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半导体制造技术

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（美）夸克，（美）瑟达著2015 年出版600 页ISBN：9787121260834
本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的...
半导体集成电路原理与工艺下

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2222 年出版411 页ISBN：
半导体制造技术

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（美）迈克尔·夸克，朱利安·瑟达著2009 年出版600 页ISBN：9787121089442
本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的...
半导体器件新工艺译文集

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浙江大学五·七电机厂，《新技术译丛》编译组编译1971 年出版214 页ISBN：
UG NX 9.0 计算机辅助设计与制造实用教程第2版

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张黎骅2015 年出版0 页ISBN：
半导体器件物理与工艺基础版

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（美）施敏著；赵鹤鸣，钱敏，黄秋萍译；赵鹤鸣，王子欧改编2009 年出版224 页ISBN：9787811373080
本书介绍半导体器件的基础原理。
江苏电子专题资料 半导体器件与工艺 11

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江苏省电子工业综合研究所1978 年出版124 页ISBN：
半导体制造系统调度

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吴启迪等著2006 年出版250 页ISBN：7121031914
本书以半导体制造系统调度为研究对象，在全面分析半导体制造系统调度特点的基础上，对半导体制造系统调度中存在的问题进行了详细的解剖、分析，并对各个子问题的求解方法进行了详细介绍，最后通过实例介绍了各调度...
半导体器件新工艺

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梁瑞林编著2008 年出版194 页ISBN：7030212533
本书主要介绍半导体器件的设计、半导体器件的制作、半导体器件的组装与封装等，从理论到实用，从工艺设计到原材料、元器件、印制电路板制造以及安装、焊接、测试技术进行了详细介绍。...
半导体微系统制造技术

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刘斌主编2017 年出版224 页ISBN：9787111502685
本书根据微电子机械系统的发展趋势，主要介绍了常用的微系统制作工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...