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真空科学与技术丛书 真空镀膜
李云奇编著2012 年出版310 页ISBN：9787122127808本书共十一章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。...
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