员会《ATC001 电感耦合等离子体原子发射光谱分析技术考核与培训大纲》编写,包括电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)分析...
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电感耦合等离子体质谱分析技术
李冰,陆文伟主编2017 年出版253 页ISBN:9787506683159本书重点介绍四极杆ICP-MS技术的基本原理、基础知识和应用,但考虑到ICP-MS新仪器新技术快速更新换代,基础理论与应用也不断发展的趋势,对其它相关技术,比如扇形磁场高分辨质谱仪以及飞行时间质谱仪,碰撞反应池技...
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现代电弧炉炼钢用氧理论及技术
朱荣著2018 年出版273 页ISBN:9787502477455本书是作者所在团队多年来在电弧炉炼钢用氧技术领域的研究成果,介绍近年国内外电弧炉用氧技术的发展,电弧炉炼钢氧气射流理论,电弧炉炼钢氧气喷枪设计,氧气射流冷态测试及数值模拟技术,电弧炉炼钢供氧工艺,电弧.....
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实用等离子体发射光谱分析技术
周西林,李启华,胡德声主编;李苏,蔡可可副主编2012 年出版259 页ISBN:9787118080995本书由基础知识(量和单位、ICP光谱中英文术语、不确定度、标准物质、数据处理、统计分析与控制图、ICP光谱分析标准和技术规则、分析方法评价、金属材料化学分析方法中的重复性与再现性)、ICP仪器安装技术要...