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半导体晶片清洗 科学、技术与应用
(美)克恩主编2012 年出版350 页ISBN:9787121173974半导体晶片清洗工艺已成为半导体器件制造过程中最为关键的操作之一,特别是在先进的ULSI硅集成电路的制造中。本书分别由19位业界公认的科学家撰写,所有与半导体晶片清洗相关的知识、科学和技术原理汇集到了一...
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半导体激光器领域专利导航研究
郝屹主编2016 年出版196 页ISBN:9787206121661本书对德温特专利数据库收录的1994—2014年世界范围内申请的半导体激光器领域的专利进行了数据计量分析,给出了半导体激光器专利的分析研究、地区分布、研发重点分布、机构分布等,揭示了已展现出明显优势的半...
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