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半导体微系统制造技术
刘斌主编2017 年出版224 页ISBN:9787111502685本书根据微电子机械系统的发展趋势,主要介绍了常用的微系统制作工艺,并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在微电子制造技术的基础上主要包括了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各...
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功率半导体器件 原理、特性和可靠性
(德)卢茨著2013 年出版435 页ISBN:9787111417279本书介绍了功率半导体器件的原理、特性和可靠性。介绍了在变流器中应用的各种类型的器件,从二极管、晶闸管、功率MOSFET、IGBT到功率集成。此外,书中还介绍了测试、工艺、可靠性和损坏机理等内容,这些内容对于...
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